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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]真空镊子-CN96105164.7无效
发明人：李敏镐;赵显祥 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 1996-05-23 - 公布日： 1997-06-25 - 主分类号： B65G49/07 文献下载
摘要：本发明涉及在半导体制造工艺中传送半导体晶片时所用的真空镊子，它包含具有一个与抽空管道相连接的前表面扁平的壳体和二个从该壳体延长的扁平的延长部)的呈‘Y’形的真空吸头，设于前述真空吸头的扁平的前表面的至少三个吸附部。根据前述的真空镊子，设于真空吸头的扁平的前表面上的至少三个吸附部，提高对晶片的吸附力，另外，该真空吸头具有‘Y’形结构，即使由于吸头弯曲，导致真空状态被破坏，由部分吸附部也能完全吸附半导体晶片。
真空镊子

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共 1 条

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