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[实用新型]晶圆托架取放装置-CN202222099563.3有效
发明人：陈守俊;丁林森;王东东 -专利权人： 莱腾仕精密机电（上海）有限公司
申请日： 2022-08-10 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆托架取放装置，包括：承载架，承载架包括滑块、夹紧机构以及承载叉刀，承载叉刀设置于滑块的前部，夹紧机构设置于滑块上，承载叉刀与晶圆托架的卡槽相互配合；传送机构，传送机构包括第一传送座，第一传送座上设置有第一滑轨，滑块滑动设置于第一滑轨上；本实用新型的晶圆托架取放装置通过设置于第一滑轨上的滑块以及与滑块相连的夹紧机构和承载叉刀，提供了一种动作简单，响应迅速，并且易于操作的晶圆托架取放装置，解决了现有技术中的取放装置无法满足半导体分析仪器设备对于响应速度以及频率的要求，进而影响半导体分析仪器设备的效率的问题。
托架装置

[实用新型]一种晶圆托架快速对接机构-CN202222288106.9有效
发明人：石松;丁林森;陈守俊 -专利权人： 莱腾仕精密机电（上海）有限公司
申请日： 2022-08-30 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： G01N23/2204 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆托架快速对接机构，包括样品夹紧台和用于固定晶圆片的晶圆托架；所述样品夹紧台包括：基座、垂直压紧导向块、以及垂直弹性元件；所述垂直弹性元件作用于垂直压紧导向块、对垂直压紧导向块施加朝向基座的作用力；所述垂直压紧导向块与所述基座之间形成有对接插槽；所述晶圆托架包括样品装夹块，所述样品装夹块的边缘具有对接凸块，对接凸块可取放地插接在对接插槽中；所述垂直压紧导向块和垂直弹性元件构成一组垂直压紧组件，沿垂直于样品装夹块插入方向分布的两组垂直压紧组件构成一组限位单元，限位单元有多组、且沿基座的周向错位设置；该机构结构简单，能够实现晶圆托架能够从多方向与样品夹紧台快速对接。
一种托架快速对接机构

[实用新型]一种精密光学玻璃片上的安装架以及安装装置-CN202222007200.2有效
发明人：丁林森;陈守俊 -专利权人： 莱腾仕精密机电（上海）有限公司
申请日： 2022-08-01 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：本实用新型提出的一种精密光学玻璃片的安装架，包括固定段、连接段和用于固定精密光学玻璃片的玻璃安装段；连接段包括至少一连接臂，固定段与玻璃安装段的分别连接于连接臂的两端；连接臂的两端细于连接臂的中间部分，其中，本实用新型提出的一种精密光学玻璃片的安装装置，包括固定座和周向均布于固定座上的至少三个安装组件，安装组件包括支撑部和上述的安装架；采用连接臂连接固定段和玻璃安装段，且该连接臂的两端细于连接部中间部分，增大了连接段的挠性；在玻璃片固定在安装装置的过程中，固定段可绕着刚度较弱的连接臂两端发生轻微旋转形变，减小了光学玻璃片所受到的安装应力的作用，保证精密端面的平面度。
一种精密光学玻璃片安装以及装置

[实用新型]一种可调节直线运动模组运动方向的装置-CN202221868969.7有效
发明人：丁林森;陈守俊 -专利权人： 莱腾仕精密机电（上海）有限公司
申请日： 2022-07-19 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： F16H25/24 文献下载
摘要：本实用新型提供一种可调节直线运动模组运动方向的装置，包括安装板、直线运动模组、方向调节器，所述安装板包括安装板边框、及安装板芯部，所述安装板芯部可偏移的设置在安装板边框内部；所述直线运动模组与安装板芯部固定连接，所述方向调节器与安装板芯部连接，用于调节安装板芯部在安装板边框内的偏移方向。本实用新型将直线运动模组固定在安装板芯部上，安装板芯部可偏移的设置在安装板边框内部、且设置有方向调整器，通过方向调整器使安装板芯部在安装板边框内部发生一定的角度偏移，改变直线运动模组的运动方向，克服了现有技术中需要人工多次敲击直线运动模组的技术问题，操作简单方便，降低了对操作工技术水平的依赖，提高生产效率。
一种调节直线运动模组运动方向装置

[实用新型]基于晶圆取送的电气控制箱-CN202221429774.2有效
发明人：孙志浩;陈守俊 -专利权人： 莱腾仕精密机电（上海）有限公司
申请日： 2022-06-08 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： H05K5/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种基于晶圆取送的电气控制箱，所述基于晶圆取送的电气控制箱包括：内箱体和外箱体；所述内箱体包括第一内箱体、第二内箱体、第三内箱体和第四内箱体；所述第一内箱体、所述第二内箱体、所述第三内箱体和所述第四内箱体以及所述外箱体封闭形成电气控制箱，所形成的封闭空间中容纳所述控制电路；所述第一内箱体固定连接供电设备，所述第二内箱体固定连接驱动设备，所述第三内箱体固定连接第一过滤设备，所述第四内箱体固定连接第二过滤设备，所述外箱体固定连接电路保护设备。本实用新型提供了一种晶圆取送功能控制电路所用的便于移动的全封闭电气控制箱。
基于晶圆取送电气控制箱

[实用新型]多尺寸晶圆切片分离模组-CN202122950216.2有效
发明人：丁林森;陈守俊 -专利权人： 莱腾仕精密机电（上海）有限公司
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型提供一种多尺寸晶圆切片分离模组，包括：环形顶出装置，包括外轮廓为圆柱侧面的顶出结构以及一体成型于顶出结构的底部的环形固定座，且在环形固定座上设置有定位缺口；环形底座，包括环形底座本体、卡座以及定位销，环形底座本体内环上设置有容置环形固定座的环形台阶，卡座以及定位销设置于环形底座本体顶部靠近内环的边缘处，定位销与定位缺口相适配，本实用新型能够通过环形顶出装置对晶圆切片附着的晶圆薄膜拉伸，满足了多种尺寸的晶圆在裁切后的分离收集需求。
尺寸切片分离模组

[实用新型]-CN202122952148.3有效
发明人： -专利权人： 莱腾仕精密机电（上海）有限公司
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号：文献下载
摘要：

[实用新型]减震消音型蜗轮蜗杆结构-CN202123144436.2有效
发明人：陈守俊 -专利权人： 莱腾仕精密机电（上海）有限公司
申请日： 2021-12-14 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： F16H1/16 文献下载
摘要：本实用新型提供一种减震消音型蜗轮蜗杆结构，包括：安装底板以及固定于所述安装底板上的驱动电机；蜗杆组件，所述蜗杆组件包括蜗杆、支撑轴承以及弹性减震圈，所述支撑轴承套设于所述弹性减震圈内且固定于所述安装底板上，所述蜗杆的一端设置于支撑轴承内，另一端与驱动电机相连；蜗轮，所述蜗轮与所述蜗杆啮合；本实用新型的减震消音型蜗轮蜗杆结构通过设置于蜗杆端部的弹性减震圈减小了蜗轮与蜗杆在传动过程中的震动与噪音，减缓了蜗轮蜗杆在工作过程中的磨损，降低了蜗轮蜗杆生产过程中的装配精度以及加工精度进而节省了成本。
减震消音蜗轮蜗杆结构

[发明专利]多尺寸晶圆切片分离模组-CN202111432145.5在审
发明人：丁林森;陈守俊 -专利权人： 莱腾仕精密机电（上海）有限公司
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种多尺寸晶圆切片分离模组，包括：环形顶出装置，包括外轮廓为圆柱侧面的顶出结构以及一体成型于顶出结构的底部的环形固定座，且在环形固定座上设置有定位缺口；环形底座，包括环形底座本体、卡座以及定位销，环形底座本体内环上设置有容置环形固定座的环形台阶，卡座以及定位销设置于环形底座本体顶部靠近内环的边缘处，定位销与定位缺口相适配，本发明能够通过环形顶出装置对晶圆切片附着的晶圆薄膜拉伸，满足了多种尺寸的晶圆在裁切后的分离收集需求。
尺寸切片分离模组

[发明专利]多尺寸晶圆快速切换模组-CN202111434309.8在审
发明人：丁林森;陈守俊 -专利权人： 莱腾仕精密机电（上海）有限公司
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明提供一种多尺寸晶圆快速切换模组，包括：内环形模组，包括内环形底板、一体成形于内环形底板的内环形侧板、固定于内环形侧板顶部的内环形顶板、固定于内环形侧板外侧壁的定位销钉以及固定于内环形侧板外侧壁的滑动塞块；外环形模组，包括外环形底板、一体成型于外环形底板的外环形侧板、固定于外环形侧板顶部的外环形顶板；外环形底板上设置有与定位销钉适配的销孔；本发明通过灵活装卸设置于外环形模组内的内环形模组以适应需要生产加工的对应尺寸的晶圆，实现了生产过程中的晶圆尺寸的快速切换，提高了生产的灵活性并提高了效率。
尺寸快速切换模组

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