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[发明专利]在EUV照射下没有膨胀的用于EUV光刻的反射镜毛坯-CN201480053715.1有效
发明人： K.贝克;S.托马斯 -专利权人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
申请日： 2014-09-10 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： C03C3/06 文献下载
摘要：本发明涉及用于EUV反射镜的衬底，所述衬底具有过零温度的偏离统计分布的变化过程。此外，本发明涉及用于制造用于EUV反射镜的衬底的方法及其使用，其中所述衬底中的过零温度的变化过程与反射镜的运行温度适配，以及涉及在使用这种衬底的情况下的光刻方法。
euv 照射没有膨胀用于光刻反射毛坯

[发明专利]用于生产玻璃管的方法和设备-CN201610271680.X有效
发明人： B.格罗曼;M.泽恩;A.布卢梅瑙 -专利权人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
申请日： 2016-04-28 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： C03B23/08 文献下载
摘要：本发明涉及用于生产玻璃管的方法和设备。公开了一种用于生产玻璃管的已知方法，包括借助于可动加热区使围绕其旋转轴线旋转的中空圆筒分区加热和软化，其中所述玻璃管由在离心力和/或施加在中空圆筒孔中的内部超压作用下的所软化的区域的径向扩张持续地成型。由此开始，为了指示如下方法：如果可能的话，使得可能在单一成型步骤或者少量成型步骤中将中空圆筒成型为带有大外径和高尺寸精度的玻璃管，根据本发明提出的是提供所述中空圆筒包括确定壁厚相对小的圆周位置；并且在所述旋转中空圆筒的加热和软化期间，仅当或者主要当经过冷却剂源的圆周位置带有相对小的壁厚时，才从所述冷却剂源向所述变形区上分配冷却剂。
用于生产玻璃管方法设备

[发明专利]由石英玻璃制成的、用于在ArF准分子激光光刻中使用的光学部件以及用于制造该部件的方法-CN201480009659.1有效
发明人： B.屈恩 -专利权人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
申请日： 2014-02-19 - 公布日： 2019-04-23 - 主分类号： C03C4/00 文献下载
摘要：本发明基于一种由合成石英玻璃制成的光学部件，所述光学部件用在借助193nm的应用波长的ArF准分子激光光刻中，所述光学部件具有基本上无氧缺陷位置的玻璃结构、具有在0.1x10¹⁶个分子/cm³至1.0x10¹⁸个分子/cm³的范围内的氢含量并且具有少于2x10¹⁷个分子/cm³的SiH基含量和具有在0.1wt.ppm和100wt.ppm之间范围内的羟基含量，其中玻璃结构具有小于1070℃的假定温度。为了基于在633nm的测量波长的情况下压实行为的测量在使用应用波长的UV激光辐射的情况下能够实现关于压实行为的可靠预测，提出光学部件的一种构型，其中，所述部件对利用波长为193nm、具有5x10⁹个具有脉冲宽度为125ns并且能量密度分别为500µJ/cm²以及脉冲重复频率为2000Hz的脉冲的辐射的照射以激光诱导的折射率变化做出反应，所述折射率变化的量值在借助193nm的应用波长进行测量的情况下得出第一测量值M_193nm并且在借助633nm的测量波长进行测量的情况下得出第二测量值M_633nm，其中适用：M_193nm/M_633nm<1.7。
石英玻璃制成用于 arf 准分子激光光刻使用光学部件以及制造方法

[发明专利]制造大型石英玻璃管的方法-CN201480039724.5有效
发明人： B.格罗曼;B.奥伯勒;C.申克;G.费希尔;P.德克莱克;B.弗兰斯;U.莱因;A.拉斯;A.霍夫曼 -专利权人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
申请日： 2014-07-08 - 公布日： 2019-03-08 - 主分类号： C03B23/07 文献下载
摘要：已知用于制造大型石英玻璃管的多步成型方法，其中在第一成型步骤中使用成型工具形成具有中间圆筒壁厚和中间圆筒外径的由石英玻璃制成的中间圆筒并随后冷却，并在第二成型步骤中将冷却的中间圆筒的至少一个长度段供应到加热区，在其中逐区加热到软化温度，并在围绕其纵轴旋转的同时成型为具有最终壁厚和最终外径的大型石英玻璃管。几何形状波动随该最终管的外径呈指数型提高。为了由此提供能以经济上合理的花费制造甚至在大于500毫米的大外径下也具有高尺寸稳定性的石英玻璃管的方法，根据本发明建议，该石英玻璃是合成生产的并具有10重量ppm或更低的平均羟基含量，附加条件是在将该中间圆筒分成长度1厘米的长度段时，相邻长度段具有小于2重量ppm的平均羟基含量差异。
制造大型石英玻璃管方法

[发明专利]用于EUV-光刻中的镜面基材的由TiO₂-SiO₂玻璃构成的坯料及其制造方法-CN201480008162.8有效
发明人： S.托马斯;K.贝克;S.奥克斯 -专利权人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
申请日： 2014-02-04 - 公布日： 2019-03-05 - 主分类号： G03B19/14 文献下载
摘要：为了提供用于EUV‑光刻中的镜面基材的由TiO₂‑SiO₂玻璃构成的坯料，其中对于优化热膨胀系数分布和因此过零温度T_ZC分布的调适需求是小的，在920℃至970℃的假想温度T_f平均值下，所述TiO₂‑SiO₂玻璃具有其过零温度T_ZC对于假想温度T_f的依赖性，其以微商dT_zc/dT_f表示小于0.3。
用于 euv 光刻中的基材 tio sub sio 玻璃构成坯料及其制造方法

[发明专利]特别用于石英玻璃坩埚提拉法的组件及生产该组件的方法-CN201510265226.9有效
发明人： B.格罗曼;N.惠佩;C.申克 -专利权人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
申请日： 2015-05-22 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： C03B5/08 文献下载
摘要：本发明公开了特别用于石英玻璃坩埚提拉法的组件及生产该组件的方法。本发明涉及通过连接单独的壁零件用于生产组件的方法，特别是用于生产在石英玻璃的坩埚提拉方法中在高操作温度下使用的熔化坩埚的方法，其中提供至少两个高熔点金属或高熔点金属的贱金属合金的壁零件，将其对接以形成接头，并通过在高于1500℃的温度下烧结连接在一起以形成组件。为了提供具有改进的紧密性的组件并为了确保组件的单独零件的改进的烧结，将密封材料插入接头中。此外，本发明涉及根据本发明方法生产的组件，特别是熔化坩埚，特别是在石英玻璃的坩埚提拉方法中，其中对接的壁之间的接头通过密封材料以气密方式封闭。
特别用于石英玻璃坩埚提拉法组件生产方法

[发明专利]用于制造光纤预制体和光纤的方法-CN201380068444.2有效
发明人： G.L.法塔尔;O.甘斯;K.常 -专利权人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司;赫罗伊斯·坦尼沃有限公司
申请日： 2013-12-16 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： C03B37/012 文献下载
摘要：本发明提供一种制造光纤预制体或光纤的方法。所述方法包括以下步骤：(a)提供玻璃管和玻璃芯棒；(b)将所述玻璃芯棒插入到所述玻璃管中以形成组装体：(c)加热所述组装体以使所述玻璃管塌缩在所述玻璃芯棒上且黏附到所述玻璃芯棒；和(d)在所述组装体的至少部分的加热期间处理所述玻璃芯棒与所述玻璃管之间的界面间隙。所述界面间隙的处理涉及：(i)在所述界面间隙中建立真空压力，(ii)通过处理气体穿过所述界面间隙持续预定时间增加所述界面间隙的压力，和(iii)在经过所述预定时间之后在所述界面间隙中重建真空压力。
用于制造光纤预制方法

[发明专利]用于生成由石英玻璃制成的柱体的方法-CN201380035421.1有效
发明人： M.特罗默;K-U.巴德克 -专利权人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
申请日： 2013-07-02 - 公布日： 2018-10-19 - 主分类号： C03B19/14 文献下载
摘要：一种用于通过生成灰粉体来生成由石英玻璃制成的柱体的方法，其中使用至少两个沉积燃烧器来将用于质量沉积的SiO2颗粒沉积在围绕其纵向轴线旋转的基材上，并且灰粉体被玻璃化以形成石英玻璃柱体，在生成灰粉体之前，实施包括以下步骤的方法：a)生成第一测试灰粉体，其中使用所述至少两个沉积燃烧器来将用于质量沉积的SiO2颗粒沉积在围绕其纵向轴线旋转的基材上；b)确定所述第一测试灰粉体沿轴向方向的密度分布；c)生成第二测试灰粉体，其中根据所确定的第一测试灰粉体的轴向密度分布，来设定第二测试灰粉体的轴向密度分布，优选变得更均匀；d)使所述第二测试灰粉体玻璃化，以便形成测试石英玻璃柱体；e)确定所述测试石英玻璃柱体沿轴向方向的质量分布；f)根据所确定的测试石英玻璃柱体的轴向质量分布，设定待借助于所述沉积燃烧器沉积在基材上的SiO2颗粒的质量沉积，使得借助于所述沉积燃烧器生成的玻璃化的灰粉体的质量分布相对于所述测试石英玻璃柱体的轴向质量分布得到改善和/或变得更均匀。
用于生成石英玻璃制成柱体方法

[发明专利]硅块、其生产方法、适于实施该方法的透明或不透明熔融硅石的坩埚及其生产方法-CN201510470122.1有效
发明人： C.申克;G.沙伊希;N-C.尼尔森;W.莱曼;B.弗罗伊登贝格;K.达德齐斯;S.纳多尔尼;F.沃尔尼;G.菲舍尔 -专利权人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
申请日： 2015-08-04 - 公布日： 2018-09-14 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本发明公开了硅块、其生产方法、适于实施该方法的透明或不透明熔融硅石的坩埚及其生产方法。在用于生产具有矩形形状的用于硅的晶体生长法中的太阳能坩埚的已知方法中，其包括提供包含内壁的透明或不透明熔融硅石的坩埚基体，提供含有无定形SiO2颗粒的分散体，通过使用该分散体以至少0.1 mm的层厚度将含SiO2浆料层施加至至少一部分的内壁上，干燥浆料层从而形成含SiO2颗粒层并使该含SiO2颗粒层热致密化以形成扩散阻挡层。由此开始，为了提供用于生产太阳能坩埚的廉价方法，所述太阳能坩埚使得可能生长高纯度硅块并具有很少的材料损失，本发明建议所述分散体包含分散液和形成粒度为1μm至50μm的粗粒级和粒度小于100 nm的SiO2纳米颗粒的细粒级的无定形SiO2颗粒，其中基于分散体的固体含量，所述SiO2纳米颗粒的重量百分数为2至15 wt%，并且仅通过在晶体生长法中加热硅使含SiO2颗粒层热致密化为扩散阻挡层。
分散体太阳能坩埚不透明硅石熔融晶体生长法扩散阻挡层纳米颗粒生产无定形硅块内壁坩埚透明材料损失干燥浆料高纯度硅矩形形状热致密化坩埚基体层厚度粗粒级分散液浆料层热致密细粒级加热施加生长

[发明专利]生产SiO₂颗粒的合成石英玻璃的方法及SiO₂颗粒-CN201510630029.2有效
发明人： A.霍夫曼;T.凯泽;M.奥特;B.屈恩 -专利权人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
申请日： 2015-09-29 - 公布日： 2018-07-06 - 主分类号： C03B20/00 文献下载
摘要：本发明公开了生产SiO2颗粒的合成石英玻璃的方法及SiO2颗粒。通过熔化SiO2颗粒生产不透明合成石英玻璃的已知方法包括：合成无定形SiO2初级粒子，使无定形SiO2初级粒子成粒以形成开孔SiO2颗粒，通过在烧结气氛中在烧结温度下和烧结周期内加热来烧结开孔SiO2颗粒，以形成致密化的SiO2颗粒，和在熔融温度下熔融致密化的SiO2颗粒，以形成合成石英玻璃。根据本发明在烧结期间调节烧结气氛、烧结温度和烧结持续时间，使得致密化的SiO2颗粒一方面仍包含开孔，并且另一方面在1700 nm波长下显示材料特定的红外透射率T1700，该透射率为相同材料的石英玻璃颗粒的红外透射率T1700的50‑95%。
烧结石英玻璃合成透射率致密化开孔初级粒子烧结气氛无定形熔融熔化石英玻璃颗粒烧结周期显示材料不透明波长成粒加热生产

[发明专利]用于二次电池组的锂离子电池-CN201480033518.3有效
发明人： C.诺伊曼;J.贝克;S.皮汉;M.奥特 -专利权人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
申请日： 2014-06-10 - 公布日： 2018-06-26 - 主分类号： H01M4/62 文献下载
摘要：用于具有电极的二次电池组的已知锂离子电池具有活性材料层，在所述活性材料层中，包含与非水电解质和粒子状的多孔添加剂接触的活性材料颗粒。为了以此为出发点获得锂离子电池在其重量的和容积的能量密度以及成本低的和可再生的制造方面的改善并且为了尤其确保，活性材料层的期望的特性在压延时通过压缩不或者不以不可接受的方式被改变，按照本发明建议，多孔的碳粒子被作为添加剂使用，所述碳粒子的孔隙率处于50%和95%之间的范围中，并且所述碳粒子具有以流体方式彼此连接的大孔隙，所述大孔隙由具有5至00nm范围中的平均壁厚的碳壁限制。
活性材料层锂离子电池碳粒子二次电池大孔隙压延活性材料颗粒多孔添加剂彼此连接流体方式平均壁厚水电解质电极孔隙率粒子状碳壁与非添加剂压缩再生出发点期望制造

[发明专利]多孔碳产品及其用途-CN201180068790.1有效
发明人： C.诺伊曼;J.贝克 -专利权人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
申请日： 2011-07-28 - 公布日： 2018-06-05 - 主分类号： C01B32/05 文献下载
摘要：制备多孔碳体的已知方法，该方法包括提供了包括相互连通的孔的无机模板材料的模板，提供了碳前体物质，并用该前体物质渗透模板的孔，碳化该前体物质，以及除去该模板，以形成多孔碳产品。以此为起点，提供能低成本制备多孔碳结构并且其具有厚壁厚度的方法，根据本发明提出提供了可熔化材料的前体物质颗粒和模板颗粒，粉末混合物由所述颗粒形成，并且在根据方法步骤(d)的碳化之前或期间以一种方式加热该粉末混合物从而使前体物质熔体渗入模板颗粒的孔中。
前体物质粉末混合物模板颗粒多孔碳碳化制备多孔碳结构可熔化材料多孔碳体颗粒形成无机模板低成本碳前体厚壁熔体加热连通渗入并用

[发明专利]生产氟和钛掺杂玻璃毛坯的方法及由该方法生产的毛坯-CN201510614780.3有效
发明人： S.奥赫斯;K.贝克 -专利权人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
申请日： 2015-09-24 - 公布日： 2018-05-18 - 主分类号： C03C3/06 文献下载
摘要：本发明公开了生产氟和钛掺杂玻璃毛坯的方法及由该方法生产的毛坯，其在400nm‑700nm波长范围内在10mm样品厚度下具有至少60%的内部透射率，钛以氧化形式Ti3+和Ti4+存在，所述方法包括：(a)通过火焰水解含硅和钛的前体物质产生TiO2‑SiO2烟灰体，(b)氟化烟灰体以形成氟掺杂TiO2‑SiO2烟灰体，(c)在含水蒸气气氛中处理氟掺杂TiO2‑SiO2烟灰体以形成经调理的烟灰体，和(d)使经调理的烟灰体玻璃化以形成钛掺杂硅石玻璃的毛坯，所述玻璃具有10wt.ppm‑100 wt.ppm的平均OH含量和2,500wt.ppm‑10,000 wt.ppm的平均氟含量。
生产掺杂玻璃毛坯方法

[发明专利]用于生产玻璃管的方法-CN201510949761.6有效
发明人： B.格罗曼;N.惠佩 -专利权人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
申请日： 2015-12-18 - 公布日： 2018-05-18 - 主分类号： C03B23/07 文献下载
摘要：在用于将石英玻璃管生产为空心圆筒的已知成形方法中，所述圆筒在围绕旋转轴线旋转的同时在以相对供给速率Va移动的加热区域中以部分被软化，并且软化部分在施加在空心圆筒孔中的离心力和/或内部超压的作用下径向地膨胀以形成变形区域，以及管持续地成形为具有比空心圆筒的外直径D1大的外直径D2。从此开始，在单个成形步骤中或数量是尽可能少的多个成形步骤中将空心圆筒形成为具有大外直径和高尺寸稳定性的玻璃管，根据本发明建议软化部分的径向膨胀以依赖位置的径向膨胀速率Vr来实施，该径向膨胀速率Vr沿着变形区域的分布具有比供给速率Va两倍更小的最大值Vr,max。
用于生产玻璃管方法

[发明专利]制造铁掺杂的石英玻璃的方法-CN201480050733.4有效
发明人： S.奥赫斯 -专利权人： 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司
申请日： 2014-09-11 - 公布日： 2018-01-05 - 主分类号： C03B37/014 文献下载
摘要：本发明涉及由Fe掺杂的石英玻璃制造用作热防护玻璃的坯件的方法。在该方法中，朝倾向于Fe2+的方向影响Fe2+/Fe3+比。此外，可以省略其它掺杂剂。根据本发明，该方法包括下列步骤(a) 通过含硅和含铁起始物质的火焰水解制造铁掺杂的SiO2烟灰体，(b) 干燥所述烟灰体以获得小于10重量ppm的平均羟基含量，(c) 在适用于将铁至少部分从第一氧化态Fe3+还原成较低的第二氧化态Fe2+的具有还原作用的气氛中，将含有第一氧化态Fe3+的铁的烟灰体玻璃化，以形成由铁掺杂的具有高的硅酸含量的玻璃制成的坯件。获得具有0.1至1重量%的铁含量的坯件，其在红外波长范围内展现最大40%的内透射率和在可见光谱范围内展现至少85%的内透射率。
制造掺杂石英玻璃方法

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