“贾云波”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果5个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[实用新型]一种半导体离子注入机设备排风监测集成系统-CN202320541442.1有效
发明人：蒋亚东;周晓;徐林;龚宇科;陈建标;贾云波 -专利权人：江苏新顺微电子股份有限公司
申请日： 2023-03-20 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种半导体离子注入机设备排风监测集成系统，属于半导体离子注入设备技术领域。所述离子注入机设备包括若干机体，若干所述机体上分别连接排风管道，所述排风管道内分别设有风压测试表；所述机体上分别设有信号触发器，所述风压测试表与信号触发器信号连接，所述信号触发器与可视化显示终端信号连接。还设有远程报警器，所述远程报警器与信号触发器信号连接，所述远程报警器设于操作人员集中处。所述可视化显示终端包括LED电子屏和信号接收器，所述信号接收器与信号触发器信号连接，所述信号接收器通过RS485通讯连接LED电子屏。本申请结构简单，操作便捷，帮助操作人员第一时间知晓并准确处置险情，防止灾情扩大、事态蔓延。
一种半导体离子注入设备监测集成系统

[实用新型]一种氢气合金扩散炉用炉塞检测装置-CN202220701222.6有效
发明人：陈建标;李天鹏;贾云波;黄强;丁飞;陈佳炜 -专利权人：江苏新顺微电子股份有限公司
申请日： 2022-03-29 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种氢气合金扩散炉用炉塞检测装置，属于集成电路或分立器件芯片制造技术领域。包括固定架，所述固定架固定于工作台末端，所述固定架上设有位置调节单元，所述位置调节单元上设置激光测距传感器，所述激光测距传感器与炉塞间隔布置，且所述激光测距传感器的激光点对准炉塞，所述激光测距传感器与PLC系统信号连接，所述激光测距传感器将检测结果反馈于PLC系统。本申请通过激光测距传感器在通氢气前和在通氢气过程对炉塞位置进行检测并反馈于PLC系统，PLC系统控制是否继续运行工艺。本申请结构简单，操作便捷，提高了使用氢气合金扩散炉的安全可靠性，避免氢气爆鸣、爆炸事故的发生，保证了作业人员的人身安全。
一种氢气合金扩散炉用炉塞检测装置

[实用新型]一种改进的邻甲苯胺蒸汽利用系统-CN202022112656.6有效
发明人：胡书忠;李传勇;贾云波;贺才荣 -专利权人：湖北可赛化工有限公司
申请日： 2020-09-23 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： F22B37/26 文献下载
摘要：本实用新型公开一种改进的邻甲苯胺蒸汽利用系统，包括汽包、中压罐、低压膨胀罐、软水箱、压力自动调节阀、冷凝水收集池、第一供汽管路、第二供汽管路、第三供汽管路和第四供汽管路。本实用新型提供的技术方案中，在汽包和低压膨胀罐之间增设了一个中压罐，并在中压罐和低压膨胀罐之间增设了一个自动调节阀，从而能自动控制低压膨胀罐的压力；同时，还原系统利用过的蒸汽也进入中压罐供精馏系统重复利用，增加了一级蒸汽系统的利用，节约蒸汽，降低了产品生产成本。
一种改进甲苯蒸汽利用系统

[实用新型]一种卧式扩散炉恒温区温度检测装置-CN201920606155.8有效
发明人：陈建标;丁飞;贾云波;吕帮贵;李建立 -专利权人：江阴新顺微电子有限公司
申请日： 2019-04-29 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： G01K1/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种卧式扩散炉恒温区温度检测装置，属于芯片制造技术领域。包括工作台、固定架、输送机构、profile热电偶和温度表，所述固定架固定于工作台上，所述输送机构固定于固定架上，所述profile热电偶设于输送机构上，输送机构将profile热电偶输送至扩散炉内，所述固定架上固定有支座，所述温度表设于支座上，所述温度表与profile热电偶电性连接，所述工作台底部固定设有万向轮。本申请不仅能够自动检测扩散炉恒温区温度，提高了检测的准确性和效率，保证扩散炉恒温区温度分布均匀，提高产品的稳定性。
输送机构固定架热电偶温度表扩散炉恒温工作台温度分布均匀温度检测装置芯片制造技术本实用新型卧式扩散炉电性连接自动检测恒温区扩散炉万向轮检测申请保证

[实用新型]适用于扩散炉的一体式外点火装置-CN201720287050.1有效
发明人： 贾云波;吕伟;陈建标;顾军魏;王海东 -专利权人：江阴新顺微电子有限公司
申请日： 2017-03-23 - 公布日： 2017-11-14 - 主分类号： F23Q13/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种适用于扩散炉的一体式外点火装置，它包括石英泡、小炉体和注入器，所述石英泡的一侧设置有与石英管相连的S弯管，所述石英泡的腔体外围设有防爆罩，在所述防爆罩上开设有冷却水进水口、冷却水回水口和火焰传感器，所述S弯管的一端与石英泡之间设计成一体式结构，在石英泡的另一侧设置有直管，所述直管的一端穿过小炉体，所述注入器的一端插入直管并与石英泡的腔体贯通，所述直管的端部通过设置石英球头与注入器上的球碗连接，并且石英球头上开槽并装入O型圈。本实用新型有效的减少了工艺过程中气体泄露，增加了参数稳定性，提高了产品质量，适合工业化生产使用。
适用于扩散体式点火装置