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[发明专利]去光阻液回收系统-CN201210393186.2无效
发明人：孟文雄;许誉腾 -专利权人：友达光电股份有限公司
申请日： 2012-10-16 - 公布日： 2014-04-16 - 主分类号： G03F7/42 文献下载
摘要：本发明提出一种去光阻液回收系统，至少包括薄膜蒸发器、过滤装置、回收槽、排放管路、流入管路、排渣管路以及回收管路，其中排放管路的一端接设于薄膜蒸发器的出液口，另一端接设于过滤装置的流入口；流入管路的一端接设于过滤装置的流出口，另一端则接设于薄膜蒸发器的进液口；排渣管路一端连通于排放管路，另一端则连通于流入管路；回收管路一端接设于过滤装置的排渣口，另一端则接设于回收槽的回收口。如此，前述各个装置借由各个管路相互连结后，便组成了一个去光阻液的回收系统。利用去光阻液回收系统进行废渣排放作业时，去光阻液自过滤装置的流出口进入于过滤装置内，并将废渣带走，经由排渣口流入回收管路中，再流入回收槽中进行回收。
去光阻液回收系统

[发明专利]光阻剥离液的供应系统及其供应方法-CN201210068615.9有效
发明人：吴昌骏;李志文;林家弘;许誉腾 -专利权人：友达光电股份有限公司
申请日： 2012-03-14 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： G03F7/42 文献下载
摘要：本发明公开了一种光阻剥离液的供应系统及其供应方法，该光阻剥离液的供应系统包括第一储存槽，用以储存并供应第一光阻剥离废液；处理设备，用以接收并处理来自第一储存槽的第一光阻剥离废液，并分别输出光阻剥离液与第二光阻剥离废液；第二储存槽，用以储存并输出来自处理设备的光阻剥离液；及第三储存槽，用以储存来自处理设备的第二光阻剥离废液。供应系统处于第一运转阶段时，处理设备输出第二光阻剥离废液至第一储存槽，并停止输出第二光阻剥离废液至第三储存槽；供应系统处于第二运转阶段时，处理设备输出第二光阻剥离废液至第三储存槽，并停止输出第二光阻剥离废液至第一储存槽。
剥离供应系统及其方法