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[发明专利]一种MEMS氢气传感器及其制备方法-CN202310854684.0在审
发明人：张伟;荣钱;杨正;陈江军;杨冉 -专利权人：微纳感知（合肥）技术有限公司
申请日： 2023-07-12 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种MEMS氢气传感器及其制备方法，制备方法包括：将制备的Au掺杂SnO2气敏材料与溶剂混合后球磨，然后与分散剂混合，干燥后加载到MEMS芯片上，300‑500℃烧结得到MEMS敏感芯片，封装后得到封装的MEMS敏感芯片；将吸气剂填充在封帽内，与封装的MEMS敏感芯片粘接密封得到MEMS氢气传感器。本发明所述氢气传感器对氢气具有较高的响应值，对150ppm的氢气响应值可达94。同时，能够抵御高浓度硅氧烷的冲击以及空气中的粉尘颗粒、PM2.5、水气干扰，具有较高的稳定性，对乙醇、硫化氢、二氧化氮等气体检测，表现出极高的选择性，对10ppm氢气具有较高灵敏度。
一种 mems 氢气传感器及其制备方法

[发明专利]一种氧化铟基MEMS丙酮气体传感器及其制备方法-CN202211657404.9在审
发明人：荣钱;杨正;刘小龙;童颜;马宏 -专利权人：中山大学
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： G01N33/497 文献下载
摘要：本发明公开了一种氧化铟基MEMS丙酮气体传感器及其制备方法，包括：包括封装底座，其特征在于，所述封装底座的上端固定连接有保护壳，所述封装底座的内侧开设有安装槽，所述安装槽的内侧安装有敏感芯片，所述安装槽的上端安装有防水透气膜，所述保护壳的上端开设有透气孔；敏感材料制备：通过铂金双金属掺杂合成稳定的氧化铟纳米材料；敏感芯片制备：将敏感材料制备成浆料并加载到MEMS微加热芯片上形成敏感核心；传感器制备：制备抗干扰过滤层，并对芯片进行封装形成气体传感器；本发明的优点在于：所制备传感器通过高锰酸钾处理的防水透气膜提高了传感器对丙酮气体具备良好的选择性，对人体呼出的其他气体基本无响应。
一种氧化 mems 丙酮气体传感器及其制备方法

[发明专利]一种MEMS气体传感器生产工艺及其高电压激活的NO测试方法-CN202211629988.9在审
发明人：荣钱;杨正;刘小龙;童颜;马宏 -专利权人：中山大学
申请日： 2022-12-19 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种MEMS气体传感器生产工艺及其高电压激活的NO测试方法，属于半导体气体传感技术领域，包括以下工艺步骤：S1：制备敏感材料；S2：制备传感器；其中，S2步骤中制备传感器的具体步骤为：S201：称取敏感材料粉末0.2g加入至玛瑙球磨罐中，加入混合溶剂球磨0.5‑2h，形成一级混合浆料；S202：用吸管取出研磨后的一级混合浆料至烧杯中，并在60℃的真空干燥箱中烘干挥发性溶剂，保留的非挥发性溶剂和敏感材料形成二级混合浆料；S203：将二级混合浆料均匀的涂布在MEMS基微加热器上的加热区域上；敏感材料合成制备工艺简单，成本低，产率高且无污染，配置溶液中的Sn源基本完全转化为SnO2，适合大批量的产业化制备。
一种 mems 气体传感器生产工艺及其电压激活 no 测试方法

[发明专利]一种多模式气体测试箱-CN202211146243.7在审
发明人：荣钱;夏文君;刘小龙;杨兴昌;童颜;马宏 -专利权人：中山大学;合肥米亚科技有限公司
申请日： 2022-09-20 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种多模式气体测试箱，涉及到气体测试装置技术领域，包括测试箱本体、加热器、传感器、循环泵和排空泵，所述测试箱本体的一侧固定连接有进气头，所述测试箱本体的表面开设有观察口，所述测试箱本体的底端固定安装有底座，所述测试箱本体的一侧开设有散热孔；所述进气头的一端与第一转接头相连通，所述第一转接头的一端与第二转接头相连通，所述第二转接头的一端与第一电磁阀门相连通。本发明结构合理，加热器与传感器可以对注入到测试箱本体内部的特殊气体进行加热，使得气体混合均匀，然后通过传感器对气体中各种含量进行检测出来，再通过第一排气口对检测后的气体进行排出，增加测试箱本体整体的测试效率。
一种模式气体测试

[实用新型]一种能够充分混合气体的气体测试箱腔体-CN202222495079.2有效
发明人：荣钱;夏文君;刘小龙;杨兴昌;童颜;马宏 -专利权人：中山大学;合肥米亚科技有限公司
申请日： 2022-09-20 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种能够充分混合气体的气体测试箱腔体，涉及到气体测试箱技术领域，包括测试箱本体，所述测试箱本体的一侧固定连接有进气头，所述测试箱本体的一侧固定连接有第一出气头，所述测试箱本体的一侧固定安装有散热孔，所述测试箱本体的表面开设有观察口，所述测试箱本体的另一侧固定连接有第二出气头，所述测试箱本体的后侧安装有固定板，所述固定板的顶端固定连接有限位块，所述限位块贴合在所述测试箱本体的顶端。本实用新型结构合理，实现了通过检测组件对气体进行检测，气体通过进气口进入到扩散端内，然后通过第一扰流板与第二扰流板进行混合，在荣国气体检测板对气体进行检测，然后通过聚集端与出气口对气体进行排出。
一种能够充分混合气体气体测试箱腔体

[实用新型]一种多模式气体测试箱-CN202222495491.4有效
发明人：荣钱;夏文君;刘小龙;杨兴昌;童颜;马宏 -专利权人：中山大学;合肥米亚科技有限公司
申请日： 2022-09-20 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多模式气体测试箱，涉及到气体测试装置技术领域，包括测试箱本体、加热器、传感器、循环泵和排空泵，所述测试箱本体的一侧固定连接有进气头，所述测试箱本体的表面开设有观察口，所述测试箱本体的底端固定安装有底座，所述测试箱本体的一侧开设有散热孔；所述进气头的一端与第一转接头相连通，所述第一转接头的一端与第二转接头相连通，所述第二转接头的一端与第一电磁阀门相连通。本实用新型结构合理，加热器与传感器可以对注入到测试箱本体内部的特殊气体进行加热，使得气体混合均匀，然后通过传感器对气体中各种含量进行检测出来，再通过第一排气口对检测后的气体进行排出，增加测试箱本体整体的测试效率。
一种模式气体测试

[实用新型]一种氢气传感器-CN202222241981.1有效
发明人：吴秋菊;谢东成;荣钱;姚冬婷;杨正;陈江军 -专利权人：微纳感知（合肥）技术有限公司
申请日： 2022-08-24 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： G01N27/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种氢气传感器，包括：衬底，其部分表面内凹，形成隔热腔体；下绝缘层，悬浮于所述隔热腔体之上；电极层，位于所述下绝缘层之上；上绝缘层，位于所述电极层之上，且部分所述电极层在所述上绝缘层中裸露；催化材料层，位于所述上绝缘层之上，且覆盖部分所述上绝缘层；载体材料层，位于所述上绝缘层之上，且覆盖于另一部分所述上绝缘层。通过本实用新型公开的氢气传感器，能够提高检测精度。
一种氢气传感器

[发明专利]氧化铝滤层的制备方法、制得的滤层及其在传感器中的应用-CN202111313654.6有效
发明人：张伟;荣钱;陈栋梁;杨正;吴秋菊;姚冬婷;张慧慧;项小婷;高陈;张静文;陈江军 -专利权人：微纳感知（合肥）技术有限公司
申请日： 2021-11-08 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： C04B38/06 文献下载
摘要：本发明公开氧化铝滤层的制备方法，涉及过滤材料技术领域。本发明包括以下步骤：(1)将氧化铝粉置于球磨罐中，加入去离子水、聚乙二醇，球磨，然后加入聚乙烯醇缩丁醛树脂、邻苯二甲酸二辛酯继续球磨；(2)将球磨后的浆料取出，排除浆料中的气泡，过筛后，置于模具中干燥；(3)将干燥后的块体从模具中脱离，然后进行烧结。本发明还提供采用上述方法制得的氧化铝滤层及其应用。本发明的有益效果在于：制得的氧化铝滤层固体间颗粒相互键联，晶粒长大，孔隙和晶界逐渐减少，体积收缩，密度增加，力学性能提高，使滤层表面密实，改善孔结构，降低气孔率，极大的提高了滤层的气体选择性能，尤其是针对乙醇等挥发性气体。
氧化铝制备方法及其传感器中的应用

[发明专利]一种基于MEMS低功耗气体传感器的制备方法及制备的传感器-CN202210792953.0在审
发明人：吴秋菊;荣钱;谢东城;陈栋梁;高陈;张伟;杨正;姚冬婷;项小婷 -专利权人：微纳感知（合肥）技术有限公司
申请日： 2022-07-07 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于MEMS低功耗气体传感器的制备方法及制备的传感器，涉及传感器技术领域。本发明采用一种水热合成方法制备稀土元素Ce、Zr掺杂的Al2O3载体材料，浸渍法负载贵金属制备催化材料，将制备的载体材料和催化材料分别负载于MEMS微热板上，封装制得MEMS甲烷催化燃烧气体传感器。有益效果：本发明提出了一种x CeO2‑yZrO2‑Al2O3载体材料，并以该载体材料制作催化材料，用该载体材料、催化材料与MEMS微热板稳定的结合在一起的，制成MEMS传感器，使得该MEMS传感器具有灵敏度高的同时功耗低的技术效果。本发明制备的传感器具备低功耗、灵敏度的优势，在矿山物联网中的无线传感器网络系统上有很大的应用潜力。
一种基于 mems 功耗气体传感器制备方法

[发明专利]一种WO3-CN202110212084.5有效
发明人：吴秋菊;高陈;胡文利;荣钱;姚冬婷;杨正;张伟;项小婷 -专利权人：微纳感知（合肥）技术有限公司
申请日： 2021-02-25 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明公开一种WO3气敏材料的制备方法，涉及MEMS气体传感器技术领域，本发明包括以下步骤：将钨酸钠进行酸化处理，酸化处理时采用的酸浓度为1‑8mol/L，控制溶液的H+浓度为0.001‑3mol/L，然后将混合反应体系进行稳定处理，稳定处理结束后，将产物进行清洗、干燥，然后进行热处理，即获得WO3气敏材料。本发明还提供采用上述方法制得的WO3气敏材料及其应用。本发明的有益效果在于：本发明制得的WO3气敏材料对三甲胺具有较高的响应值，对50ppm的三甲胺响应值最高可达到83，相对于常见的气体检测，具有很好的选择性。对10ppm浓度的三甲胺具有较高的灵敏度。
一种 wo base sub

[发明专利]MEMS气体传感器晶圆微加工及测试系统、方法-CN202210703836.2在审
发明人：杨正;荣钱;马云龙;周睿颖;陈江军;张伟;陈栋梁 -专利权人：微纳感知（合肥）技术有限公司
申请日： 2022-06-21 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明公开一种MEMS气体传感器晶圆微加工及测试系统、方法，系统包括机架，所述机架上设置有操作平台、点样系统、测试系统、划片系统、点样工位、测试工位、划片工位、驱动装置、视觉系统、控制单元；所述点样系统、测试系统、划片系统、驱动装置、视觉系统分别与控制单元电连接；所述驱动装置能够驱动所述操作平台分别移动至点样工位、测试工位、划片工位。方法包括晶圆位置矫正、形成Maping图、点样、测试、划片。本发明的优点在于：能够兼顾MEMS气体传感器晶圆涂敷气敏材料、检测、切割，且整体成本较低。
mems 气体传感器晶圆微加工测试系统方法

[实用新型]MEMS催化燃烧传感器微加热芯片及传感器-CN202122652368.4有效
发明人：杨正;薛峰;荣钱;陈栋梁;吴秋菊;张伟;高陈;项小婷 -专利权人：微纳感知（合肥）技术有限公司
申请日： 2021-10-29 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： G01N31/10 文献下载
摘要：本实用新型公开一种MEMS催化燃烧传感器微加热芯片，包括加热测量层，加热测量层包括加热元件、热电堆；所述热电堆包括热电堆冷结材料、热电堆热结材料；所述加热元件、热电堆冷结材料、热电堆热结材料同层错位布设。本实用新型将加热与测量分离，可消除传统加热与测量一体时在催化燃烧过程中出现的信号抑制，催化燃烧传感器响应提高响应。
mems 催化燃烧传感器加热芯片

[实用新型]一种冷媒传感器-CN202122721568.0有效
发明人：张伟;荣钱;陈栋梁;杨正;吴秋菊;姚冬婷;张慧慧;项小婷;高陈;张静文;陈江军 -专利权人：微纳感知（合肥）技术有限公司
申请日： 2021-11-08 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： B01D46/12 文献下载
摘要：本实用新型公开一种冷媒传感器，涉及传感器技术领域，本实用新型包括壳体、传感器元件和滤层，传感器元件和滤层均位于壳体内；壳体上设有进气口，滤层包括第一滤层、第二滤层和第三滤层，气体进入进气口、依次经过第一滤层、第二滤层和第三滤层后导入传感器元件，第一滤层、第二滤层、第三滤层用于过滤从所述进气口处进入的水气、杂质和挥发性气体。本实用新型的有益效果：在于本实用新型通过设置多层滤层，防止水气、杂质和挥发性气体进入对传感器元件造成损害，提高冷媒传感器的长期稳定性和灵敏度。
一种冷媒传感器

[实用新型]一种气体传感器工作装置-CN202121742912.8有效
发明人：杨正;荣钱;吴秋菊;彭东;张伟;项小婷;高陈;张慧慧 -专利权人：微纳感知（合肥）技术有限公司
申请日： 2021-07-28 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气体传感器工作装置，包括盒体、至少三个传感器、驱动机构及控制电路，其中包括至少一个对第二传感器进行校准的第一传感器和至少两个进行高频低压脉冲工作的第二传感器，驱动机构以及所有的传感器均与控制电路连接；盒体内部划分为至少三个腔室，每个腔室内均至少布置一个传感器；腔室上方为盒体的内盖，内盖上位于每个腔室上方的位置均开设有第一通孔，内盖上设置有外盖，外盖上设置有第二通孔，外盖在驱动机构的驱动下转动；第二通孔与第一通孔重合时，对应腔室与外界相通，其他腔室均为密闭腔室；本实用新型的优点在于：有效延长传感器的使用寿命，使得装置能长期在矿井下工作。
一种气体传感器工作装置

[发明专利]一种氟利昂气敏材料的制备方法、制得的气敏材料及其应用-CN202111313659.9在审
发明人：杨正;荣钱;张伟;吴秋菊;姚冬婷;陈栋梁;张慧慧 -专利权人：微纳感知（合肥）技术有限公司
申请日： 2021-11-08 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明公开一种氟利昂气敏材料的制备方法，涉及气敏材料技术领域，包括以下步骤：(1)将锡盐溶于反应溶剂，加入锑盐和表面活性剂，溶解后，水浴加热搅拌，然后加入碱液，直至混合液pH达到9.5‑10.5，反应结束后冷却、离心、冷冻干燥，将干燥后的粉末进行烧结，将烧结后的材料制成粉末，得到敏感材料主体；(2)将敏感材料主体与PMMA分散液、有机醇、挥发溶剂、钯盐、硅酸四乙酯混合后，球磨，烘干。本发明还提供采用上述方法制得的气敏材料及其应用。本发明的优点为：本发明中的气敏材料对氟利昂气体具有高灵敏度，稳定性强，在空气中受外界环境干扰小，长期阻值稳定，长期灵敏度稳定，且具有优秀的抗环境温湿度变化的能力。
一种氟利昂材料制备方法及其应用

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