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- [发明专利]退火处理方法和退火控制设备-CN202211416975.3在审
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李文平;李志华;赖阳军
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广州粤芯半导体技术有限公司
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2022-11-14
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2023-01-03
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H01L21/768
- 本申请涉及退火工艺处理方法和退火控制设备，上述退火处理方法包括基于工艺腔室，在待刻蚀的晶圆上设置金属互连结构，得到待处理晶圆，金属互连结构包含金属合金层，将待处理晶圆由工艺腔室转移至退火腔室，基于退火腔室对待处理晶圆进行退火处理，该退火处理方法，基于工艺腔室，在待刻蚀的晶圆上设置金属互连结构的工艺之后，进一步将得到的待处理晶圆转移至退火腔室，然后基于退火腔室对待处理晶圆进行退火处理，能够使得金属合金层中某一偏析出的金属固溶回到另一金属基体中，同时使得另一对应金属基体中的金属晶粒均匀化，从总体上克服了由于互连金属线结构对应合金金属层中的某一金属析出所导致的晶圆良品率下降的缺点。
- 退火处理方法控制设备
- [发明专利]MIM电容结构的形成方法-CN202210844689.0有效
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赖阳军;李志华;曾婵
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广州粤芯半导体技术有限公司
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2022-07-19
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2022-11-18
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H01L49/02
- 本发明提供一种MIM电容结构的形成方法，所述MIM电容结构的形成方法包括：提供一衬底；形成下电极，下电极位于衬底上，下电极包括铝层，在利用溅射工艺形成铝层前，衬底的温度低于80℃，且在溅射工艺中，关闭衬底背面的加热器及进气开关，用以降低溅射工艺中衬底的温度；形成绝缘介质层；形成上电极。本发明中，通过在溅射形成下电极的铝层前降低衬底的温度至80℃以下，且在溅射形成铝层时通过关闭衬底背面的加热器和进气开关用于停止对衬底的加热处理，从而降低溅射形成铝层时衬底的温度，使得形成的铝层的晶粒尺寸较小以降低铝层表面的粗糙度，进而优化了形成的MIM电容的击穿电压，提高了MIM结构的可靠性。
- mim电容结构形成方法
- [实用新型]弹片式光模块散热器-CN202121537364.5有效
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郭士勇;赖阳军
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江西正康热能技术有限公司
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2021-07-07
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2021-12-17
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H05K7/20
- 本实用新型公开了弹片式光模块散热器，包括散热外壳，所述散热外壳的一侧一体成型设置有第一散热翅片，所述散热外壳的内部设置有散热垫板，所述散热垫板的一侧设置有第一均温板，且散热垫板的另一侧设置有第二均温板，所述散热垫板的一侧设置有散热弹片，所述散热外壳的一侧设置有安装块，所述散热垫板的一侧设置有散热片，所述散热片一侧一体成型设置有第二散热翅片。本实用新型在使用时，通过设置有第一均温板和第二均温板，使得光模块的发热面与散热设备的散热面可以良好接触，提高了然热效率，并且通过散热弹片的设置们可以避免光模块在插接后出现松动的情况，提高了光模块的抗振动能力，使用起来十分便利。
- 弹片模块散热器
- [实用新型]多流道折片散热器-CN202121651149.8有效
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郭士勇;赖阳军
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江西正康热能技术有限公司
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2021-07-20
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2021-12-17
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H05K7/20
- 本实用新型公开了多流道折片散热器，包括底板，所述底板上焊接有散热齿板，所述散热齿板设置为方格波浪状的散热齿板，所述散热齿板的侧部上端开设有两组倒角，所述散热齿板的内部形成多组风道，所述风道的内壁开设有第三通孔，所述风道的内壁上固定连接有内反折边，所述内反折边位于第三通孔的上端，所述内反折边设置有四组，其中外侧两组内反折边的长度相等，本实用新型使整个散热齿形成一个完整气流通道，风道的内壁不易贴合在一起，风能均匀吹向每个气流道，快速把每一片齿的热带走，在一定程度上提高了散热效果，且内反折边代替挡风板的作用，增加有效散热面积，在一定程度上降低了企业的生产成本。
- 多流道折片散热器
- [实用新型]双面凸台结构均温板-CN202121654870.2有效
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郭士勇;赖阳军
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江西正康热能技术有限公司
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2021-07-20
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2021-12-17
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H05K7/20
- 本实用新型公开了双面凸台结构均温板，包括均热板，所述均热板的顶部一体成型有散热板，所述均热板的底部一体成型有受热端，所述散热板的顶部设置为散热面，所述散热板上开设有第一突出部，所述受热端上开设有第二突出部；通过散热板、第一突出部与散热板的设置，通过受热端将热快速的传递到散热板，通过散热面可对热量进行散热，从而使均温板的结构简单，通过第一突出部可对散热板的热量进行散热，从而提高散热板的热量效率，通过散热板与第一突出部进行配合，从而可提高均热板的散热效率，通过散热板、第一突出部与散热板的设置，则可在对均温板在生产时，产品结构简单有利于生产加工的同时，提高均温板的散热效率。
- 双面结构均温板
- [实用新型]一种复合散热器-CN202020935055.2有效
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郑金航;赖阳军
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东莞市亿佰金属制品有限公司
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2020-05-28
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2020-12-29
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H05K7/20
- 本实用新型涉及散热器技术领域，具体涉及一种复合散热器，包括上盖板和基座，上盖板和基座之间间隔设置有若干个第一折鳍片，基座的上表面位于相邻两个第一折鳍片之间开设有第一安装槽，每个第一安装槽内均插设有相互平行的第一扁管，第一扁管的一端密封设置有与上盖板插接配合的第一端盖，第一扁管的另一端与基座底部开设的下腔体连通，下腔体的开口处密封设置有下盖板，基座的一侧壁设置有与下腔体连通的注气管，下腔体内填充有冷媒；解决了现有散热器散热效率低的问题，该复合散热器结构紧凑，能够在有限的安装空间范围内更好的解决大功率散热问题。
- 一种复合散热器
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