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[发明专利]拉晶炉软轴清理装置、拉晶炉及其软轴清理方法-CN202111622581.9有效
发明人：屈强 -专利权人：西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟设备技术有限公司
申请日： 2021-12-28 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本公开提供一种拉晶炉软轴清理装置、拉晶炉及其软轴清理方法，所述拉晶炉软轴清理装置包括：设置于拉晶炉的副室内腔的支撑固定组件；及设置于所述副室内腔的吹扫组件，所述吹扫组件通过所述支撑固定组件固定于所述副室内腔；其中所述吹扫组件包括：吹风头，其吹风口朝向拉晶炉的籽晶提拉软轴的外表面，用于吹扫所述籽晶提拉软轴的外表面；送风管，与所述吹风头连通；及供风部件，与所述送风管连通。本公开实施例提供的拉晶炉软轴清理装置、拉晶炉及其软轴清理方法，可无需拆装软轴，对拉晶炉软轴进行自动吹扫，避免了软轴拆解产生的影响精度、寿命及二次污染的问题，且可提升生产效率。
拉晶炉软轴清理装置拉晶炉及其方法

[实用新型]一种坩埚升降装置和单晶炉-CN202220216498.5有效
发明人：贾元成 -专利权人：西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟设备技术有限公司
申请日： 2022-01-26 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种坩埚升降装置和单晶炉。坩埚升降装置包括驱动组件；第一减速器，第一减速器的输入端与驱动组件的输出端传动连接；离合器组件，离合器组件的输入端与第一减速器的输入端传动连接，离合器组件的输出端与第一减速器的输出端传动连接，离合器组件的输入端和输出端配置为控制根据离合控制信号连接或断开；第二减速器，第二减速器的输入端与离合器组件的输出端连接；坩埚固定件，与第二减速器的输出端相固定，坩埚固定件用于连接坩埚。本实施例简化了坩埚升降装置的结构，有助于降低成本。
一种坩埚升降装置单晶炉

[实用新型]拉晶炉-CN202220227611.X有效
发明人：刘新宇 -专利权人：西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟设备技术有限公司
申请日： 2022-01-27 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种拉晶炉，包括：炉体，炉体上具有开口，开口与炉体的炉腔连通；观察窗，观察窗设置于炉体的开口位置且封闭开口，观察窗包括多个层叠设置的盖体，每个盖体上与开口对应的区域为透光区域，每个盖体上设有温度调节结构。在本实用新型的实施例中，将观察窗设置成多个层叠设置的盖体，增强结构强度，具有多重防护作用，每个盖体上与开口对应的区域为透光区域，通过透光区域可以观察拉晶炉的内部情况，每个盖体上设有温度调节结构，通过温度调节结构可以调节盖体的温度，可以降低盖体的温度，防止盖体出现破裂、高温烫伤等问题，防止盖体破损对炉室内部真空环境造成破坏，避免产生安全隐患。
拉晶炉

[实用新型]导流筒提升组件和单晶炉-CN202220252868.0有效
发明人：赵剑波 -专利权人：西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟设备技术有限公司
申请日： 2022-01-29 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种导流筒提升组件，包括导流筒、提升结构，以及能够连接于导流筒和提升结构的提升杆之间的连接结构，导流筒的第一端具有凸缘，凸缘上具有至少一个第一安装孔；连接结构包括连接板和固定螺栓，连接板包括固定部和连接部，固定部上设置有与第一安装孔相配合的至少一个第二安装孔，固定螺栓能够依次穿过第二安装孔和第一安装孔，以将连接板紧密连接于凸缘上，连接部上开设有缺口；提升杆包括沿第一方向延伸的柱状本体，柱状本体的一端的外周面内凹形成环形卡接口，卡接口能够卡接入缺口内以将提升杆与导流筒连接，环形卡接口在第一方向上的长度大于预设值。本实用新型还涉及一种单晶炉。
导流提升组件单晶炉

[实用新型]一种清洁工具及二次加料器清洁装置-CN202220246299.9有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟设备技术有限公司
申请日： 2022-01-29 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： B08B9/027 文献下载
摘要：本公开提供一种清洁工具及二次加料器清洁装置，所述清洁工具包括：操作杆，所述操作杆包括相对的手持端和操作端；及连接至所述操作端的清洁组件，所述清洁组件包括第一擦拭部和第二擦拭部，所述第一擦拭部与所述第二擦拭部之间通过铰接轴连接成可张合的夹子状结构，且在铰接处设有扭簧。本公开实施例提供的清洁工具及二次加料器清洁装置，结构简单，操作方便，且清洁干净有效。
一种清洁工具二次料器装置

[发明专利]一种晶圆中金属离子分布识别方法、装置、电子设备和可读存储介质-CN202111652575.8在审
发明人：薛兵;韩建峰 -专利权人：西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟设备技术有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明提供一种晶圆中金属离子分布识别方法、装置、电子设备和可读存储介。晶圆中金属离子分布识别方法包括以下步骤：获取晶圆的灰度图像；根据所述灰度图像提取所述晶圆的N条灰度曲线，其中，所述晶圆由N个子区域构成，N为大于1的整数，所述子区域的形状为与所述晶圆的半径相同的扇形，且所述子区域的圆心和所述晶圆的圆心重合，每一所述灰度曲线对应一个所述子区域，且所述灰度曲线反应所述子区域沿半径方向的灰度变化；叠加所述灰度曲线获得所述晶圆的累加灰度曲线；检测所述累加灰度曲线的波峰，其中，所述累加灰度曲线的波峰对应所述晶圆中的金属离子分布环。本发明实施例能够提高金属离子分布情况的评估的准确性和一致性。
一种晶圆中金属离子分布识别方法装置电子设备可读存储介质

[发明专利]晶圆片位置检测装置及检测方法-CN202111623598.6在审
发明人：杨帆 -专利权人：西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟设备技术有限公司
申请日： 2021-12-28 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本公开提供一种晶圆片位置检测装置及检测方法，该装置包括：位置检测组件，用于测量承载晶圆片的承载面上多个基准位置点的位置数据、及所述晶圆片上多个测量位置点的位置数据，所述多个基准位置点与所述多个测量位置点一一对应而分为多组位置点，同一组位置点处于沿所述晶圆片径向延伸的同一直线上；移动组件，连接所述位置检测组件，用于在所述多个基准位置点及所述多个测量位置点之间移动；处理器，连接所述位置检测组件，用于根据多组位置点的位置数据，判断所述晶圆片是否超出允许范围。本公开提供的晶圆片位置检测装置及检测方法，能够实现晶圆片搭边、翘曲、叠片等问题进行自动化检测，以及时发现故障，保证设备稳定运行，提高生产效率。
晶圆片位置检测装置方法

[发明专利]一种晶圆缺陷检测方法、装置、设备及计算机存储介质-CN202111652766.4在审
发明人：薛兵 -专利权人：西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟设备技术有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种晶圆缺陷检测方法、装置、设备及计算机存储介质；所述检测方法包括：基于采集的待测晶圆的图像，按照设定的条件将所述图像划分为多个检测区域；其中，所述采集到的待测晶圆的图像上包含有用于表征铜离子的白点；基于每个所述检测区域中的铜离子个数，判断每个所述检测区域对应的缺陷区域类型；根据每个所述检测区域对应的缺陷区域类型，确定所述待测晶圆表面的缺陷分布状态。
一种缺陷检测方法装置设备计算机存储介质

[发明专利]晶体直径检测方法、系统及计算机程序产品-CN202111637395.2在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟设备技术有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： G01B11/08 文献下载
摘要：本公开提供一种晶体直径检测方法、系统及计算机程序产品，该方法包括：实时获取直拉法硅单晶放肩阶段熔硅表面的图像；在图像中标记出包含晶体直径边沿信息的图像有效检测区域；对图像有效检测区域进行数字图像处理；对图像有效检测区域进行预处理，提取出晶体直径下边沿图像；获取晶体直径边缘图像中的预定直径边界点图像坐标，并获取放肩中心点图像坐标，根据预定直径边界点图像坐标与放肩中心点图像坐标之间的差值，获得放肩直径像素值；获取像素值与物理尺寸的转换系数；根据转换系数，对放肩直径像素值进行转换，以获取晶体放肩直径的物理尺寸。本公开的晶体直径检测方法、系统及计算机程序产品，可以实现放肩阶段晶体直径的实时量化测量。
晶体直径检测方法系统计算机程序产品

[实用新型]单晶炉-CN202120379054.9有效
发明人：路宙山 -专利权人： 西安奕斯伟设备技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司
申请日： 2021-02-18 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本公开提供一种单晶炉，包括炉体、软轴提拉装置、软轴、坩埚和籽晶轴，炉体内部设真空腔室，坩埚、软轴和籽晶轴设置于真空腔室内，软轴和籽晶轴位于坩埚的上方，软轴上端连接软轴提拉装置，软轴下端连接籽晶轴；软轴提拉装置包括：卷丝轮单元及传动机构，卷丝轮单元连接在软轴上端，并位于真空腔室内侧；传动机构位于真空腔室外侧，且传动机构与卷丝轮单元连接，驱动卷丝轮单元对软轴卷扬，以在竖直方向上升降籽晶轴。本公开的单晶炉对软轴提拉装置进行了改进，将提拉软轴的传动机构隔离到真空腔室外侧，实现籽晶提拉软轴的快慢速提拉的功能；减少了真空腔室内的洁净度污染，提升晶棒产品品质。
单晶炉

[实用新型]旋转装置-CN202120089106.9有效
发明人：路宙山 -专利权人： 西安奕斯伟设备技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司
申请日： 2021-01-13 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： B08B13/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种旋转装置，包括：支撑结构，包括相对设置的第一支撑架和第二支撑架；旋转框架，设置于第一支撑架和第二支撑架之间，包括相对设置的第一边框、第二边框，相对设置的第三边框和第四边框，第一边框与第一支撑架连接，第二边框与第二支撑架连接；夹持组件，包括相对设置的第一夹持板和第二夹持板；第一旋转结构，包括第一主动旋转轴、第一从动旋转轴和驱动部，第一主动旋转轴设置于第一边框和第一支撑架之间，第一从动旋转轴设置于第二边框和第二支撑架之间；第二旋转结构，包括传动单元、第二主动旋转轴和第二从动旋转轴，第二主动旋转轴设置于第一夹持板和第三框架之间，第二从动旋转轴设置于第二夹持板和第四边框之间。
旋转装置

[实用新型]吸盘装置-CN202120295146.9有效
发明人：不公告发明人 -专利权人： 西安奕斯伟设备技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司
申请日： 2021-02-02 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种吸盘装置，用于吊装运输石英坩埚，包括吸盘本体，所述吸盘本体用于通过密封垫与石英坩埚密封连接，所述吸盘本体上设置有进气口和出气口，所述出气口上设置有与真空泵连接的真空阀，以将所述吸盘本体和所述石英坩埚形成的腔体抽真空，还包括位于所述密封垫远离所述吸盘本体的一侧的第一压环，和设置于所述第一压环外围的第二压环，所述第一压环和所述第二压环之间具有供石英坩埚的侧壁插入的第一间隙。
吸盘装置

[发明专利]低信噪比下的硅单晶生长图像的自适应随机共振去噪方法-CN201810199562.1有效
发明人：焦尚彬;刘倩 -专利权人：西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟设备技术有限公司
申请日： 2018-03-12 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： G06T5/00 文献下载
摘要：本发明公开了低信噪比下的硅单晶生长图像的自适应随机共振去噪方法，针对低信噪比下的硅单晶生长图像，将双稳态随机共振与PSO寻优算法相结合，设计了基于PSO的自适应随机共振图像去噪算法。本发明利用随机共振具有无损检测微弱信号的优点，对低信噪比下的硅单晶生长图像进行去噪增强，提高图像的质量。利用PSO寻优算法，将Donoho噪声标准差作为寻优算法的适应度函数，对随机共振的系统参数进行实时调整以获得最佳共振输出效应，实现图像去噪。经过该方法对低信噪比下的硅单晶生长图像处理后，可有效去除噪声，提高图像的质量，进而使得低信噪比下的硅单晶图像的弯月面能准确检测，为晶体直径的准确检测奠定了基础。
低信噪硅单晶生长图像自适应随机共振方法

[实用新型]多关节运动机构的位置检测装置及多关节运动设备-CN202120491977.3有效
发明人：王富龙 -专利权人： 西安奕斯伟设备技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司
申请日： 2021-03-08 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： B25J13/08 文献下载
摘要：本公开提供一种多关节运动机构的位置检测装置及多关节运动机构，多关节运动机构的位置检测装置包括：至少两个位置传感器、电路控制器和报警器，每个运动关节处设置一个位置传感器，位置传感器与电路控制器通过第一线缆连接，电路控制器通过第二线缆与报警器连接，电路控制器还通过第三线缆与运动关节连接。本公开的多关节运动机构的位置检测装置及多关节运动设备，能够改善多关节运动机构定位不准确、运行到目标位置后精确就位需多次且长时间调整的问题；节省使用设备的时间，提高操作人员工作效率。
关节运动机构位置检测装置设备

[实用新型]一种单晶炉主室吊装定位装置-CN202120197380.8有效
发明人：不公告发明人 -专利权人： 西安奕斯伟设备技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司
申请日： 2021-01-25 - 公布日： 2021-09-24 - 主分类号： B66C13/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种单晶炉主室吊装定位装置，包括吊装机构和定位导向机构，所述吊装机构包括立柱和与所述立柱连接的吊臂，所述立柱竖向设置，所述吊臂横向设置，所述吊臂可绕所述立柱的轴线做水平旋转运动，并可沿所述立柱的轴线做竖向升降运动；所述定位导向机构包括导向套和与所述导向套相适配的导向杆，所述导向杆与所述立柱连接，所述导向套与所述吊臂连接，所述吊臂沿所述立柱的轴线做竖向下降运动时，所述导向套可套在所述导向杆外沿所述导向杆下降。根据本实用新型实施例的单晶炉主室吊装定位装置，通过定位导向机构引导主室的吊装，可以消除吊装机构的传动间隙，提高吊装的便利性，降低吊装风险的同时，提高了吊装精度。
一种单晶炉主室吊装定位装置

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