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[发明专利]一种五棱镜直角误差检测辅助装置及检测方法-CN202310690457.9在审
发明人：韩森;韩满林;李雪园 -专利权人： 苏州慧利仪器有限责任公司
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明提供一种五棱镜直角误差检测辅助装置及检测方法，辅助装置包括：第一标准平面镜，用于设置在第一干涉仪的光路输出端口上；第二标准平面镜，与第一标准平面镜之间的夹角固定为90°。检测时，第一干涉仪射出的光束经过第一标准平面镜及被测五棱镜折转后到第二标准平面镜，再由第二标准平面镜反射回去，与第一标准平面镜部分反射的参考光发生干涉，然后通过慧利仪器测试软件能得到测试结果。本发明能辅助实现五棱镜直角误差检测的高精度自动化测量，不需要对五棱镜的位置再次调整，简化了操作步骤，第一标准平面镜和第二标准平面镜之间的夹角可通过另外的干涉仪和标准平面镜精确测量和调整固定为90°，提高了测量精度。
一种棱镜直角误差检测辅助装置方法

[发明专利]一种检测光学系统任意波长光学参数的方法-CN202110186511.7有效
发明人：张齐元;王芳;韩森;王浩宇;朱大勇 -专利权人： 苏州慧利仪器有限责任公司
申请日： 2021-02-08 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种检测光学系统任意波长光学参数的方法，属于光学检测技术领域，用于检测光学系统的多波长的光学参数，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1，采用光学仪器分别对所述光学系统进行检测获得所述光学系统在R种波长分别为λ1～λr的参考光学参数f(λ1)、f(λ2)、······f(λr)；步骤S2，将步骤S1得到的所述光学参数带入公式：式中，当D＝0时(即只有前3项时)R≥3，当D≠0时R≥4，n≥max{X1,X2}，计算参数A、B、C以及D的值；步骤S3，将计算得到的A、B、C以及D带入公式中，计算波长为λm的光学系统的光学参数。
一种检测光学系统任意波长光学参数方法

[发明专利]一种检测用柱面镜头-CN202110240137.4有效
发明人：韩森;李雪园;贾文昕;张凌华;韩博;朱亦鸣;康岩辉;祝永进;俞大海 -专利权人： 苏州慧利仪器有限责任公司
申请日： 2021-03-04 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： G01B9/023 文献下载
摘要：本发明提供一种检测用柱面镜头，属于光学干涉检测领域涉，设置在干涉仪的焦前，用于检测柱面镜的表面形貌，该干涉仪发射平面光，其特征在于，包括：镜筒，呈筒状；平面镜，固定在镜筒中；以及计算全息图CGH，用于与平面镜相配合将平面光转化为柱面光，固定在镜筒中，其中，平面镜与计算全息图CGH沿干涉仪发射的平面光的光路依次设置在镜筒内，平面镜与计算全息图CGH互相平行且光轴重合。本发明提供的检测用柱面镜头，还可以具有这样的特征，其中，镜筒包括罩筒、第一镜座以及第二镜座，罩筒呈筒状，其两端分别设置有向罩筒的轴线延伸的第一限位部以及第二限位部，第一镜座呈筒状，第二镜座呈一端开口的柱状。
一种检测柱面镜头

[发明专利]一种离轴椭圆柱面镜表面形貌的检测装置以及检测方法-CN202110242401.8有效
发明人：韩森;贾文昕;张凌华;韩博;李雪园;朱亦鸣;庄松林;康岩辉;俞大海;祝永进 -专利权人： 苏州慧利仪器有限责任公司
申请日： 2021-03-04 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明提供一种离轴椭圆柱面镜表面形貌的检测装置以及检测方法，属于光学干涉检测领域涉，用于检测待测的离轴椭圆柱面镜的表面形貌，其特征在于，离轴椭圆柱面镜表面形貌的检测装置包括干涉仪，用于发射平面光波；补偿元件，设置在干涉仪的焦前，用于将平面光波转化为柱面光波作为检测光，并反射干涉仪发射的平面光波作为参考光；待测镜夹具，设置在检测光的光路中且位于检测光的汇聚位置远离干涉仪一侧，用于固定离轴椭圆柱面镜并调节离轴椭圆柱面镜与干涉仪之间的位置以及倾斜角度；以及反射镜，设置在检测光经过离轴椭圆柱面镜反射形成的第一反射光的光路中且位于第一反射光的汇聚位置远离待测镜夹具的一侧。
一种椭圆柱面表面形貌检测装置以及方法

[发明专利]一种改进5步相移干涉算法在极小相移步长下的应用-CN202210614771.4在审
发明人：韩森;陈柔婧;李雪园 -专利权人： 苏州慧利仪器有限责任公司
申请日： 2022-06-01 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：本发明公开了一种改进5步相移干涉算法在极小相移步长下的应用，具有这样的特征，包括以下步骤：步骤1，使相移器产生预先设定的极小相移步长；步骤2，由电荷耦合元件采样记录5幅干涉条纹图；步骤3，进一步由改进5步相移算法对干涉条纹图中的光强数据进行处理，得到不连续的包裹相位；步骤4，对不连续的包裹相位通过相位解包裹算法得到连续的待测相位分布。本发明在线性相移误差情况下，由于通过相位空间求和取平均运算，极大地减少了相位纹波误差，可计算得到高度近似实际相移的相移步长，进一步提高了5步Hariharan算法的精度。而在随机相移误差情况下，为完全利用干涉条纹信息，扩展了相移频率求解步骤。
一种改进相移干涉算法极小步长应用

[实用新型]环形光源菲索干涉仪-CN202120760366.4有效
发明人：陈秋白;韩森;李雪园 -专利权人： 苏州慧利仪器有限责任公司
申请日： 2021-04-14 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明提供一种环形光源菲索干涉仪，包括：沿着第一光路方向依次排布的环形光源生成装置、激光散射板、驱动机构、分束机构、准直镜头、参考镜、测试镜以及沿第二光路方向依次排布的成像镜头、CCD。第一光路方向与第二光路方向相互垂直。其中，激光散射版中心与光轴重合，用于对环形光进行散射，驱动机构用于驱动激光散射板实现自转。通过在环形光源处加入激光散射板，使用电机等驱动装置促使激光散射板旋转，消除了干涉场中的噪声点，使干涉场照明变得更加均匀，干涉条纹变得更加清晰，且仍能保持良好的条纹对比度，从而达到测量要求。
环形光源干涉仪

[实用新型]一种镜片位姿调整装置-CN202121188694.8有效
发明人：韩森;王全召;庄松林;朱亦鸣;张博;贾文昕;张凌华;康岩辉 -专利权人： 苏州慧利仪器有限责任公司
申请日： 2021-05-31 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种镜片位姿调整装置，用于安装镜片并调节该镜片在X轴、Y轴以及Z轴方向的位置和姿势，其特征在于，包括：可以粗调镜片在Z轴上平移距离的Z轴平移粗调机构、可以微调镜片在Z轴上平移距离的Z轴平移微调机构、可以粗调粗调镜片在X轴上平移距离的X轴平移粗调机构、可以调整镜片绕Y轴旋转角度的Y轴旋转调节机构、可以微调镜片在X轴上平移距离的X轴平移微调机构、可以微调镜片在Y轴上平移距离的Y轴平移微调机构、可以调整镜片沿X轴和Y轴倾斜的倾斜调整机构、可以调整镜片绕Z轴旋转的Z轴旋转调节机构以及可以调整口径的夹紧装置。可以高效的调整待测镜片的位置和姿势，同时也能保证镜片位姿调整的精确度。
一种镜片调整装置

[实用新型]一种晶圆装夹装置-CN202121048769.2有效
发明人：王全召;韩森;庄松林;庄锦程;张思晶;张凌华;祝永进;俞大海 -专利权人： 苏州慧利仪器有限责任公司
申请日： 2021-05-17 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种种晶圆装夹装置，在装夹晶圆时使晶圆不易碎裂，包括：基座，其一侧端面上具有用于让晶圆嵌入的圆形凹槽；多个压紧机构，安装在基座上，用于夹紧晶圆，其中，每个压紧机构具有环绕圆形凹槽设置的压块以及与该压块相配套设置的弹性元件，压块在弹性元件的作用下向靠近圆形凹槽的中心的方向压紧晶圆。与现有技术中晶圆直接通过类似三爪卡盘的装置装夹相比，本发明的晶圆装夹装置上的晶圆收到的力较小，而且具有侧面承托和阻挡作用，可以有效防止晶圆在装夹过程中碎裂。
一种晶圆装夹装置

[实用新型]一种平晶旋转台-CN202121048770.5有效
发明人：韩森;王全召;庄松林;康岩辉;张凌华;庄锦程;张博;朱亦鸣 -专利权人： 苏州慧利仪器有限责任公司
申请日： 2021-05-17 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种平晶旋转台，属于光学检测领域，包括：环形固定机构，用于固定在外部构件上，具有第一外圆周面；以及环形旋转机构，可转动地安装在环形固定机构上，具有用于容纳平晶的平晶容纳槽以及第二外圆周面；两个限位机构，设置在第一外圆周面上；抵接机构，设置在第二外圆周面上，用于与限位机构相配合对环形旋转机构进行限位和固定，其中，限位机构具有朝向另一个限位机构的磁性件，抵接机构具有凸向第一第一外圆周面的凸柱以及可转动地安装在凸柱上的拨杆，凸柱位于两个限位机构之间，由可被磁性件吸附的金属材料制成，用于被磁性件吸附使得环形旋转机构在第一预定位置和第二预定位置被固定。
一种旋转

[实用新型]一种标准球面镜头-CN202120672590.8有效
发明人：张齐元;韩森;朱怀康;朱大勇 -专利权人： 苏州慧利仪器有限责任公司
申请日： 2021-03-31 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： G02B13/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种标准球面镜头，属于光学镜头设计领域，其特征在于，包括：沿光束入射方向依次同轴排布的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜以及参考镜，其中，第一透镜为双凹负透镜，用于将光束的口径扩大，第二透镜为凹面靠近第一透镜设置的弯月正透镜，第三透镜为凹面靠近第一透镜设置的弯月正透镜，第四透镜为双凸正透镜，第五透镜为双凸正透镜，第六透镜为凸面靠近第一透镜设置的弯月正透镜，第七透镜为凸面靠近第一透镜设置的弯月正透镜，参考镜为凸面靠近第一透镜设置的弯月正透镜，标准球面镜头的口径为100mm，标准球面镜头的F数为0.56。
一种标准球面镜头

[实用新型]一种宽波段标准球面镜头-CN202022392197.1有效
发明人：韩森;张齐元;贾文昕;王艳;俞明辉 -专利权人： 苏州慧利仪器有限责任公司
申请日： 2020-10-23 - 公布日： 2021-08-03 - 主分类号： G02B13/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种宽波段标准球面镜头，属于激光干涉仪用标准镜头领域，其特征在于，包括：复消色差透镜组；以及参考透镜，设置在复消色差透镜组一侧，其中，复消色差透镜组包括至少一片特殊色散透镜以及至少二片其它透镜，复消色差透镜组与参考透镜同轴设置，参考透镜的材料为融石英。复消色差透镜组与参考透镜根据复消色差原理设计，使较宽波段范围内的3个波长聚焦在同一位置，并且在这个波段范围内的其他工作波长聚焦位置相对这个位置的离焦量非常小使这个波段中的每个波长所产生的焦点与参考半径重合误差均在设计和实际检测要求范围内，即本实用新型的宽波段标准球面镜头可在一定波段范围内的任意波长下使用。
一种波段标准球面镜头

[实用新型]一种镜片检测用夹具-CN202021785123.8有效
发明人：王全召;韩森;俞明辉;张博;庄锦程 -专利权人： 苏州慧利仪器有限责任公司
申请日： 2020-08-24 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种镜片检测用夹具，属于光学镜片加工检测领域，用于固定待检测镜片，其特征在于，包括：底盘，具有承托部，该承托部呈圆柱状并设置在底盘的中心位置；两个夹持件，分别设置在承托部的两侧，用于对镜片进行定位；以及调节杆，设置在承托部的侧边，固定连接在底盘上，两端分别与两个夹持件通过螺纹相连接，其中，两个夹持件分别设置有旋向相反的内螺纹，调节杆的两端设置有与两个夹持件的内螺纹分别相匹配的外螺纹，转动调节杆使得两个夹持件同时向靠近或远离底盘中心的方向移动，夹持件靠近承托部的位置上设有具有弹性的限位件，用于从镜片远离承托部的一侧压紧镜片。
一种镜片检测夹具

[实用新型]一种基于单色系统的多限位多波长标准球面镜头-CN202022245773.X有效
发明人：张齐元;韩森;王全召;王浩宇;许帅 -专利权人： 苏州慧利仪器有限责任公司
申请日： 2020-10-10 - 公布日： 2021-02-12 - 主分类号： G02B13/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种基于单色系统的多限位多波长标准球面镜头，属于激光干涉仪用标准镜头领域，可以在多种波长下工作，其特征在于，包括：镜头主体，具有第一镜筒以及设置在第一镜筒内的单波长透镜组；以及移动透镜单元，具有套设在第一镜筒上的第二镜筒以及设置在第二镜筒内的参考透镜，用于获得使用波长，其中，单波长透镜组与参考透镜互相平行且光轴重合，第一镜筒的外壁设置有第一限位件，第二镜筒远离参考透镜的端面设置有活动件，当活动件移动至第一位置时，活动件与第一限位件相抵接，移动透镜单元获得第一使用波长，当活动件移动至第二位置时，活动件与第二限位件相抵接，移动透镜单元获得第二使用波长。
一种基于单色系统限位波长标准球面镜头

[实用新型]基于消色差光学系统的多限位多波长标准球面镜头-CN202022245775.9有效
发明人：张齐元;韩森;王艳;朱大勇;张思晶 -专利权人： 苏州慧利仪器有限责任公司
申请日： 2020-10-10 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： G02B13/14 文献下载
摘要：本实用新型提供一种基于消色差光学系统的多限位多波长标准球面镜头，属于激光干涉仪用标准镜头领域，可以在多种波长下工作，其特征在于，包括：镜头主体，具有第一镜筒以及设置在第一镜筒内的消色差透镜组；以及移动透镜单元，其中，消色差透镜组与参考透镜互相平行且光轴重合，第一镜筒上设置有第一限位件，第二镜筒上设置有活动件，第一镜筒靠近参考透镜的端面设置有第二限位件，当活动件移动至第一位置时，活动件与第一限位件相抵接，移动透镜单元获得第一使用波长以及第二使用波长，当活动件移动至第二位置时，活动件与第二限位件相抵接，移动透镜单元获得第三使用波长以及第四使用波长。
基于色差光学系统限位波长标准球面镜头

[发明专利]用于测量平晶绝对面形的立式激光干涉测量设备及方法-CN201910372078.9有效
发明人：韩森;李雪园;庄锦程;张凌华;刘薇 -专利权人： 苏州慧利仪器有限责任公司
申请日： 2019-05-06 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于测量平晶绝对面形的立式激光干涉测量设备以及测量方法，采用三平面互检的方式对三个平晶的工作面的绝对面形进行测量，包括：设备主体，包含激光发射器、滤波器、分光镜、准直透镜、成像物镜、图像探测器以及处理部；参考平晶承载装置，位于准直透镜的正下方并且与该准直透镜同光轴设置，用于承载作为参考平晶的平晶；以及平晶旋转承载装置，位于参考平晶承载装置的正下方并且与该参考平晶承载装置同光轴设置，用于承载作为待测平晶的平晶，其中，平晶旋转承载装置具有固定盘、旋转承载部以及限定部，限定部用于在旋转盘切换至第一位置时将旋转盘限定在第一位置以及在旋转盘切换至第二位置时将旋转盘限定在第二位置。
用于测量绝对立式激光干涉设备方法

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