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- [发明专利]扩散装置和晶圆存放设备-CN202310673244.5在审
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洪巧水;邬昊;张军
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荣耀半导体材料(嘉善)有限公司
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2023-06-07
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2023-09-01
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H01L21/677
- 本发明涉及半导体技术领域,具体而言,涉及一种扩散装置和晶圆存放设备;晶圆存放设备包括晶圆存放盒和设置于晶圆存放盒的扩散装置;扩散装置包括扩散本体,扩散本体的内部设置有至少两个气体流道,且扩散本体还设置有与至少两个气体流道连通的进气口;其中,扩散本体还设置有至少两个扩散部,至少两个扩散部沿设定方向依次排布,且至少两个气体流道与至少两个扩散部一一对应地连通,至少两个扩散部位于晶圆存放盒内,用于使气体输送至晶圆存放盒内。本发明的扩散装置能使气体均匀地扩散至晶圆存放盒内,以确保存放于晶圆存放设备的晶圆都能够受到扩散装置输送、扩散的保护性气体的保护。
- 扩散装置存放设备
- [实用新型]一种晶圆盒防变形锁紧结构-CN202221951400.7有效
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洪巧水;粘怡达;孟余红
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荣耀半导体材料(嘉善)有限公司
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2022-07-27
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2023-03-21
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B65D55/02
- 本实用新型公开了一种晶圆盒防变形锁紧结构,包括顶部可拆卸连接有盒盖组件的晶圆盒组件,所述盒盖组件包括两侧均居中构造有锁紧部件的盒盖本体,锁紧部件包括构造连接于盒盖本体的承压盒,所述承压盒内开设有缓冲仓,所述缓冲仓内可活动安装有承压板,所述承压板的顶部等距固定有顶端固定于缓冲仓顶壁的缓冲弹簧,且承压板的底端延伸出缓冲仓并构造连接有连接板,所述晶圆盒组件包括两侧顶部均居中构造有定位块的晶圆盒本体,所述定位块内开设有插接槽,该晶圆盒防变形锁紧结构,结构合理,便于提升锁紧部件对外力的承载能力,实现对压力的缓冲,降低其形变而导致盒体开启困难的情况出现,实用性强。
- 一种晶圆盒防变形结构
- [实用新型]一种高密封性扩晶环立式出货箱-CN202221817826.3有效
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洪巧水;粘怡达;孟余红
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荣耀半导体材料(嘉善)有限公司
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2022-07-13
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2023-02-10
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B65D25/02
- 本实用新型公开一种高密封性扩晶环立式出货箱,包括箱体以及与箱体匹配的箱盖,箱体的上端开口并且朝下延伸形成容纳腔,箱盖的下表面朝下凸出设有凸块,凸块与开口处匹配并且插入开口处,箱盖的下表面围绕凸块安装有密封圈,凸块的四周侧壁设有一圈安装槽,密封圈朝向凸块的一侧凸出设有一圈卡条,卡条嵌入安装槽内设置,容纳腔内相对的两侧侧壁上均具有若干插槽,两侧侧壁上的插槽一一对应设置,凸块的下表面具有若干与插槽相对应的顶槽,将箱盖盖在箱体上时,箱盖上的凸块插入开口处,箱体的上端面顶住凸块四周的密封圈,由此进行密封,放置在出货运输过程中有灰尘进入到出货箱,保证了扩晶环的洁净度,避免在使用前进行清洗。
- 一种密封性扩晶环立式货箱
- [实用新型]一种晶圆片水平式出货箱-CN202221951397.9有效
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洪巧水;粘怡达;孟余红
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荣耀半导体材料(嘉善)有限公司
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2022-07-27
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2023-02-10
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B65D25/02
- 本实用新型公开了一种晶圆片水平式出货箱,包括出货箱,还包括缓冲机构,所述缓冲机构由半台A、通孔、螺栓、基板、半台B、螺孔、侧胶台和缓冲垫构成,所述出货箱的可装载晶圆片的箱体宽边处热熔粘接有半台A,且半台A表面开设有供螺栓的栓体穿过并向半台B表面螺孔内旋入的通孔,所述半台B的平台边对称热熔粘接于基板的两端宽边板体处,且基板的两侧长边板体处粘接有可以对向夹在出货箱长箱壁表面的侧胶台,在出货箱的底端设置有缓冲机构,借助缓冲机构在出货箱出的设置,使得晶圆片的水平式出货用出货箱存在底部缓冲性的结构,有效防止了装在晶圆片的出货箱坠落地面时对晶圆片造成冲击力损伤。
- 一种晶圆片水平货箱
- [实用新型]一种晶圆片分选导片设备-CN202221953234.4有效
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洪巧水;粘怡达;孟余红
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荣耀半导体材料(嘉善)有限公司
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2022-07-27
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2023-02-10
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H01L21/683
- 本实用新型公开了一种晶圆片分选导片设备,包括传动组件以及设置于传动组件上的承台,所述承台的顶端呈环形阵列开设有四个滑槽,且四个滑槽内均滑动设置有吸附组件,所述吸附组件包括滑动设置于滑槽内的支撑结构以及构造于支撑结构一侧的弧形支撑板,所述弧形支撑板的两端均居中开设有供轴杆转动设置的通孔,且两个轴杆的相向面之间共同固定安装有支座,所述轴杆延伸出通孔的一端连接有电动机。该晶圆片分选导片设备,可事先对于晶圆片的抓取、偏转、放置,方便将其装入晶圆盒内,大幅提高了对于晶圆片的摆放效率,大幅降低了工作人员的工作强度,可快速稳定的完成对于晶圆片的摆放,效率较高,实用性较强。
- 一种晶圆片分选设备
- [实用新型]一种车间用晶圆片临时仓储盒-CN202221953287.6有效
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洪巧水;粘怡达;孟余红
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荣耀半导体材料(嘉善)有限公司
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2022-07-27
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2023-02-10
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B65D55/02
- 本实用新型公开了一种车间用晶圆片临时仓储盒,包括盒体,还包括盒盖和挤压组件,所述盒体顶端开口处套盖有用于封闭盒体的盒盖,所述盒体前后部粘接有顶端与顶板一体成型的L形杆,所述挤压组件包括杆套、弹簧和插杆,所述顶板底部粘接有杆套,所述杆套底部伸缩滑动有插杆。该一种车间用晶圆片临时仓储盒在将用于车间的晶圆片放入盒体内部后盖上盒盖,盒盖的内壁与盒体上部外壁卡合,在此之前通过上压插杆,插杆沿杆套内壁上滑并对弹簧产生压缩作用,盖上盒盖后松开施加在插杆上的压力,弹簧反弹并推动插杆向下移动,对盒盖整体进行施压,盒盖底部内表面粘接有密封条,密封条与盒体上部外壁紧密贴合,具有良好的密封效果。
- 一种车间用晶圆片临时仓储
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