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[发明专利]放大电路、功率分析仪和测量装置-CN201910491164.1在审
发明人： 赵章琰 -专利权人：福禄克公司
申请日： 2019-06-06 - 公布日： 2020-12-08 - 主分类号： H03F1/34 文献下载
摘要：本申请公开了一种放大电路、功率分析仪和测量装置。放大电路包括运算放大器、分压网络和反馈网络。运算放大器包括同相输入节点、反相输入节点和输出节点，同相输入节点耦接到参考电压；分压网络耦接在输入信号和反相输入节点之间，分压网络包括接收节点、中间节点、第一输入电阻器、第一输入电容器和第二输入电容器，接收节点用于接收输入信号，中间节点耦接到反相输入节点，第一输入电阻器和第一输入电容器并联耦接在接收节点和中间节点之间，第二输入电容器串联耦接在中间节点和参考电压之间；反馈网络耦接在反相输入节点和输出节点之间。
放大电路功率分析测量装置

[发明专利]电子测量设备-CN201910074890.3在审
发明人：杨银红;赫金波;赵章琰 -专利权人：福迪威（上海）工业仪器技术研发有限公司
申请日： 2019-01-25 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： G01R1/18 文献下载
摘要：本申请涉及一种电子测量设备，其包括：主印刷电路组件以及一个或多个通道模块。至少一个通道模块包括：通道印刷电路板；第一绝缘壳体，其设置在通道印刷电路板上，第一绝缘壳体限定腔体，腔体覆盖安装在通道印刷电路板上的至少一部分电气元件；第一导电屏蔽框架，其至少部分设置在第一绝缘壳体上并且通过第一绝缘壳体与通道印刷电路板分离，第一导电屏蔽框架覆盖安装在通道印刷电路板上的至少一部分电气元件；第二绝缘壳体，其设置在第一导电屏蔽框架上，配置成将第一导电屏蔽框架夹在其与第一绝缘壳体之间，以延长从第一导电屏蔽框架到通道印刷电路板的电气路径。
电子测量设备

[发明专利]射频功率放大模块及具有散热风道的大功率射频电源-CN201110410022.1在审
发明人：李勇滔;秦威;赵章琰;李英杰;夏洋 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2011-12-09 - 公布日： 2013-06-19 - 主分类号： H03F3/189 文献下载
摘要：本发明提供射频功率放大模块包括功率放大器和散热器；所述功率放大器和所述散热器紧固连接；所述散热器开有嵌入风扇的嵌入槽，嵌入槽的尺寸与嵌入的风扇相等。还提供具有散热风道的大功率射频电源包括射频功率放大模块、机箱，所述射频功率放大模块具有散热齿的一侧与所述机箱的侧壁紧密接触；在所述机箱侧壁上设有嵌入在所述嵌入槽内的风扇，所述风扇的风向由机箱内侧向机箱外侧吹。本发明提供的射频功率放大模块内嵌的风扇能保证射频功率放大模块中功率放大器所产生的热量被立即传导出去。本发明提供的具有散热风道的大功率射频电源，通过形成若干散热风道，并对热源进行隔离，从而能有效的将射频功率放大模块所产生的热量进行散热。
射频功率放大模块具有散热风道大功率电源

[发明专利]基于ARM的嵌入式注入机控制系统-CN201110389219.1有效
发明人：王蒙;李勇滔;赵章琰;李超波;夏洋 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2011-11-30 - 公布日： 2013-06-05 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明提供一种基于ARM的注入机控制系统包括电源系统、反应腔室、预抽腔室、运行有注入机控制软件的上位机、真空控制系统、送片系统；所述真空控制系统在所述上位机的控制下，控制所述反应腔室、所述预抽腔室的真空度；所述反应腔室与所述预抽腔室连接；所述送片系统用于将硅片从所述预抽腔室运输至所述反应腔室，并将硅片运输至所述反应腔室内的离子反应位置；所述上位机是基于ARM的方式实现。本发明提供的基于ARM的注入机控制系统信号采集系统整合度高，为控制提供了牢靠的外界条件，结构简单，可用于大面积的离子注入。
基于 arm 嵌入式注入控制系统

[发明专利]具有精密功率检测器的射频电源-CN201110389185.6有效
发明人：李勇滔;赵章琰;秦威;李英杰;夏洋 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2011-11-30 - 公布日： 2013-06-05 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有精密功率检测器的射频电源，包括射频信号发生器、射频功率放大电路、供电线路和精密功率检测器，精密功率检测器包括电压互感器、电流互感器、精密检波模块和集成有模数转换器和微处理单元的微控制器，电压互感器和电流互感器分别与精密检波模块相连，精密检波模块包括加法电路、减法电路、整流电路和滤波放大电路，加法电路和减法电路分别与整流电路相连，整流电路连接滤波放大电路，滤波放大电路与集成有模数转换器和微处理单元的微控制器相连。本发明能够实现高精度的射频功率检测，检测范围宽，精度一致性好，死区小。
具有精密功率检测器射频电源

[发明专利]模块化离子注入机控制系统-CN201110391302.2有效
发明人：王蒙;李勇滔;赵章琰;李超波;夏洋 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2011-11-30 - 公布日： 2013-06-05 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明公开了一种模块化离子注入机控制系统，包括电源系统，反应腔室、预抽腔室、主控制器、第一真空控制器、送片控制器、压力控制器、第二真空控制器及气体控制器；所述主控制器与所述第一真空控制器、送片控制器、压力控制器、第二真空控制器及气体控制器之间进行串行通信。本发明提供的一种离子注入机控制系统，围绕串行通信网络搭建，主控制器将直接与各分立控制器进行串口通信，大幅度降低了成本，减少了线路连接。
模块化离子注入控制系统

[发明专利]一种电路单元-CN201310028927.1有效
发明人： 赵章琰;李勇滔;李英杰;夏洋;王文东 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2013-01-25 - 公布日： 2013-06-05 - 主分类号： H03F1/32 文献下载
摘要：本发明涉及放大器技术领域，具体涉及一种补偿射频场效应管非线性电容的电路单元。所述电路单元，包含电压源、开关二极管、去耦电容和变容二极管，所述电压源与所述开关二极管串联，串联后的电路与所述去耦电容并联，并联后的电路与所述变容二极管串联，串联后的电路与待补偿的场效应管并联；所述开关二极管与所述变容二极管的负极均连接所述去耦电容。本发明提供的补偿电路单元与场效应管并联后，使得并联后的整体等效电容随场效应管漏极-源极电压的变化规律更为平缓，从而有效的抑制射频场效应管谐振型放大电路的调制现象。
一种电路单元

[发明专利]基于虚拟仪器的注入机控制系统-CN201110391317.9有效
发明人：王蒙;李勇滔;赵章琰;李超波;夏洋 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2011-11-30 - 公布日： 2013-06-05 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明提供一种基于虚拟仪器的注入机控制系统包括注入机电源系统、设置有注入机控制软件的上位机、反应腔室、预抽腔室。本发明提供的基于虚拟仪器的注入机控制系统信号采集系统整合度高，为控制提供了牢靠的外界条件，结构简单，可用于大面积的离子注入。
基于虚拟仪器注入控制系统

[发明专利]离子注入机控制系统-CN201110391341.2有效
发明人：王蒙;李勇滔;赵章琰;李超波;夏洋 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2011-11-30 - 公布日： 2013-06-05 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子注入机控制系统，包括电源系统，反应腔室、预抽腔室、工控机，工控机，所述工控机控制所述反应腔室、预抽腔室的真空度、硅片反应过程及取片过程。本发明提供的一种离子注入机控制系统采用PXI标准，选用工控机与数据采集卡相结合的方式，构建了一种注入机的控制系统，具有高性能和扩展性强的特点。
离子注入控制系统

[发明专利]离子注入机-CN201110391312.6有效
发明人：王蒙;李勇滔;赵章琰;李超波;夏洋 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2011-11-30 - 公布日： 2013-06-05 - 主分类号： H01L21/265 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子注入机，包括电源系统、反应腔室、预抽腔室、真空控制系统、送片系统及送气系统。所述真空控制系统分别与所述反应腔室、所述预抽腔室连接；所述反应腔室与所述预抽腔室连接；所述送片系统用于将硅片从所述预抽腔室运输至所述反应腔室，并将硅片运输至所述反应腔室内的离子反应位置；所述送气系统用于向所述反应腔室通入反应与吹扫气体。本发明舍弃了原有离子注入机的注入方式，去除了质量分析、离子束聚焦与扫描系统等复杂的结构，提供了一种结构简单可用于大面积注入的离子注入机。
离子注入

[发明专利]射频连接装置-CN201110399288.0有效
发明人：李勇滔;赵章琰;秦威;李英杰;夏洋 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2011-12-05 - 公布日： 2013-06-05 - 主分类号： H01R13/73 文献下载
摘要：本发明公开一种射频连接装置，用于将射频同轴连接器固定至电路板，包括在其中间开有大半圆孔的上固定块、在其中间开有小半圆孔的下固定块，以及在其一边开有嵌入槽和接地压盘孔的电路板；上固定块、下固定块与射频同轴连接器相互固定，射频同轴连接器的尾部外壳与上固定块、下固定块紧密接合，射频同轴连接器的轴线接合于电路板的射频信号输出导线，上固定块与下固定块经由接地压盘孔相互连接。本发明提供的射频连接装置能够将射频同轴连接器牢固地固定在电路板上，并实现射频同轴连接器与电路板上电路的可靠连接。
射频连接装置

[发明专利]一种传输线自动阻抗匹配系统-CN201110353777.2有效
发明人：孙小孟;李勇滔;李英杰;赵章琰;秦威;夏洋 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2011-11-09 - 公布日： 2013-05-15 - 主分类号： H03H7/40 文献下载
摘要：本发明公开了一种传输线自动阻抗匹配系统，属于半导体制造技术领域。所述系统包括：功率相位检测模块，用于检测出射频信号的幅值与相位信息；位置监测模块，用于监测阻抗匹配网络的电容值信息；控制模块，用于根据幅值与相位信息和电容值信息，生成控制信号；直流电机驱动模块，用于根据控制信号生成不同的电压信号；阻抗匹配执行模块，用于根据电压信号调整阻抗匹配网络，实现等离子体腔室与传输线的阻抗匹配。本发明提供的传输线自动阻抗匹配系统可以实时跟踪等离子体腔室阻抗变化，并自动调节阻抗匹配网络实现快速、准确地自动阻抗匹配。
一种传输线自动阻抗匹配系统

[发明专利]准互补电压开关型D类功放同时导通的保护方法及电路-CN201110361309.X有效
发明人：秦威;李勇滔;李英杰;赵章琰;夏洋 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2011-11-15 - 公布日： 2013-05-15 - 主分类号： H03F1/52 文献下载
摘要：本发明涉及一种准互补电压开关型D类功放同时导通的保护方法及电路，在所述准互补电压开关型D类功放的场效应管的直流供电端串接一扼流线圈，本发明一方面可以有效的抑制两场效应管同时导通时所带来的瞬间大电流给场效应管与直流电源所带来的损害，另一方面在直流电源与两个场效应管之间串进适当的感抗可以有效的防止来自于两个场效应管2MHz的干扰信号对直流电源的影响。
互补电压开关功放同时保护方法电路

[发明专利]D类射频功率放大电路-CN201110353586.6无效
发明人：秦威;李勇滔;李英杰;赵章琰;夏洋 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2011-11-09 - 公布日： 2013-05-15 - 主分类号： H03F3/20 文献下载
摘要：本发明公开一种D类射频功率放大电路，包括D类功率放大器及晶体管保护电路。还公开一种D类射频功率放大电路，包括D类功率放大器及二个RC电路。本发明提供的D类射频功率放大电路极大提高了D类功率放大器工作的稳定性与功率输出效率。
射频功率放大电路

[发明专利]高效率射频电源的相位同步电路-CN201110326229.0有效
发明人： 赵章琰;李勇滔;秦威;李英杰;夏洋 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2011-10-24 - 公布日： 2013-04-24 - 主分类号： H03L7/18 文献下载
摘要：本发明提供一种高效率射频电源的相位同步电路，其包括外部时钟整形电路、锁相环反馈电路、相位调节电路、门限比较电路、时钟选择电路、第二分频电路及内部时钟产生电路；所述外部时钟整形电路和所述相位调节电路分别与所述锁相环反馈电路连接；所述锁相环反馈电路分别与所述门限比较电路、时钟选择电路连接，所述门限比较电路与所述时钟选择电路连接，所述内部时钟产生电路的输出端通过第二分频电路与所述时钟选择电路的输入端连接。本发明提供的高效率射频电源的相位同步电路，能够精确判断外部时钟是否符合工作频率，并能够方便的对外部时钟的相位进行调整。
高效率射频电源相位同步电路

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