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- [实用新型]一种半导体晶圆涂胶用匀胶机-CN202320093553.0有效
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唐伟东;周晓娟;张阳芳
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苏州杉树园半导体设备有限公司
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2023-01-31
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2023-06-09
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B05C13/02
- 本实用新型涉及晶圆生产技术领域，公开了一种半导体晶圆涂胶用匀胶机，包括底座，底座上设置有滴胶设备主体，所述底座上固定安装有气室，气室上转动安装有转动管，转动管贯穿气室侧壁且转动管远离气室的一端固定安装有顶板，顶板远离底座的表面固定安装有同心分布的第一垫圈和第二垫圈，所述转动管远离气室的一端固定安装有吸盘，所述底座上固定安装有通过连通管与气室连通的抽气泵。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：实现了晶圆的快速定位和夹紧，保证夹紧定位的同时能够避免夹紧力较大损坏晶圆，保证了晶圆转动轴线与顶板的转动轴线重合，提高了晶圆转动的稳定性，进而提高后续涂胶的均匀性，有利于涂胶使用。
- 一种半导体涂胶用匀胶机
- [实用新型]一种晶圆涂胶治具-CN202320150583.0有效
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唐伟东;周晓娟;张阳芳
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苏州杉树园半导体设备有限公司
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2023-02-08
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2023-06-02
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B05C13/02
- 本实用新型涉及晶圆生产装置技术领域，公开了一种晶圆涂胶治具，包括底座，底座上开设有多组间隔分布的通孔，所述底座一侧表面固定安装有第一伸缩件，第一伸缩件输出端固定安装有气室，气室上连通有多组分别伸入不同通孔内的吸气管，吸气管远离气室的一端连通有吸盘，所述底座一侧表面固定安装有抽气泵，抽气泵通过连通管与气室连通，所述底座远离第一伸缩件的表面固定安装有对称分布的支板。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：实现晶圆的快速定位和夹持，能够保证夹持稳定性的同时避免夹紧力度较大损坏晶圆，能够对晶圆的一侧表面进行吸附同时从晶圆的外侧对晶圆进行限制，从而保证后续晶圆涂胶的稳定性和均匀性，有利于使用。
- 一种涂胶
- [实用新型]一种半导体器件真空蒸镀设备-CN202222458591.X有效
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唐伟东;周晓娟
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苏州杉树园半导体设备有限公司
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2022-09-16
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2023-01-10
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C23C14/24
- 本实用新型属于真空蒸镀技术领域，尤其为一种半导体器件真空蒸镀设备，包括真空仓，所述真空仓的一侧固定设有安装座，所述安装座的底部固定设有真空泵，所述真空仓的正面活动设有密封门，所述真空仓的正面固定设有控制面板，所述真空仓的顶部内壁上固定设有转动电机，所述转动电机的输出轴上固定设有基板，所述真空仓的底部内壁上固定设有蒸发盘，所述蒸发盘的顶部设有蒸发材料，本实用新型通过设置滑槽、隔板、弹簧、连接杆和操作柄等部件，能够调整过料孔的开闭大小，从而实现对蒸发粒子的数量调节，能够降低粒子在基片上凝结成膜速率，转动电机的设置，能够带动底部的半导体材料转动，实现较好的成膜均匀性。
- 一种半导体器件真空设备
- [实用新型]一种半导体用等离子清洗装置-CN202222460188.0有效
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唐伟东;周晓娟
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苏州杉树园半导体设备有限公司
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2022-09-17
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2023-01-10
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B08B5/02
- 本实用新型公开了种半导体用等离子清洗装置，包括控制台，所述控制台上设置有机架，所述机架的外侧设置有壳体，所述壳体的内侧设置有旋转组件，所述旋转组件包括驱动电机和载物盘，所述载物盘上设置有若干个放置槽，所述驱动电机的外侧设置有废气收集组件，所述机架上废气收集组件的上侧设置有等离子清洗组件。本实用新型通过光电传感器一与光电传感器二进行精确定位，当载物盘转动到指定角度时，驱动电机停止工作，等离子发生器与等离子发射器进行工作，实现精确定位，保证清洗精度与效率，同时还利用海绵层进行增大摩擦力，加快减速载物盘减速停止，提高定位精度，以及在清洗时避免杂质飞出吹气罩，保证工作区的洁净。
- 一种半导体等离子清洗装置
- [实用新型]一种半导体自动清洗设备-CN202222468086.3有效
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唐伟东;周晓娟
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苏州杉树园半导体设备有限公司
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2022-09-19
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2023-01-03
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B08B3/08
- 本实用新型公开了一种半导体自动清洗设备，包括设备箱体，所述设备箱体上从左到右依次设置有氧化处理槽、溶解槽和去离子清洗槽，所述氧化处理槽和所述溶解槽、所述溶解槽和所述去离子清洗槽间设置有立式隔板，所述设备箱体的上端面两侧对称设置有两列多个组合块，两侧两列多个组合块的上端面设置有支撑板，所述支撑板的下端面且分别对应氧化处理槽、溶解槽和去离子清洗槽固定设置有相应数量的伸缩气缸，每个所述伸缩气缸的底端设置有水平导轨，相对两个所述水平导轨间活动设置有支架，所述支架的内槽底部设置有置料盒，两侧两列所述组合块的外侧上部设置有风干风机。本实用新型可以实现良好的半导体硅清洗效果。
- 一种半导体自动清洗设备
- [实用新型]一种全自动涂胶机的旋涂机构-CN202122144062.8有效
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唐伟东;张阳芳;周晓娟
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苏州杉树园半导体设备有限公司
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2021-09-07
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2022-05-13
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B05C13/00
- 本实用新型公开了一种全自动涂胶机的旋涂机构，涉及涂胶机技术领域，包括：工作箱、控制面板、旋涂组件、夹具组件、支撑架、第一驱动箱、第二驱动箱；工作台正面一侧固定连接有控制面板；工作箱内部中间固定连接有旋涂组件；有益效果在于：通过第二电机带动第三齿轮旋转，第三齿轮可带动齿条旋转，使圆球在圆球腔内部移动，使圆球带动旋转杆呈倾斜状态，同时也使模具呈倾斜转态，从而可对模具的倾斜角度进行调节；从而倾斜的模具可利用所述涂料的重力加快所述涂料向所述基板的边缘的运动，防止涂料在扩散至基板的表面的边缘之前就已经固化，从而在减小涂料的用量的同时不至于降低所述涂料在所述基板上的均匀度。
- 一种全自动涂胶机构
- [实用新型]一种全自动涂胶机的涂胶喷嘴-CN202122286000.0有效
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唐伟东;张阳芳;周晓娟
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苏州杉树园半导体设备有限公司
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2021-09-22
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2022-05-10
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B05C5/02
- 本实用新型公开了一种全自动涂胶机的涂胶喷嘴，涉及涂胶机技术领域，包括：涂胶喷嘴、轴承、旋转杆、旋转把手、连接杆、刮板、透明条、螺纹连接头、磁铁一、过滤罩、磁铁二、出胶口、胶头；涂胶喷嘴顶部内部固定连接有轴承；轴承内部固定连接有旋转杆，且旋转杆底部延伸至涂胶喷嘴内部；旋转杆顶部固定连接有旋转把手；有益效果在于：通过涂胶喷嘴可对涂胶进行存储，同时旋转旋转把手，使旋转把手带动旋转杆在轴承内圈内部旋转，使旋转杆带动连接杆和刮板旋转，使刮板沿着涂胶喷嘴内部内壁进行旋转，使刮板可对粘附在涂胶喷嘴内部内壁的胶料进行刮除，从而可防止胶料粘附在涂胶喷嘴内部内壁，堵塞涂胶喷嘴。
- 一种全自动涂胶喷嘴
- [实用新型]一种全自动涂胶机的驱动装置-CN202122214726.3有效
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唐伟东;张阳芳;周晓娟
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苏州杉树园半导体设备有限公司
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2021-09-14
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2022-05-10
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B05C5/02
- 本实用新型公开了一种全自动涂胶机的驱动装置，涉及涂胶机技术领域，包括：底座、PLC控制面板、传送带；有益效果在于：通过电机一带动传动轮转动，使传动轮可带动传送带进行转动，使传送带可对产品进行自动运输；当光纤传感器感应到产品时，光纤传感器发送信号给PLC控制面板，然后PLC控制面板控制电机一停止运行，使传送带不转动，使产品停在了胶枪正下方，通过驱动箱一、驱动箱二、驱动箱三使胶枪可以在XYZ三轴的驱动下进行多方位的点胶；点胶动作完成后，光纤传感器发送信号给PLC控制面板，然后PLC控制面板控制电机一开始运行，使传送带转动，使已点胶完成的产品流下去，然后未点胶的产品再次重复上次动作即可；从而实现自动化，提高工作效率。
- 一种全自动涂胶驱动装置
- [实用新型]一种半导体制程超声波清洗机-CN202123014104.2有效
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唐伟东;张阳芳;周晓娟
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苏州杉树园半导体设备有限公司
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2021-12-03
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2022-05-06
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B08B3/12
- 本实用新型公开了一种半导体制程超声波清洗机，涉及清洗设备技术领域，包括：箱体、万向轮、控制器、扶杆、安装座、电动推杆；箱体底部四角均固定连接有万向轮；箱体正面一侧均固定连接有控制器；箱体左右两侧顶部均固定连接有扶杆；左右两侧底部均固定连接有安装座；有益效果在于：通过清洗杆可将需要进行清洗的石英绝缘环套在清洗杆上，然后将防脱盖镶嵌在清洗杆顶部，防止清洗时，石英绝缘环漂浮起来从清洗杆顶部跑出；通过螺栓与螺纹孔为螺纹连接，使清洗杆便于从清洗架内部拆卸下来，从而使清洗杆便于拆装；同时使石英绝缘环便于拿取；从而通过设置清洗杆便于对石英绝缘环进行安装清洗，使石英绝缘环可有序的套在清洗杆上。
- 一种半导体超声波清洗
- [发明专利]晶圆自动涂胶设备-CN202011634977.0有效
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唐伟东;黎纠;张阳芳
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苏州杉树园半导体设备有限公司
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2020-12-31
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2022-03-08
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B05C5/02
- 本发明公开了一种晶圆自动涂胶设备，包括上下高速旋转接盘组件、间隙可调式输送带、储料框、下压点胶机构及延伸输送组件，下压点胶机构包括下压驱动件、下压盖合板，下压驱动件带动下压盖合板靠近或远离待点胶工件，下压盖合板设有用于点胶的点胶孔；用于存储待点胶工件的储料框将工件沿延伸输送组件输送至间隙可调式输送带，待点胶工件安置于两个侧部输送结构上并沿两个侧部输送结构，采用上下高速旋转接盘组件、间隙可调式输送带、储料框、下压点胶机构及延伸输送组件进行待点胶工件的放置、输送、点胶，自动化程度高，点胶效率高，传动平稳度高，解决了抓取式点胶胶水分布不均匀的问题。
- 自动涂胶设备
- [发明专利]一种涂胶机的控制方法-CN202111212971.9在审
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唐伟东;张阳芳;周晓娟
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苏州杉树园半导体设备有限公司
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2021-10-19
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2022-01-07
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B05C11/10
- 本发明公开了一种涂胶机的控制方法，移动涂胶喷嘴使喷嘴上的摄像单元的摄像中心与基板的中心对准，通过摄像单元拍摄到的图像测量基准标记的中心和摄像单元的摄像中心的位置，喷嘴上的激光测距仪测量涂胶喷嘴与基板中心表面之间的高度，计算涂胶喷嘴到远离基板中心表面之间的高度变化率，通过设置在涂胶喷嘴进口的传感器来测量喷涂流量，选择不同光刻胶的种类和使用剂量，根据光刻胶的使用剂量计算得到涂胶喷嘴的喷涂时长和喷涂流量的函数关系，记录涂胶机的运行时间点和闲置时间点。本发明的优点在于保证基板和涂胶喷嘴之间具有均匀的间隙，保证晶圆的品质，防止涂胶机喷嘴在后续的作业中因涂胶不良而需要返工。
- 一种涂胶控制方法
- [实用新型]涂胶设备加热输送组件-CN202023347826.5有效
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黎纠;唐伟东;任柯成
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苏州杉树园半导体设备有限公司
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2020-12-31
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2021-12-14
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B05C13/00
- 本实用新型公开了一种涂胶设备加热输送组件，包括间隙可调式输送带、加热装置、侧部升降组件，侧部升降组件包括端部驱动气缸、支撑组件，支撑组件包括连接台、至少两个支撑杆，支撑杆的端部与连接台固定连接，端部驱动气缸带动连接台上下移动；间隙可调式输送带包括两个输送安装座、两个侧部输送结构，侧部输送结构包括间隙调节气缸、调节座、若干个传动轮、输送带、侧部抬升气缸、倾斜抵触件，间隙调节气缸运作使待点胶工件放置在支撑组件上，端部驱动气缸运作使支撑组件靠近加热装置。采用间隙可调式输送带、加热装置、侧部升降组件的配合，使待点胶工件在输送和点胶的过程中进行加热，自动化程度高，点胶效率高。
- 涂胶设备加热输送组件
- [实用新型]上下高速旋转接盘组件-CN202023348654.3有效
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黎纠;唐伟东;张阳芳
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苏州杉树园半导体设备有限公司
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2020-12-31
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2021-12-14
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B05C5/02
- 本实用新型公开了一种上下高速旋转接盘组件，包括上下驱动气缸、上下固定板、旋转驱动组件、旋转组件，旋转驱动组件包括旋转电机、驱动齿轮，旋转电机带动驱动齿轮转动；旋转组件包括承接盘、与承接盘下部固定连接的下部吸气管、高速旋转接头，承接盘设有吸料槽；驱动齿轮与下部吸气管固定连接，上下驱动气缸固定于上下固定板并带动旋转驱动组件上下移动，旋转电机运作使用于放置待点胶工件的承接盘转动。点胶时在待点胶工件的中部点胶后，待点胶工件通过吸料槽的吸气进而固定在承接盘上，旋转电机可带动待点胶工件转动使胶水在待点胶工件上分布均匀，点胶效果好，点胶效率高。
- 上下高速旋转组件
- [实用新型]上下承接式输送机构-CN202023347764.8有效
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唐伟东;黎纠;任柯成
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苏州杉树园半导体设备有限公司
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2020-12-31
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2021-11-30
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B65G49/00
- 本实用新型公开了一种上下承接式输送机构，包括上下高速旋转接盘组件及间隙可调式输送带，上下高速旋转接盘组件包括上下驱动气缸、上下固定板、旋转驱动组件、旋转组件，旋转驱动组件包括旋转电机、驱动齿轮，旋转电机带动驱动齿轮转动；旋转组件包括承接盘、与承接盘下部固定连接的下部吸气管、高速旋转接头，承接盘设有吸料槽，下部吸气管通过高速旋转接头与一吸气设备连接，下部吸气管与吸料槽连通并使吸料槽内产生负压；采用上下高速旋转接盘组件及间隙可调式输送带的配合使使待点胶工件在输送过程中下沉点胶，点胶完成后再继续输送，点胶效率高，占用空间小，自动化程度高。
- 上下承接输送机构
- [实用新型]间隙可调式输送带-CN202023347805.3有效
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唐伟东;黎纠;张阳芳
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苏州杉树园半导体设备有限公司
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2020-12-31
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2021-11-30
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B65G15/30
- 本实用新型公开了一种间隙可调式输送带，包括两个输送安装座、两个侧部输送结构，侧部输送结构包括间隙调节气缸、调节座、若干个传动轮、输送带、侧部抬升气缸、倾斜抵触件，间隙调节气缸带动调节座移动，传动轮转动安装于输送安装座，输送带绕经传动轮，侧部抬升气缸固定于调节座并带动倾斜抵触件上下移动，输送带与调节座之间形成侧部间隙，倾斜抵触件位于侧部间隙内；采用间隙调节气缸调节两个侧部输送结构之间的输送间隙，可以适用于多种大小规格的输送需求，待点胶工件沿两个侧部输送结构上的输送带进行输送，间隙调节气缸驱动倾斜抵触件顶起待点胶工件，点胶效率高。
- 间隙调式输送带
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