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[发明专利]水反应性Al复合材料、水反应性Al合金喷镀膜、该膜的制法及成膜室用构成部件-CN201580021615.5有效
发明人：中村亮太;森田正;虫明克彦 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2015-08-24 - 公布日： 2017-10-13 - 主分类号： C23C4/08 文献下载
摘要：喷镀用水反应性Al复合材料，其是在Al中以Al重量基准计添加0.2wt％以上2wt％以下的Bi、1.5wt％以上8wt％以下的Si、0.2wt％以上4wt％以下的Ti、0.2wt％以上2wt％以下的Ce、以及0.2wt％以上2wt％以下的Mg而成的。由该Al复合材料得到Al合金喷镀膜，用该Al合金喷镀膜覆盖成膜室用构成部件。
反应 al 复合材料合金镀膜制法成膜室用构成部件

[发明专利]金属氢氧化物的制造方法及ITO溅射靶的制造方法-CN201380026827.3无效
发明人：藤丸笃;三村寿文;门胁丰;虫明克彦 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2013-04-16 - 公布日： 2015-02-04 - 主分类号： C25B1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种无需进行电解液的废液处理，可得到与所需粒径一致的金属氢氧化物的高效批量生产金属氢氧化物的制造方法及ITO靶的制造方法。电解槽1内设置有层压疏水性的气体扩散层(20a)和亲水性的反应层(20b)而构成的气体扩散电极(20)，以在该电解槽内分区。在朝向分区后的电解槽的反应层的沉降槽(11)内放入电解液(S)，将铟(4)浸渍在电解液中。以气体扩散电极为阴极，以铟为阳极，在两电极间施加电压，且对朝向分区后的电解槽的气体扩散层的空气槽(10)内供氧并电解，使电解液中析出氢氧化铟。
金属氢氧化物制造方法 ito 溅射

[发明专利]水反应性Al复合材料、水反应性Al喷镀膜、该Al喷镀膜的制造方法及成膜室用构成构件-CN201180041807.4有效
发明人：门胁丰;斋藤朋子;虫明克彦 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2011-08-12 - 公布日： 2013-07-31 - 主分类号： C23C4/06 文献下载
摘要：本发明提供一种水反应性Al复合材料，在Al中，以Al基准计，添加2.0～3.5wt％的In、0.2～0.5wt％的Si、0.13～0.25wt％的Ti而成，其在水分存在下的气氛中进行反应溶解而得到。使用该材料制造的水反应性Al喷镀膜及该Al喷镀膜的制造方法以及在表面具备该Al喷镀膜的成膜室用构成构件。
反应 al 复合材料镀膜制造方法成膜室用构成构件

[发明专利]水反应性Al复合材料、水反应性Al膜、该Al膜的制造方法、及成膜室用构成部件-CN200980115408.0有效
发明人：门胁丰;斋藤朋子;林敬荣;虫明克彦 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2009-04-27 - 公布日： 2011-04-20 - 主分类号： C23C4/06 文献下载
摘要：本发明提供一种水反应性Al复合材料，其在4NAl或5NAl中，以Al基准计算，添加2～5wt％的In及以与杂质Si量的总和计成为0.04～0.6wt％的量的Si而成。使用该材料制造的Al喷镀膜及该Al膜的制造。在表面具备有该Al喷镀膜的成膜室用构成部件。
反应 al 复合材料制造方法成膜室用构成部件

[发明专利]水反应性Al复合材料、水反应性Al膜、该Al膜的制造方法、及成膜室用构成部件-CN200980115406.1有效
发明人：门胁丰;斋藤朋子;林敬荣;虫明克彦 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2009-04-27 - 公布日： 2011-04-20 - 主分类号： C23C4/06 文献下载
摘要：本发明提供一种水反应性Al复合材料，其在4NAl或5NAl中，以Al基准计，添加2～5wt％的In而成。使用该材料制造的水反应性Al膜及该Al膜的制造。在表面具备有该水反应性Al膜的成膜室用构成部件。
反应 al 复合材料制造方法成膜室用构成部件

[发明专利]水反应性Al膜的制造方法及成膜室用构成部件-CN200980115407.6有效
发明人：门胁丰;斋藤朋子;林敬荣;虫明克彦 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2009-04-27 - 公布日： 2011-04-13 - 主分类号： C23C4/06 文献下载
摘要：本发明提供一种水反应性Al膜的制造方法，其将在4NAl或5NAl中以Al基准计添加了2～5wt％的In的材料熔融，以使得组成变得均匀，通过电弧喷镀法，作为喷涂气体使用Ar，对于基材表面进行喷镀而使其急冷凝固，由此形成在Al晶粒中In均匀地分散而成，另外在表面具备该水反应Al膜的成膜室用构成部件。
反应 al 制造方法成膜室用构成部件

[发明专利]水反应性Al膜的制造方法及成膜室用构成部件-CN200980115409.5有效
发明人：门胁丰;斋藤朋子;林敬荣;虫明克彦 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2009-04-27 - 公布日： 2011-04-13 - 主分类号： C23C4/06 文献下载
摘要：本发明提供一种水反应性Al膜的制造方法，其将在4NAl或5NAl中以Al基准计添加了2～5wt％的In的材料熔融，以使得组成变得均匀，将该熔融材料通过火焰喷镀法对于基材表面进行喷镀而使其急冷凝固，由此制造在Al晶粒中In均匀地分散而成的水反应性Al膜。在表面具备有该水反应性Al膜的成膜室用构成部件。
反应 al 制造方法成膜室用构成部件

[发明专利]水反应性A1复合材料、水反应性A1膜、该A1膜的制造方法、及成膜室用构成部件-CN200980115416.5有效
发明人：门胁丰;斋藤朋子;林敬荣;虫明克彦 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2009-04-27 - 公布日： 2011-04-13 - 主分类号： C23C4/06 文献下载
摘要：本发明提供一种水反应性Al复合材料，其在4NAl或5NAl中，以Al基准计，添加0.8～1.4wt％的Bi及以与杂质Si量的总和计成为0.25～0.7wt％的量的Si而成。使用该材料制造的Al喷镀膜及该Al膜的制造。在表面具备有该Al喷镀膜的成膜室用构成部件。
反应 a1 复合材料制造方法成膜室用构成部件

[发明专利]水反应性Al复合材料、水反应性Al膜、该Al膜的制造方法、及成膜室用构成部件-CN200980115456.X有效
发明人：门胁丰;斋藤朋子;林敬荣;虫明克彦 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2009-04-27 - 公布日： 2011-04-13 - 主分类号： C23C4/06 文献下载
摘要：本发明提供一种水反应性Al复合材料，其在选自杂质Cu量为40ppm以下的2NAl～5NAl中的Al中，以Al基准计，添加选自2～5wt％的In及0.7～1.4wt％的Bi的至少一种的金属而成。使用该材料制造的水反应性Al膜及该Al膜的制造。在表面具备有该水反应性Al膜的成膜室用构成部件。
反应 al 复合材料制造方法成膜室用构成部件

[发明专利]水崩解性A1复合材料、该材料形成的A1膜、A1粉及它们的制造方法、和成膜室用构成部件及成膜材料的回收方法-CN200580000144.6有效
发明人：平田招佑;矶田伸二;门脇丰;虫明克彦 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2005-03-04 - 公布日： 2006-04-26 - 主分类号： C23C4/00 文献下载
摘要：本发明涉及Al或Al合金的单一或多个的结晶粒构成的小块或粉体的外表面、被In、Sn、In及Sn、或这些的合金的低熔点金属的被膜覆盖的可在水分存在下崩解的Al复合材料。低熔点金属的含量按复合材料总重量基准是0.1～20重量％。使在Al等中加入前述量的低熔点金属进行熔融、溶解的材料在非氧化性环境气氛中急冷凝固制得Al复合材料。由前述Al复合材料制得Al膜、Al熔融喷镀膜、Al粉。在表面有水崩解性Al膜的成膜室用构成部件。使用有该水崩解性Al膜的成膜室用构成部件进行长时间成膜处理后，从粘附厚的成膜材料的构成部件上回收成膜材料。
崩解 a1 复合材料材料形成它们制造方法成膜室用构成部件回收

[发明专利]成膜装置用结构部件及其清洗方法-CN200480002351.0有效
发明人：平田招佑;矶田伸二;门肋丰;虫明克彦 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2004-01-22 - 公布日： 2006-02-22 - 主分类号： C23C14/00 文献下载
摘要：本发明内容为：作为使用成膜材料在衬底上生产薄膜的成膜装置用结构部件，即使是具有不易使附着膜破裂、脱落的表面构造的上述成膜结构部件，也可使其在清洗时迅速轻松地除去附着膜的结构部件及清洗方法。为了使清洗液能流入成膜装置用结构部件与附着膜(生产薄膜时产生的由成膜材料构成的)之间的界面，在结构部件上从里到外打了很多通孔。这时溶解附着膜就比只从表面溶解附着膜要快且容易得多。
装置结构部件及其清洗方法

[发明专利]成膜装置用结构部件及其清洗方法-CN200480002352.5有效
发明人：平田招佑;矶田伸二;门肋丰;虫明克彦 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2004-02-18 - 公布日： 2006-02-22 - 主分类号： C23C30/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种成膜装置用结构部件以及该结构部件的清洗方法。所述装置具有能够用比以往更少的时间剥离去除形成在结构部件上的附着膜d，减轻由于清洗液s造成的构造上的损坏。通过溶射、蒸镀、溅镀、层压(laminating)等方法在母材金属(1)的表面形成在电化学性上比所述结构部件的母材(1)金属贱的金属膜层(2)。或采用上述溶射等方法，通过在金属膜层(2)的表面形成在电化学性上比上述母材金属(1)贵的第2金属膜层(3)，从而使金属膜层(2)在与母材金属(1)或第2金属膜层(3)之间形成局部电池，可使母材金属(1)自身不受清洗液的损伤，以极短的时间剥离堆积在母材金属(1)上的附着膜d。
装置结构部件及其清洗方法

[发明专利]电解用电极及其制法、用该电极的电解法和电解水生成装置-CN02802176.2无效
发明人：小泉友人;广直树;乐间毅;虫明克彦;井关正博;梅泽浩之;小泉白合花;近藤康人 -专利权人：三洋电机株式会社
申请日： 2002-06-19 - 公布日： 2003-12-24 - 主分类号： C25B11/08 文献下载
摘要：本发明考虑到对人体的安全性或废弃时对环境的污染，提供一种能够高效率地生成臭氧，同时耐久性优良的电解用电极及其制造方法、以及使用该电解用电极的活性氧发生装置。在至少在其表面具有电极催化剂，通过电解在被处理水中产生臭氧或活性氧的电解用电极(5)中，电极催化剂含有电介质，该电极催化剂的表面积中，电介质占有的表面积的比例大于70％。
电解用电及其制法电极解法电解水生成装置

[发明专利]氮处理方法和氮处理系统-CN02800421.3无效
发明人：池上和男;广直树;中泽范行;井关正博;米崎孝广;金井大;虫明克彦 -专利权人：三洋电机株式会社
申请日： 2002-02-22 - 公布日： 2003-11-19 - 主分类号： C02F1/461 文献下载
摘要：提出了能高效率地进行氮化合物的去除、同时可谋求装置的小型化和降低成本的氮化合物的氮处理方法。是一种用电化学手段处理被处理水中的氮化合物的方法，其中，作为构成阴极的金属材料，使用的是含有周期表第Ib族元素或第IIb族元素的导电体或在导电体上被覆了该元素的物品。
处理方法系统

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