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[发明专利]基板切断装置和基板切断方法-CN202210803266.4在审
发明人： 西田和纪;田端淳;市川克则;中田胜喜 -专利权人：三星钻石工业股份有限公司
申请日： 2022-07-07 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C03B33/09 文献下载
摘要：本发明提供一种基板切断装置，在分断端面上不会产生缺口，采用利用了热应力的切断，并以不喷射热介质的方式对划线高效地施加热应力来进行切断。具备用于载置加工有划线(S)的基板(W)的基板支承件(1)和与基板(W)的划线(S)接触的切断杆(4)，切断杆(4)与基板(W)的接触面中，设定为第一温度(T1)的多个温热区域(H)和设定为比第一温度低的第二温度(T2)的多个冷热区域(L)以交替相邻的方式排列配置，将温热区域(H)和冷热区域(L)沿划线(S)同时进行面接触而施加热应力来进行切断。
切断装置方法

[发明专利]基板切断装置和基板切断方法-CN202210803240.X在审
发明人： 西田和纪;田端淳;市川克则;中田胜喜 -专利权人：三星钻石工业股份有限公司
申请日： 2022-07-07 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： C03B33/09 文献下载
摘要：本发明提供基板切断装置及方法，在产生热应力而使玻璃基板切断时能够热效率良好地切断，并能够一举切断包含曲线或折线等的任意形状的划线。具备：由良导热性材料构成的传热棒(6)；形成有传热棒(6)能插入的安装孔的良导热性材料的平台(1)；与平台热绝缘地被支承的良导热性材料的板(8)；将平台(1)设定为第一设定温度(T1)的第一温度设定机构(2)；及将板(8)设定为第二设定温度(T2)的第二温度设定机构(12)。各传热棒(6)与平台(1)热绝缘，并且各传热棒(6)的一端侧与平台(1)的基板载置面齐平、另一端侧与板(8)热传导，形成于平台(1)的安装孔(5)的位置包括当基板载置于载置面时沿划线对置的多个位置。
切断装置方法