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[发明专利]用于在真空室内传送基板的基板传送机器人-CN202310098677.2在审
发明人：李寿钟;李昌成;白承煐;许文纪 -专利权人：株式会社T-ROBOTICS
申请日： 2023-02-10 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于在真空室内传送基板的基板传送机器人，其特征在于，包括：传送臂平台，其形成有位于第1中央区域的第1结合孔、位于第1一前端区域的第2结合孔以及位于第1另一前端区域的第3结合孔，在前方区域固定结合有第1连杆连接件，在对应于所述前方区域的后方区域固定结合有第2连杆连接件；第1传送臂部，其包括第1_1传送连杆臂、第1_2传送连杆臂、第1共用连杆臂、第1_1辅助连杆臂、第1_2辅助连杆臂、第1_3辅助连杆臂、第1_4辅助连杆臂以及第1末端执行器；以及第2传送臂部，其包括第2_1传送连杆臂、第2_2传送连杆臂、第2共用连杆臂、第2_1辅助连杆臂、第2_2辅助连杆臂、第2_3辅助连杆臂、第2_4辅助连杆臂以及第2末端执行器。
用于真空室内传送机器人

[发明专利]用于在真空室内传送基板的基板传送机器人-CN202310098694.6在审
发明人：李寿钟;李昌成;白承煐;许文纪 -专利权人：株式会社T-ROBOTICS
申请日： 2023-02-10 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于在真空室内传送基板的基板传送机器人，其特征在于，包括：传送臂平台，其形成有位于第1中央区域的第1结合孔、位于第1一前端区域的第2结合孔以及位于第1另一前端区域的第3结合孔，在前方区域固定结合有第1连杆连接件，在对应于所述前方区域的后方区域固定结合有第2连杆连接件；第1传送臂部，其包括第1_1传送连杆臂、第1_2传送连杆臂、第1共用连杆臂、第1_1辅助连杆臂、第1_2辅助连杆臂、第1_3辅助连杆臂、第1_4辅助连杆臂以及第1末端执行器；以及第2传送臂部，其包括第2_1传送连杆臂、第2_2传送连杆臂、第2共用连杆臂、第2_1辅助连杆臂、第2_2辅助连杆臂、第2_3辅助连杆臂、第2_4辅助连杆臂以及第2末端执行器。
用于真空室内传送机器人

[发明专利]用于在真空室内传送基板的基板传送机器人-CN202210452883.4在审
发明人：李寿钟;金明辰;李昌成;白承煐;池昌弦;咸相辉;许文纪;朴宰炫;李太韩 -专利权人：株式会社 T-ROBOTICS
申请日： 2022-04-27 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： B25J9/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于在真空室内传送基板的基板传送机器人，包括：传送臂平台，其形成有第1结合孔、第2结合孔及第3结合孔，在前方区域固定结合有包括用于连杆结合的第1叶片和第2叶片的连杆连接件，引入至所述第1下部空间的所述底部支撑体的所述支撑轴固定结合于所述第1卡止件；第1传送臂部，其包括第1_1传送连杆臂、第1_2传送连杆臂、第1共用连杆臂、第1_1辅助连杆臂、第1_2辅助连杆臂、第1_3辅助连杆臂及第1末端执行器；以及第2传送臂部，其包括第2_1传送连杆臂、第2_2传送连杆臂、第2共用连杆臂、第2_1辅助连杆臂、第2_2辅助连杆臂、第2_3辅助连杆臂及第2末端执行器。
用于真空室内传送机器人

[发明专利]一种用于将基板传送机器人在真空室内行走的行走机器人-CN202210452884.9在审
发明人：李寿钟;金明辰;李昌成;白承煐;池昌弦;咸相辉;许文纪;朴宰炫;李太韩 -专利权人：株式会社 T-ROBOTICS
申请日： 2022-04-27 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于使基板传送机器人在真空室内行走的行走机器人，包括：行走臂平台，其包括第1_1结合孔、第1_2结合孔和第1_3结合孔；第1行走臂部包括第1_1行走连杆臂及第1_2行走连杆臂；第2行走臂部包括第2_1行走连杆臂及第2_2行走连杆臂；传送机器人结合部，其第2前端区域可旋转地结合到第1_2行走连杆臂的第1_2另一前端区域，第2另一前端区域可旋转地结合到第2_2行走连杆臂的第2_2另一前端区域，在第2中央区域形成有带中空的旋转驱动轴密封结合到用于传送基板的基板传送机器人的旋转驱动电机。
一种用于将基板传送机器人真空室内行走

[发明专利]用于在真空室内传送基板的基板传送机器人-CN202210396091.X在审
发明人：李寿钟;金明辰;李昌成;白承煐;池昌弦;咸相辉;许文纪;朴宰炫;李太韩 -专利权人：株式会社 T-ROBOTICS
申请日： 2022-04-15 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于在真空室内传送基板的基板传送机器人，包括：传送臂平台，其形成有第1结合孔、第2结合孔及第3结合孔，在前方区域固定结合有包括用于连杆结合的第1叶片和第2叶片的连杆连接件，引入至所述第1下部空间的所述底部支撑体的所述支撑轴固定结合于所述第1卡止件；第1传送臂部，其包括第1_1传送连杆臂、第1_2传送连杆臂、第1共用连杆臂、第1_1辅助连杆臂、第1_2辅助连杆臂、第1_3辅助连杆臂及第1末端执行器；以及第2传送臂部，其包括第2_1传送连杆臂、第2_2传送连杆臂、第2共用连杆臂、第2_1辅助连杆臂、第2_2辅助连杆臂、第2_3辅助连杆臂及第2末端执行器。
用于真空室内传送机器人

[发明专利]一种用于将基板传送机器人在真空室内行走的行走机器人-CN202210396092.4在审
发明人：李寿钟;金明辰;李昌成;白承煐;池昌弦;咸相辉;许文纪;朴宰炫;李太韩 -专利权人：株式会社 T-ROBOTICS
申请日： 2022-04-15 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于使基板传送机器人在真空室内行走的行走机器人，包括：升降部，其位于密封真空室内部的壳体的外侧下部区域，上端与在壳体下部区域形成的真空室通孔密封连接，将形成有中空的升降驱动轴在真空室通孔内上下运动；行走臂平台，其包括第1_1结合孔、第1_2结合孔和第1_3结合孔；第1行走臂部包括第1_1行走连杆臂及第1_2行走连杆臂；第2行走臂部包括第2_1行走连杆臂及第2_2行走连杆臂；传送机器人结合部，其第2前端区域可旋转地结合到第1_2行走连杆臂的第1_2另一前端区域，第2另一前端区域可旋转地结合到第2_2行走连杆臂的第2_2另一前端区域，在第2中央区域形成有带中空的旋转驱动轴密封结合到用于传送基板的基板传送机器人的旋转驱动电机。
一种用于将基板传送机器人真空室内行走