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[发明专利]一种薄膜体声波谐振器的腔体结构及制造工艺-CN202010094463.4有效
发明人：李林萍;盛荆浩;江舟 -专利权人： 见闻录（浙江）半导体有限公司
申请日： 2020-02-15 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本发明公开了一种薄膜体声波谐振器的腔体结构及制造工艺，通过在布置有牺牲材料层的衬底上布设支撑层以使得支撑层至少覆盖在牺牲材料层的外围的部分上表面，并且支撑层具有开口区域以使得牺牲材料层上表面的剩余部分暴露在外；利用牺牲材料填平支撑层的开口区域；在支撑层和牺牲材料上制作底电极层，底电极层架设在支撑层上；在底电极层上制作压电层和顶电极层；去除全部牺牲材料形成腔体结构。因此大大抑制了薄膜体声波谐振器的寄生电容，可以有效提高器件的机械稳定性，减小膜层的应力变化对器件的谐振性能的影响，可以有效提高谐振器的谐振性能。
一种薄膜声波谐振器结构制造工艺

[发明专利]体声波谐振器及其组件和制作方法、电子设备、滤波器-CN202310418733.6在审
发明人：李林萍 -专利权人： 见闻录（浙江）半导体有限公司
申请日： 2023-04-14 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本申请公开了体声波谐振器及其组件和制作方法、电子设备、滤波器，体声波谐振器包括：衬底；第一电极，第一电极与衬底之间具有声波反射结构；第二电极，第二电极与第一电极之间具有压电层；在垂直于衬底的方向上，声波反射结构、第一电极、压电层和第二电极的重叠区域为有效区域；在平行于衬底的方向上，有效区域包括相对设置的第一边和第二边，第一边和第二边的两端连接有第一自由端与第二自由端，以形成封闭的有效区域；有效区域在第一自由端和第二自由端之间的延伸长度为H，第一边上任意一点为A点，A点到第二边的最短距离为D，且H/D3。通过调整谐振器中的延伸长度H，提高谐振器的散热效率。
声波谐振器及其组件制作方法电子设备滤波器

[发明专利]谐振器及组件、滤波器、电子设备及制作方法和封装结构-CN202310402705.5在审
发明人：李林萍 -专利权人： 见闻录（浙江）半导体有限公司
申请日： 2023-04-06 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本申请公开了谐振器及组件、滤波器、电子设备及制作方法和封装结构，体声波谐振器包括：衬底；第一电极，第一电极与衬底之间具有声波反射结构；第二电极，第二电极与第一电极之间具有压电层；其中，在垂直于衬底的方向上，声波反射结构、第一电极、压电层和第二电极的重叠区域构成有效区域，谐振器具有环形的有效区域；有效区域的内边缘上的任意一点为A点，A点到谐振器的中心点的距离为D，A点到有效区域外边缘的最短距离为W，且0.1≤W/D≤10。通过调整谐振器中的距离W，提高谐振器的散热效率。
谐振器组件滤波器电子设备制作方法封装结构

[发明专利]体声波谐振器及其制作方法、滤波器、电子设备-CN202211668098.9在审
发明人：李林萍 -专利权人： 见闻录（浙江）半导体有限公司
申请日： 2022-12-23 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本发明提供一种体声波谐振器及其制作方法、滤波器、电子设备，该体声波谐振器由金属层围绕形成声镜，不仅简化了工艺，而且采用导热性更好的金属层围绕形成声镜，当电极对外连接时可直接通过金属层与外部连接，因金属层的厚度大，导电性更好，可以有效的减小对外连接时电极连接的电学损耗，提高Q值，同时，减小连接电阻。金属层的导热性能好，与衬底接触面积大，散热效果得到进一步提高，进而谐振器的性能得到提升，由该谐振器制备的滤波器的插入损耗等电学参数也会得到改善或提升。
声波谐振器及其制作方法滤波器电子设备

[发明专利]体声波谐振器及其制作方法、滤波器及电子设备-CN202211034177.4有效
发明人：李林萍;崔美慧 -专利权人： 见闻录（浙江）半导体有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种体声波谐振器及其制作方法、滤波器及电子设备，该体声波谐振器包括基底和沿背离基底方向依次排布的声反射结构、底电极、压电层和顶电极，底电极背离基底的表面设置有第一凹陷，在底电极背离基底的一侧形成压电层时，第一凹陷的形貌传递到压电层背离基底的表面，在压电层背离基底的表面形成第二凹陷，压电层各处厚度相等，即没有对压电层进行刻蚀等任何物理破坏，从而不会破坏压电层在第二凹陷附近的局部应力分布，使得压电层中的应力分布可以更加均匀，进而提高体声波谐振器的性能和良率，且第一凹陷及第二凹陷位于有效谐振区域的边缘附近，还可以抑制横波谐振，减少横波泄露，提高体声波谐振器的品质因子。
声波谐振器及其制作方法滤波器电子设备

[发明专利]一种谐振器及其制造方法、滤波器和电子设备-CN202211532736.4在审
发明人：李林萍 -专利权人： 见闻录（浙江）半导体有限公司
申请日： 2022-12-01 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本发明提出了一种谐振器，其包括：衬底；位于衬底上的功能层，功能层至少包括底电极、压电层和顶电极，压电层位于底电极与顶电极之间；底电极与衬底之间具有空腔；其中，功能层上具有通孔，通孔的至少部分内侧壁上设置有第一支撑结构，第一支撑结构具有与衬底相接触的底部。在该结构中，通孔处不产生热量；通孔使谐振器为环形，具有较好的散热效果；第一支撑结构底部与衬底相接触，对功能层形成较好的支撑，并形成传热路径，加快了谐振器热量的传输，使谐振器散热能力增强。本发明还提出一种谐振器的制造方法、以及包括该谐振器的滤波器和电子设备。
一种谐振器及其制造方法滤波器电子设备

[发明专利]体声波谐振器及相关设备、体声波谐振器的制备方法-CN202211489903.1在审
发明人：李林萍 -专利权人： 见闻录（浙江）半导体有限公司
申请日： 2022-11-25 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种体声波谐振器及相关设备，包括谐振器组件、滤波器和电子设备，以及体声波谐振器的制备方法，该体声波谐振器包括衬底和在衬底上依次层叠的声反射元件、第一电极、压电层和第二电极，其中，第一电极和压电层之间设置有第一间隙，压电层和第二电极除位于有效谐振区域的部分外的第二电极连接部之间设置有第二间隙，第一间隙的始端与有效谐振区域的末端重合，第二间隙的末端位于第一电极的末端外侧，且第一间隙和第二间隙在垂直于衬底所在平面的方向交错重叠，此双重间隙结构，一方面可减少非有效谐振区域的寄生震荡，另一方面可反射横波，减少横波泄露，提高器件的Q因子，并且，电极层和压电层因在两间隙处的相互支撑而更加稳定。
声波谐振器相关设备制备方法

[发明专利]一种谐振器及其制造方法、滤波器和电子设备-CN202211532630.4在审
发明人：李林萍 -专利权人： 见闻录（浙江）半导体有限公司
申请日： 2022-12-01 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本发明提出一种谐振器，包括：衬底、位于衬底上的压电叠层结构，以及位于压电叠层结构与衬底之间的空腔，压电叠层结构至少包括依次层叠设置的底电极层、压电层和顶电极层，底电极层具有凹陷区域，凹陷区域的底部与空腔中的衬底表面接触。上述方案通过将底电极层部分向下凹陷至其下方的衬底表面，形成凹陷区域，对膜层进行支撑，提高了谐振器的机械可靠性与稳定性；同时，通过凹陷区域加快散热，从而减少谐振器的热量累积。进一步地，通过凹陷区域边缘的形貌变化、凹陷区域开口的最大尺寸与谐振器横波波长的匹配、凹陷区域上方导热介质材料的填充等，有效地提高抑制横波的效果。
一种谐振器及其制造方法滤波器电子设备

[发明专利]一种体声波谐振器及制作方法、滤波器-CN202211661201.7在审
发明人：李林萍 -专利权人： 见闻录（浙江）半导体有限公司
申请日： 2022-12-23 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种体声波谐振器及制作方法、滤波器，该体声波谐振器中，在叠置的第一谐振功能区和第二谐振功能区之间设置有布拉格反射层，在体声波谐振器的纵截面上，该布拉格反射层中第三反射层的最大截面宽度大于第一反射层与第二反射层的最大截面宽度，第一谐振功能区和第二谐振功能区中产生的声波分别在第三反射层形成有效的反射，第三反射层的最大截面宽度相比第一反射层与第二反射层更大，减小了第一谐振功能区和第二谐振功能区之间的声学耦合，使得该体声波谐振器具有更好的声学隔离效果，从而保证了体声波谐振器的性能不受影响。
一种声波谐振器制作方法滤波器

[发明专利]体声波谐振器、谐振器组件、滤波器及电子设备-CN202211034164.7有效
发明人：李林萍 -专利权人： 见闻录（浙江）半导体有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本申请公开了一种体声波谐振器、谐振器组件、滤波器及电子设备，该体声波谐振器包括第一电极、第二电极以及位于第一电极和第二电极之间的压电层，声反射元件设置在第一电极背离压电层一侧，第二电极除位于有效谐振区域内的部分外还包括第二电极连接部，压电层延伸超过第一电极的末端且厚度不变，第二电极连接部与压电层之间具有第一间隙，且在第一电极指向第二电极的方向上，第一间隙的上表面不高于有效谐振区域内压电层的上表面，一方面使得第二电极连接部与压电层分离，减少寄生振荡，另一方面，第二电极连接部的机械稳定性更好，不容易出现塌陷和断裂等情况，同时，不会破坏压电层的局部应力，使得压电层应力分布更加均匀。
声波谐振器组件滤波器电子设备

[发明专利]谐振器、谐振器组件、滤波器、电子设备及制作方法-CN202211230473.1在审
发明人：李林萍 -专利权人： 见闻录（浙江）半导体有限公司
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本申请提供了一种谐振器、谐振器组件、滤波器、电子设备及制作方法，所述谐振器包括：衬底，具有相对第一表面和第二表面，位于所述第一表面上的第一电极，所述第一电极包括远离第一表面凸起的第一凸起部分和位于第一表面上的第一平坦部分，所述第一凸起部分与所述第一表面之间形成空腔，压电层，位于所述第一电极背离所述衬底的一侧，所述压电层与所述第一表面平行，第二电极，位于所述压电层背离所述第一电极的一侧。由于压电层与所述第一表面平行，因此在整个压电层的应力变化幅度很小，从而保证了压电层压电性能的一致性，同时由于压电层的形变较小，因此机械结构比较稳定，在面对外界冲击时不容易断裂。
谐振器组件滤波器电子设备制作方法

[发明专利]一种滤波器模板、滤波器以及设计方法-CN202211555234.3在审
发明人：刘哲伟;陈鹏光;李林萍;王瑞;马天;韩孙煜;严陈圩 -专利权人： 见闻录（浙江）半导体有限公司
申请日： 2022-12-06 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： H03H9/05 文献下载
摘要：本发明提供了一种滤波器模板、滤波器以及设计方法，在该滤波器模板中，基板上第一区域中有多个串联谐振器，每一个串联谐振器的第一顶电极连接部与第一底电极连接部分别设置在不同的两个区域；第二区域中有多个并联谐振器，每一个并联谐振器的第二顶电极连接部与第二底电极连接部分别设置在不同的两个区域；对串联谐振器与并联谐振器进行分区排布，并对第一顶电极连接部与第一底电极连接部、第二顶电极连接部与第二底电极连接部进行分区排布，使得该滤波器模板中的各个谐振器呈现出规则化排布状态，使用该滤波器模板可以减小设计滤波器时的设计的复杂度，解决了滤波器中的谐振器排布多样化的问题。
一种滤波器模板以及设计方法

[发明专利]体声波谐振器及相关设备、体声波谐振器的制备方法-CN202211665142.0在审
发明人：李林萍 -专利权人： 见闻录（浙江）半导体有限公司
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种体声波谐振器及相关设备，包括谐振器组件、滤波器和电子设备，以及体声波谐振器的制备方法，该体声波谐振器通过在第一电极和衬底之间至少空腔以外的衬底表面上设置第一膜层，以利用第一膜层隔离至少部分牺牲层和衬底接触，减少牺牲层中的材料元素向衬底内的扩散，保护衬底免被变性而影响体声波谐振器的性能；同时，在第一电极和衬底之间且空腔和第一膜层之间还设置第二膜层，隔离空腔和第一膜层接触，第二膜层与腐蚀牺牲层而形成空腔的腐蚀物质不反应，以在采用腐蚀物质腐蚀牺牲层而形成空腔时，防止过度腐蚀到第二膜层而造成第一电极、压电层和第二电极这些谐振功能层与衬底分离，提高体声波谐振器的可靠性和稳定性。
声波谐振器相关设备制备方法

[发明专利]体声波谐振器及其制造方法、滤波器、电子设备-CN202211663396.9在审
发明人：李林萍 -专利权人： 见闻录（浙江）半导体有限公司
申请日： 2022-12-23 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本发明提供一种体声波谐振器及其制造方法、滤波器、电子设备，在该体声波谐振器定义的有效谐振区域边缘设置框架结构，框架结构对应的有效谐振区域的声阻抗大于框架结构之外的有效谐振区域的声阻抗，可以有效抑制寄生横波。此外，该框架结构采用双层钝化层结构，在实现对横波的抑制的同时，减少额外的谐振引起的杂波。同时采用双层钝化层结构可以减小应力，提高结构稳定性和Q值。
声波谐振器及其制造方法滤波器电子设备

[发明专利]一种声波谐振器及其制造方法、滤波器和电子设备-CN202211153689.2在审
发明人：李林萍 -专利权人： 见闻录（浙江）半导体有限公司
申请日： 2022-09-21 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本发明提出一种谐振器，包括衬底；形成在衬底上的底电极层、顶电极层和压电层；以及形成在底电极层与衬底之间的声学反射结构；其中，在声波谐振器的有效谐振区域的末端，顶电极层与压电层之间具有第一间隙和/或底电极层与压电层之间具有第二间隙，并且第一间隙的最顶面不高于位于有效谐振区域内的顶电极层的最下表面，第二间隙的最顶面不高于位于有效谐振区域内的底电极层的最上表面。通过在谐振器的有效谐振区域的末端设置间隙，分离电极层和压电层，减少横波从工作区域向外界传递；具备该间隙结构的谐振器相对于现有技术具有更好的机械稳定性，同时，在生产过程中无需对压电层进行额外处理，从而结构稳定性和一致性较高。
一种声波谐振器及其制造方法滤波器电子设备

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