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[发明专利]一种测试切割后导电型碳化硅晶圆的电阻率的方法-CN202310919290.9在审
发明人：宋猛;赵继佐;黄长航;薛成业;王昆鹏;张红岩;高超;窦文涛;宗艳民 -专利权人：山东天岳先进科技股份有限公司
申请日： 2023-07-26 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G01R27/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种测试切割后导电型碳化硅晶圆的电阻率的方法，属于碳化硅晶圆技术领域，包括以下步骤：a.分段清洗：将切割后的碳化硅晶圆放在花篮中，依次经过放置有机溶剂、酸液或碱液、水的酸碱槽浸泡，清洗后在有机溶剂中超声，干燥；b.使用FRT面型测试仪，测试晶圆表面多个点的厚度，最后取得到厚度数据的平均值；c.使用非接触式的电阻率测试仪，输入晶圆的平均厚度，按点位分布设置测试点，测试时令探测头在每个点位上测试两次，最后画出整个晶圆表面的电阻率分布图，并统计最大值、最小值以及平均值。本申请通过使用限定种类溶液清洗，把电阻率测试提前到研磨以前，节约成本；匹配特定的点位分布，为判断晶圆质量提供准确依据。
一种测试切割导电碳化硅电阻率方法

[发明专利]一种三层同轴产氧电催化剂及其制备方法-CN201910627171.X有效
发明人：武卫兵;赵继佐;贾翔宇 -专利权人：济南大学
申请日： 2019-07-12 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： B01J23/755 文献下载
摘要：本发明公开了一种三层同轴产氧电催化剂及其制备方法，三层材料依次为金属铜丝网层、金属镍层和产氧催化剂(Ni,Fe)OOH层；其制备方法为将镍盐、硼酸和L‑组氨酸组成的水溶液作为电镀液，通电压后将金属镍层电镀到金属铜丝网上，然后在铁盐的乙醇溶液中进行预处理，浸入预热的铁盐和六次甲基四胺组乙醇溶液中反应得三层同轴产氧电催化剂。本发明采用铜丝网的高导电性并电镀一层金属镍，提高了电传输特性并防止铜的腐蚀，采用有机溶剂热处理方法沉积(Ni,Fe)OOH，提高了催化剂层的活性和稳定性，制备的三层同轴产氧电催化剂催化能力强，稳定性高，且有导电率高、成本低、易于放大，对电解制氧的大规模工业生产具有重要意义。
一种三层同轴产氧电催化剂及其制备方法