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[发明专利]图像处理系统、计算机可读存储介质以及系统-CN201880014768.0有效
发明人：筱田伸一;丰田康隆;崎村茂寿;石川昌义;新藤博之;菅原仁志 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2018-03-15 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G06V10/98 文献下载
摘要：本发明的目的在于：兼顾对使用了识别器的图像识别所使用的对照图像进行学习的图像处理系统的数据量的抑制和识别器的识别性能提高。为了达到上述目的，提出一种具备使用对照图像来识别图像的识别器(9)的图像处理系统，该图像处理系统具备对图像识别所需要的对照图像数据进行机器学习的机器学习引擎(1)，该机器学习引擎使用识别失败了的图像(2)，搜索识别成功了的图像(3)，向通过该搜索得到的识别成功了的图像，附加根据通过上述输入装置选择出的上述识别失败了的图像的部分图像而得到的信息，生成修正对照图像数据(13)。
图像处理系统计算机可读存储介质以及

[发明专利]图像处理系统及图像处理方法-CN202310270799.5在审
发明人：筱田伸一;丰田康隆;崎村茂寿;石川昌义;新藤博之;菅原仁志 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2018-03-15 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： G06V10/30 文献下载
摘要：本发明涉及图像处理系统及图像处理方法，目的在于：兼顾对使用了识别器的图像识别所使用的对照图像进行学习的图像处理系统的数据量的抑制和识别器的识别性能提高。为了达到上述目的，提出一种具备使用对照图像来识别图像的识别器(9)的图像处理系统，该图像处理系统具备对图像识别所需要的对照图像数据进行机器学习的机器学习引擎(1)，该机器学习引擎使用识别失败了的图像(2)，搜索识别成功了的图像(3)，向通过该搜索得到的识别成功了的图像，附加根据通过上述输入装置选择出的上述识别失败了的图像的部分图像而得到的信息，生成修正对照图像数据(13)。
图像处理系统方法

[发明专利]图案测定装置以及半导体测量系统-CN201480009471.7有效
发明人：丰田康隆;长谷川升雄;加藤毅;菅原仁志;北条穰;日比野大辅;新藤博之 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2014-02-05 - 公布日： 2018-04-27 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种能够求出用于适当地选择针对半导体器件的处理的评价结果的图案测定装置以及半导体测量系统。为了达到上述目的，本发明提出一种图案测定装置，其具备进行电子器件的电路图案和基准图案的比较的运算装置，该运算装置根据上述电路图案和基准图案之间的测量结果与至少2个阈值的比较，以电路图案的处理单位将该电路图案分类。
图案测定装置以及半导体测量系统

[发明专利]图案测量装置以及图案测量方法-CN201280034653.0有效
发明人：柴原琢磨;及川道雄;北条穣;菅原仁志;新藤博之 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2012-03-23 - 公布日： 2014-04-02 - 主分类号： G01B15/04 文献下载
摘要：本发明提供一种图案测量装置，以及图案测量方法，可削减OPC model calibration所需的计算时间、且使精度提高。图案测量装置具备：存储半导体的电路图案的掩模边缘数据以及拍摄了电路图案的图像数据的存储部；以图像数据作为输入而提取电路图案的SEM(Scanning Electron Microscope)轮廓线，基于掩模边缘数据和提取的SEM轮廓线的数据(SEM轮廓线数据)，在曝光模拟部生成预测SEM轮廓线的数据(预测SEM轮廓线数据)的SEM轮廓线提取部；以掩模边缘数据、SEM轮廓线数据、预测轮廓线数据作为输入，将SEM轮廓线数据以及预测SEM轮廓线数据分类为一维形状的轮廓线和二维形状的轮廓线的形状分类部；以SEM轮廓线数据和预测SEM轮廓线数据作为输入，对应于一维形状以及二维形状的种类，进行SEM轮廓线数据的取样的SEM轮廓线取样部。
图案测量装置以及测量方法