专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]晶圆维持件及晶圆盒-CN202310796894.9在审
  • 朱明伟;洪巧水 - 荣耀半导体材料(嘉善)有限公司
  • 2023-06-30 - 2023-10-10 - H01L21/673
  • 本申请涉及晶圆的存储与运输容器技术领域,具体而言,涉及一种晶圆维持件及晶圆盒,包括连接单元和弹片单元,所述弹片单元包括两个弹片,在第一方向上一个所述弹片、所述连接单元和另一个所述弹片依次排列,所述连接单元包括弹片连接部,两个所述弹片均与所述弹片连接部连接,两个所述弹片以垂直于所述第一方向的平面为对称面呈镜像对称,两个所述弹片用于与同一个晶圆点接触。本申请的目的在于针对背景技术中所涉及的至少一种技术问题,提供一种晶圆维持件及晶圆盒。
  • 维持晶圆盒
  • [发明专利]箱门机构及收纳箱-CN202310973063.4在审
  • 洪巧水;长野博幸;邬友权 - 荣耀半导体材料(嘉善)有限公司
  • 2023-08-03 - 2023-09-19 - B65D43/16
  • 本发明提供的一种箱门机构及收纳箱,涉及晶圆收纳设备技术领域,以在一定程度上解决晶圆外径波动,箱门上的定位结构无法适应不同径向尺寸的晶圆,造成晶圆晃动或压力过大变形损坏的问题。本发明提供的箱门机构,用于收纳箱,包括门体和多个定位组件,多个定位组件沿第一方向间隔设置于门体朝向收纳箱的一侧,且定位组件包括定位件和调节件,定位件沿第二方向延伸,且定位件的两端分别与门体相连接,调节件与定位件对应设置,且调节件能够向进入或远离收纳箱的方向移动,以推动定位件向进入或远离收纳箱的方向移动。
  • 机构收纳
  • [实用新型]用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件及其装置-CN202320453886.X有效
  • 洪巧水;粘怡达;邬友权 - 荣耀半导体材料(嘉善)有限公司
  • 2023-03-03 - 2023-09-15 - B65D51/24
  • 一种用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件及其装置,涉及门盖排水技术领域。该用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件包括门盖本体和盖体;所述门盖本体连接在所述盖体上,且所述门盖本体与所述盖体之间形成门盖空腔;所述门盖本体与所述盖体的结合部位设置有第一液孔;所述盖体上设置有第二液孔;沿所述门盖本体的厚度方向,所述第一液孔与所述第二液孔不重合;所述第一液孔和所述第二液孔均连通所述门盖空腔。该晶片储存与运输装置包括用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件。本实用新型的目的在于提供一种用于晶元储存与运输装置的门盖排液组件及其装置,以在一定程度上解决现有技术中存在的排水通孔易掉入异物的技术问题。
  • 用于储存运输装置门盖排液组件及其
  • [发明专利]扩散装置和晶圆存放设备-CN202310673244.5在审
  • 洪巧水;邬昊;张军 - 荣耀半导体材料(嘉善)有限公司
  • 2023-06-07 - 2023-09-01 - H01L21/677
  • 本发明涉及半导体技术领域,具体而言,涉及一种扩散装置和晶圆存放设备;晶圆存放设备包括晶圆存放盒和设置于晶圆存放盒的扩散装置;扩散装置包括扩散本体,扩散本体的内部设置有至少两个气体流道,且扩散本体还设置有与至少两个气体流道连通的进气口;其中,扩散本体还设置有至少两个扩散部,至少两个扩散部沿设定方向依次排布,且至少两个气体流道与至少两个扩散部一一对应地连通,至少两个扩散部位于晶圆存放盒内,用于使气体输送至晶圆存放盒内。本发明的扩散装置能使气体均匀地扩散至晶圆存放盒内,以确保存放于晶圆存放设备的晶圆都能够受到扩散装置输送、扩散的保护性气体的保护。
  • 扩散装置存放设备
  • [发明专利]一种用于存放薄晶圆片的周转存储盒-CN202310614911.2在审
  • 洪巧水;粘怡达;邬友权 - 荣耀半导体材料(嘉善)有限公司
  • 2023-05-29 - 2023-08-18 - B65D25/10
  • 本发明属于包装件技术领域,具体的说是一种用于存放薄晶圆片的周转存储盒,包括保护壳,所述保护壳表面的两侧均固定连接有拓展外壳,所述拓展外壳的内壁均匀设置有条状弹簧,所述条状弹簧远离拓展外壳的一端滑动连接有加固部件,所述保护壳表面顶部的两侧均滑动连接有封闭滑板,所述封闭滑板表面的两侧均滑动连接有引导滑轨,所述封闭滑板的一侧固定连接有牵引拉杆,所述保护壳内腔的两侧均设置有控制部件。该装置能够存储晶圆片,并且能够根据晶圆片的尺寸调整橡胶软带对晶圆片的夹紧力度,进而避免出现晶圆片在盒内受到的挤压力较小而容易发生松动的问题,也能避免出现晶圆片受到较大挤压力而碎裂的问题。
  • 一种用于存放薄晶圆片周转存储
  • [发明专利]一种PFA模具PVD强化处理涂层填涂设备-CN202310508096.1在审
  • 洪巧水;粘怡达;刘国华 - 荣耀半导体材料(嘉善)有限公司
  • 2023-05-08 - 2023-07-25 - B05B13/02
  • 本发明涉及PVD涂层喷涂技术领域,且公开了一种PFA模具PVD强化处理涂层填涂设备,包括加工框,所述加工框的侧面固定装配有固定框,所述固定框的顶部固定装配有蓄水框,所述固定框内壁的侧面固定装配有电动伸缩杆。通过上夹板与下夹板的配合使用,向U型架内壁的顶部方向移动上夹板,此时弹簧辅助限位杆上移,并推动限位杆带动上夹板对PFA模具稳定限位,之后启动电机,电机带动螺纹杆转动,从而使螺纹杆带动套筒转动,从而使U型架在套筒的带动下移,直至U型架进入加工框的内壁中,从而使喷涂框利用电磁阀连接管和喷涂板对电机带动转动的PFA模具稳定填涂,相比较传统的装置,本装置便于带动PFA模具转动,从而使装置稳定填涂。
  • 一种pfa模具pvd强化处理涂层设备
  • [实用新型]用于晶元储存与运输装置的密封结构-CN202223015830.0有效
  • 洪巧水;刘小波;邬友权;刘春峰;刘国华 - 荣耀半导体材料(嘉善)有限公司
  • 2022-11-11 - 2023-07-07 - B65D53/02
  • 一种用于晶元储存与运输装置的密封结构,涉及密封结构技术领域。晶元储存与运输装置包括箱体及扣合于箱体上的盖体,盖体与箱体接触部位周向设置有密封圈;密封圈与盖体一体成型并形成用于晶元储存与运输装置的密封结构;密封圈包括密封基体部、密封鳍片部和密封凸起部;盖体设置有与密封基体部固定连接的基体凹槽;密封基体部固定连接密封鳍片部;密封基体部靠近盖体的一面固定连接密封凸起部,且盖体设置有与密封凸起部相配合的凸起凹槽。本实用新型的目的在于提供一种用于晶元储存与运输装置的密封结构,以解决现有技术中存在的密封圈的内圈卡入盖体而导致的密封圈清洗不彻底、运输储存易变形、拆装易变形和间隙易存在污染物的技术问题。
  • 用于储存运输装置密封结构
  • [实用新型]一种晶圆盒防变形锁紧结构-CN202221951400.7有效
  • 洪巧水;粘怡达;孟余红 - 荣耀半导体材料(嘉善)有限公司
  • 2022-07-27 - 2023-03-21 - B65D55/02
  • 本实用新型公开了一种晶圆盒防变形锁紧结构,包括顶部可拆卸连接有盒盖组件的晶圆盒组件,所述盒盖组件包括两侧均居中构造有锁紧部件的盒盖本体,锁紧部件包括构造连接于盒盖本体的承压盒,所述承压盒内开设有缓冲仓,所述缓冲仓内可活动安装有承压板,所述承压板的顶部等距固定有顶端固定于缓冲仓顶壁的缓冲弹簧,且承压板的底端延伸出缓冲仓并构造连接有连接板,所述晶圆盒组件包括两侧顶部均居中构造有定位块的晶圆盒本体,所述定位块内开设有插接槽,该晶圆盒防变形锁紧结构,结构合理,便于提升锁紧部件对外力的承载能力,实现对压力的缓冲,降低其形变而导致盒体开启困难的情况出现,实用性强。
  • 一种晶圆盒防变形结构
  • [实用新型]一种晶圆盒注塑原料干燥装置-CN202221280482.7有效
  • 洪巧水;粘怡达;孟余红 - 荣耀半导体材料(嘉善)有限公司
  • 2022-05-25 - 2023-02-10 - B29B13/06
  • 本实用新型公开一种晶圆盒注塑原料干燥装置,包括卧式干燥箱,卧式干燥箱内水平设置有一根搅拌轴,搅拌轴连接旋转电机,搅拌轴上有若干搅拌板,卧式干燥箱的外侧设有投料斗,卧式干燥箱的上端设有若干通风口,卧式干燥箱的上端设有罩住若干通风口的通风罩,通风罩通过进风管连接加热箱,加热箱内设有电热管,加热箱连接风箱,风箱内设有风扇组件,风箱通过空气除尘器连接引风管,卧式干燥箱的下端设有下料口,下料口处铰接设有挡板,通过本实用新型使PP料均匀受热,通过此方式大大加快了烘干的速度,提升了工作效率。
  • 一种晶圆盒注塑原料干燥装置
  • [实用新型]一种高密封性扩晶环立式出货箱-CN202221817826.3有效
  • 洪巧水;粘怡达;孟余红 - 荣耀半导体材料(嘉善)有限公司
  • 2022-07-13 - 2023-02-10 - B65D25/02
  • 本实用新型公开一种高密封性扩晶环立式出货箱,包括箱体以及与箱体匹配的箱盖,箱体的上端开口并且朝下延伸形成容纳腔,箱盖的下表面朝下凸出设有凸块,凸块与开口处匹配并且插入开口处,箱盖的下表面围绕凸块安装有密封圈,凸块的四周侧壁设有一圈安装槽,密封圈朝向凸块的一侧凸出设有一圈卡条,卡条嵌入安装槽内设置,容纳腔内相对的两侧侧壁上均具有若干插槽,两侧侧壁上的插槽一一对应设置,凸块的下表面具有若干与插槽相对应的顶槽,将箱盖盖在箱体上时,箱盖上的凸块插入开口处,箱体的上端面顶住凸块四周的密封圈,由此进行密封,放置在出货运输过程中有灰尘进入到出货箱,保证了扩晶环的洁净度,避免在使用前进行清洗。
  • 一种密封性扩晶环立式货箱
  • [实用新型]一种晶圆片水平式出货箱-CN202221951397.9有效
  • 洪巧水;粘怡达;孟余红 - 荣耀半导体材料(嘉善)有限公司
  • 2022-07-27 - 2023-02-10 - B65D25/02
  • 本实用新型公开了一种晶圆片水平式出货箱,包括出货箱,还包括缓冲机构,所述缓冲机构由半台A、通孔、螺栓、基板、半台B、螺孔、侧胶台和缓冲垫构成,所述出货箱的可装载晶圆片的箱体宽边处热熔粘接有半台A,且半台A表面开设有供螺栓的栓体穿过并向半台B表面螺孔内旋入的通孔,所述半台B的平台边对称热熔粘接于基板的两端宽边板体处,且基板的两侧长边板体处粘接有可以对向夹在出货箱长箱壁表面的侧胶台,在出货箱的底端设置有缓冲机构,借助缓冲机构在出货箱出的设置,使得晶圆片的水平式出货用出货箱存在底部缓冲性的结构,有效防止了装在晶圆片的出货箱坠落地面时对晶圆片造成冲击力损伤。
  • 一种晶圆片水平货箱
  • [实用新型]一种晶圆片分选导片设备-CN202221953234.4有效
  • 洪巧水;粘怡达;孟余红 - 荣耀半导体材料(嘉善)有限公司
  • 2022-07-27 - 2023-02-10 - H01L21/683
  • 本实用新型公开了一种晶圆片分选导片设备,包括传动组件以及设置于传动组件上的承台,所述承台的顶端呈环形阵列开设有四个滑槽,且四个滑槽内均滑动设置有吸附组件,所述吸附组件包括滑动设置于滑槽内的支撑结构以及构造于支撑结构一侧的弧形支撑板,所述弧形支撑板的两端均居中开设有供轴杆转动设置的通孔,且两个轴杆的相向面之间共同固定安装有支座,所述轴杆延伸出通孔的一端连接有电动机。该晶圆片分选导片设备,可事先对于晶圆片的抓取、偏转、放置,方便将其装入晶圆盒内,大幅提高了对于晶圆片的摆放效率,大幅降低了工作人员的工作强度,可快速稳定的完成对于晶圆片的摆放,效率较高,实用性较强。
  • 一种晶圆片分选设备
  • [实用新型]一种车间用晶圆片临时仓储盒-CN202221953287.6有效
  • 洪巧水;粘怡达;孟余红 - 荣耀半导体材料(嘉善)有限公司
  • 2022-07-27 - 2023-02-10 - B65D55/02
  • 本实用新型公开了一种车间用晶圆片临时仓储盒,包括盒体,还包括盒盖和挤压组件,所述盒体顶端开口处套盖有用于封闭盒体的盒盖,所述盒体前后部粘接有顶端与顶板一体成型的L形杆,所述挤压组件包括杆套、弹簧和插杆,所述顶板底部粘接有杆套,所述杆套底部伸缩滑动有插杆。该一种车间用晶圆片临时仓储盒在将用于车间的晶圆片放入盒体内部后盖上盒盖,盒盖的内壁与盒体上部外壁卡合,在此之前通过上压插杆,插杆沿杆套内壁上滑并对弹簧产生压缩作用,盖上盒盖后松开施加在插杆上的压力,弹簧反弹并推动插杆向下移动,对盒盖整体进行施压,盒盖底部内表面粘接有密封条,密封条与盒体上部外壁紧密贴合,具有良好的密封效果。
  • 一种车间用晶圆片临时仓储

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