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[实用新型]胶带卷收装置-CN202120135413.6有效
发明人：邱圣恩;蔡子玮;李威震 -专利权人：辛耘企业股份有限公司
申请日： 2021-01-19 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： B65H18/08 文献下载
摘要：一种胶带卷收装置，用以传送胶带以黏附微粒而清洁晶圆表面，并包含承载架及设于承载架的传送单元、清洁单元、导向单元及张力调整单元。传送单元包括出料机构及收料机构，以供胶带自出料机构输出且由收料机构卷收而形成传送路径。张力调整单元包括设于承载架且沿上下方向延伸的轨道、可滑动地设于轨道的滑动座、设于滑动座并能连动滑动座且位于传送路径上的滑轮，及设于滑动座并与滑动座连动的配重体，配重体的重量与传送胶带时的预设张力相适配，且滑轮下侧与胶带接触。随着滑轮位置的动态调整，能使胶带保持固定张力。
胶带装置

[发明专利]液体容置装置-CN201910481871.2在审
发明人：李威震;蔡子玮 -专利权人：辛耘企业股份有限公司
申请日： 2019-06-04 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种液体容置装置，包含槽体，及引流模块。槽体包括底壁，及围绕壁。底壁具有第一倾斜壁部及第二倾斜壁部。第一倾斜壁部与第二倾斜壁部分别以相异的倾斜方向朝下延伸至第一倾斜壁部与第二倾斜壁部的交界处，交界处沿水平方向延伸，底壁与围绕壁共同界定出沿交界处延伸的渠道，槽体还具有与渠道相连通的排液口。引流模块包括至少一且沿渠道直立地设置于交界处的导流件，导流件具有面朝第一倾斜壁部的第一侧面，及面朝第二倾斜壁部的第二侧面，第一侧面与第二侧面具有疏水性。通过引流模块的设置，降低了液体与底壁之间的摩擦力，在排液的过程中，液体的内聚力恒大于液体与底壁之间的摩擦力，使液体排液的流动过程不容易受到截断残余在交界处。
液体装置

[实用新型]气动式液体输送装置-CN201820863997.7有效
发明人：蔡文平;蔡子玮 -专利权人：辛耘企业股份有限公司
申请日： 2018-06-05 - 公布日： 2019-01-18 - 主分类号： F04B9/129 文献下载
摘要：一种气动式液体输送装置，包含气动式旋转驱动器及液压泵。气动式旋转驱动器包括第一外壳段、转轴及致动单元。第一外壳段界定进气孔及排气孔。转轴包含第一轴段及第二轴段，第一轴段枢接于第一外壳段，第二轴段凸伸出第一外壳段。致动单元通过气体带动而致动转轴旋转。液压泵包括第二外壳段及液体传输单元。第二外壳段界定进液通道及排液通道。第二轴段枢接于第二外壳段，液体传输单元设置于第二轴段。第二轴段用以带动液体传输单元运转使其吸取经由进液通道所流入的液体并且将其加压后排出至排液通道。借由气动式旋转驱动器采用气动马达的方式，能提升使用上的安全性。
第二轴气动式旋转驱动器液体传输液体输送装置进液通道排液通道致动单元第一轴液压泵界定枢接转轴单元设置气动马达转轴旋转进气孔排气孔致动后排加压伸出运转

[实用新型]基板校准装置-CN201821044541.4有效
发明人：王沧毅;蔡子玮;杨浩渝 -专利权人：辛耘企业股份有限公司
申请日： 2018-07-03 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：一种基板校准装置，其适于校准一基板的位置。其中，该基板具有一圆边以及一非非圆边。该基板校准装置包括一基座以及多个第一定位模块。这些第一定位模块分别沿一校准方向滑设于该基座。每一个第一定位模块具有一第一定位件以及一第二定位件。此外，该第一定位件与该第二定位件其中至少一与该基板的该圆边接触。
定位件基板校准装置定位模块基板校准圆边非圆滑设