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[外观设计]探针台（F1）-CN202330339213.7有效
发明人：刘伟;张海洋;吕文波 -专利权人： 苏州伊欧陆系统集成有限公司
申请日： 2023-06-05 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：探针台（F1）。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于半导体晶圆在片测试。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状与图案的结合。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。5.仰视图无设计要点，故省略，省略仰视图。
探针 f1

[发明专利]一种高电流探针臂测试装置-CN202210404916.8有效
发明人：刘权;张海洋;刘伟;吕文波 -专利权人： 苏州伊欧陆系统集成有限公司
申请日： 2022-04-18 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：本发明公开了一种高电流探针臂测试装置，包括安装座、针座、多触点探针和压盖，所述针座通过螺丝固定在所述安装座前端，所述多触点探针安装在所述针座上、并通过所述压盖夹持固定；所述安装座为耐高温绝缘安装座，所述针座和所述压盖分别为金属针座和金属压盖、其表面均整体镀金处理，所述多触点探针表面也整体镀金处理；所述针座的上端设置有用于固定线缆的线缆安装部。本发明的针座、多触点探针和压盖表面也均整体镀金处理，这样在高电流和高电压测试工作时，多触点探针前端的若干针脚所产生的温度，可以通过其表面的覆金层快速的均匀传导至针板上，然后通过针板上下表面分别传导至针座和压盖上，以快速的降低测试探针的温度。
一种电流探针测试装置

[外观设计]波导探针包装盒-CN202330093734.9有效
发明人：吕文波 -专利权人： 苏州伊欧陆系统集成有限公司
申请日： 2023-03-06 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： 09-03 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：波导探针包装盒。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于存放波导探针，保障波导探针在运输过程的安全防护，保障产品完好。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状与图案的结合。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。5.仰视图无设计要点，省略仰视图。
波导探针包装

[实用新型]新型一体化射频测试探针-CN202320564343.5有效
发明人：刘渊;张海洋;吕文波 -专利权人： 苏州伊欧陆系统集成有限公司
申请日： 2023-03-21 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G01R1/067 文献下载
摘要：本实用新型公开了新型一体化射频测试探针，包括一体化设计的射频探针针尖和射频线缆，以及用于承载和固定所述射频线缆和射频探针针尖的射频探针针体，所述射频探针针尖焊接在所述射频线缆的前端，所述射频探针针尖的尖端处于同一水平面。本实用新型的通过将射频线缆与射频探针针头一体化设计，相比较传统分体式射频测试探针而言，在生产制作时变成一体化射频测试探针，省去了中间的互连转接，从而降低了由于互连转接引起的回波损耗高、阻抗不匹配、操作繁琐，不确定性高等问题的可能性。直接提高了系统的回波损耗性能，进而提高器件的测试性能，同时操作简单，降低了不确定性，提高了测试稳定性和一致性。
新型一体化射频测试探针

[发明专利]一种异形同轴测试探针及其测试装置-CN202210668153.8在审
发明人：刘权;张海洋;刘伟;吕文波 -专利权人： 苏州伊欧陆系统集成有限公司
申请日： 2022-06-14 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： G01R1/067 文献下载
摘要：本发明公开了一种异形同轴测试探针及其测试装置，一种异形同轴测试探针，包括异形钨针，异形钨针的钨针杆上包裹或者套有绝缘层，绝缘层上包裹或者套有无缝铜管。一种异形同轴测试探针测试装置，包括所述的异形同轴测试探针和探针安装臂。本发明的异形同轴测试探针经过处理后具备一定的弹性，可以有效的避免在扎针测试环节的虚接或过接的情况，有效的保护了测试钨针和晶圆，而且通过无缝铜管进行屏蔽和再次保护，使其具备卓越的防护和屏蔽性能，具有高度的可靠性和稳定性。异形同轴测试探针测试装置通过装备了所述异形同轴测试探针，从而具备了低噪声电气性能的高质量结构，可实现简便的开尔文四点测量，从而实现超低fA级电流和fF级电容测量。
一种异形同轴测试探针及其装置

[发明专利]一种多触点高电流高电压测试探针-CN202210404903.0在审
发明人：刘权;张海洋;刘伟;吕文波 -专利权人： 苏州伊欧陆系统集成有限公司
申请日： 2022-04-18 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：本发明公开了一种多触点高电流高电压测试探针，包括针板，所述针板前端设置有若干针脚，所述针板中间设置有多个限位孔和安装孔；所述多触点高电流高电压测试探针表面整体镀金处理。本发明采用多针脚设计，实现多点接触技术，从而实现电流均匀分配，而且针脚测试区域与测试焊盘的接触电阻极小，单次接触可实现同轴条件下高达10kV高电压和300A脉冲高电流的测量工作，无需多个探针，使高电流和高电压的测试工作更加的简单便捷。而且可以最大限度的减少测试探针和测试焊盘的损坏。
一种触点电流电压测试探针

[发明专利]一种低漏电耐高温陶瓷刀片测试探针-CN202210406331.X在审
发明人：刘权;张海洋;刘伟;吕文波 -专利权人： 苏州伊欧陆系统集成有限公司
申请日： 2022-04-18 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： G01R1/067 文献下载
摘要：本发明公开了一种低漏电耐高温陶瓷刀片测试探针，包括陶瓷刀片基底，所述陶瓷刀片基底的正面设置有第一铜衬底，所述第一铜衬底表面镀有金层形成第一覆金层，所述第一覆金层包括覆金引线和覆金焊盘，所述覆金焊盘设置在所述陶瓷刀片基底的前端、并通过耐高温材料焊接有铼钨针并实现电性连接，所述覆金引线从所述陶瓷刀片基底前端布置到其尾端实现信号传输。本发明采用陶瓷刀片基底为基础，在陶瓷刀片基底上设置有覆金层，测试探针采用铼钨针，并通过耐高温材料与覆金层进行焊接固定实现电性连接。通过覆金层良好的电学性能和热导性能，以及陶瓷刀片基底良好的热导性能，测试探针具备了良好的耐低温和耐高温性能。
一种漏电耐高温陶瓷刀片测试探针

[发明专利]一种应用于晶圆测试的无接触高度感应系统-CN202111634212.1在审
发明人：刘东;张海洋;刘伟;吕文波 -专利权人： 苏州伊欧陆系统集成有限公司
申请日： 2021-12-23 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明公开了一种应用于晶圆测试的无接触高度感应系统，包括计算机、信号转换器、传感器、测试仪表和探针台，计算机包括控制软件和服务器，计算机分别与信号转换器、测试仪表和探针台通信，测试仪表电性连接有若干测试探针，探针台包括载物台，载物台用于固定测试芯片；信号转换器用于接收传感器的模拟信号、并将模拟信号转换为数字信号后作为反馈信号发送给计算机的控制软件。本发明通过集成传感器和信号转换器形成无接触高度感应系统，再通过真空吸盘将测试芯片真空吸附固定，解决晶圆芯片测试时的翘曲和载物台的不平整所带来的测试难题，可大大提高晶圆测试的效率，降低集成电路的制造成本。
一种应用于测试接触高度感应系统

[发明专利]一种应用于探针台的自动喷液保护测试系统-CN202111608807.X在审
发明人：田腾腾;张海洋;刘伟;吕文波 -专利权人： 苏州伊欧陆系统集成有限公司
申请日： 2021-12-23 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种应用于探针台的自动喷液保护测试系统，包括探针台，探针台中间为测试口、其测试口下端设置有用于吸附待测试器件的真空吸盘，测试口上端外围固定有若干测试探针模块；测试口上端外围还固定有喷液模块，喷液模块包括喷液器，喷液器设置在测试口上方对待测试器件喷射绝缘液体，喷液模块通过控制器控制其喷液时间、喷液间隔时间和喷液模式，控制器与计算机通信，计算机包括控制软件，控制软件通过计算机与控制器通信以控制喷液器。本发明通过软件和硬件配合，可实现喷液器的自动喷液，自动喷出绝缘液体到大功率器件Pad上，在扎针接触前后保护探针和待测器件，避免因高压击穿打火所造成的损伤。
一种应用于探针自动保护测试系统

[外观设计]射频探针包装盒-CN202130806181.8有效
发明人：吕文波 -专利权人： 苏州伊欧陆系统集成有限公司
申请日： 2021-12-07 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： 09-03 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：射频探针包装盒。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于将存放晶圆测试用的射频探针，保障射频探针在运输过程的安全防护，保障产品完好。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状与图案的结合。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
射频探针包装

[实用新型]一种应用于探针台的多通道测试装置-CN202120902178.0有效
发明人：田腾腾;刘伟;张海洋;吕文波 -专利权人： 苏州伊欧陆系统集成有限公司
申请日： 2021-04-28 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种应用于探针台的多通道测试装置。包括工作台，工作台的台面上设置有显微镜位移台，其内部工作腔设置有探卡翻转位移台和晶圆卡盘机构；显微镜位移台包括三轴位移组件，其前端设置有显微镜机构；探卡翻转位移台包括探卡Y轴位移组件和若干探卡X轴位移组件，若干探卡X轴位移组件均通过探卡翻转机构滑动设置在探卡Y轴位移组件上；若干探卡X轴位移组件上均滑动设置有若干探卡机构，若干探卡机构均包括探卡四轴微调滑台和探卡；晶圆卡盘机构设置在探卡机构的下方。本实用新型可装备多组探卡机构，每个探卡机构均可在三维空间内进行大行程快速移动和小行程的精准定位，从而组成多通道测试装备，满足不同大小和高度芯片的扎针。
一种应用于探针通道测试装置

[实用新型]一种液氮环境载物装置及应用于晶圆测试的液氮手动探针台-CN202120902179.5有效
发明人：田腾腾;刘伟;张海洋;吕文波 -专利权人： 苏州伊欧陆系统集成有限公司
申请日： 2021-04-28 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本实用新型涉及集成电路测试技术领域，具体涉及一种液氮环境载物装置及应用于晶圆测试的液氮手动探针台。包括真空保温层，所述真空保温层上端设置有保温盖，所述保温盖和所述真空保温层内侧形成保温腔，所述真空保温层外侧和底部包裹有防护层，所述保温腔内设置有载物台，所述载物台上表面设置有用于定位和固定晶圆的晶圆固定件、四周开有用于安装传感器的若干sensor孔；所述保温盖上开有注液口、并通过上盖板盖住，所述防护层外侧和底部包裹有外壳，所述外壳下端固定有安装适配板。本实用新型通过真空保温层和保温盖构成的保温腔，可以有效的避免液氮的快速挥发，确保液氮注入后能够快速的进入稳定状态，方便进行液氮环境下的晶圆测试工作。
一种液氮环境装置应用于测试手动探针

[实用新型]一种高效芯片自动测试夹具-CN202120190559.0有效
发明人：田腾腾;刘伟;张海洋;吕文波 -专利权人： 苏州伊欧陆系统集成有限公司
申请日： 2021-01-22 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体测试夹具领域，具体涉及一种高效芯片自动测试夹具。包括真空吸盘，真空吸盘上表面开槽并在槽内设置有若干吸附台，若干吸附台通过芯片限位板套住对待测试芯片进行限位，真空吸盘下表面开有若干真空槽，并通过密封板进行密封形成若干真空腔，真空吸盘侧边有若干真空孔，若干真空孔与若干真空腔分别单独导通，若干吸附台上下开均有若干吸附孔，吸附孔与真空腔导通，真空吸盘上表面的若干吸附台与若干真空腔相互对应配合形成若干功能区，每个功能区的若干吸附台的形状和大小相同。通过真空吸附固定待测试芯片，吸附稳定性强，芯片不易偏移，无污染，而且便于装载和取出。使用范围广，测试效率高。
一种高效芯片自动测试夹具

[外观设计]单信号射频探针基座-CN202130331708.6有效
发明人：吕文波 -专利权人： 苏州伊欧陆系统集成有限公司
申请日： 2021-06-01 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： 14-03 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：单信号射频探针基座。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于高频测试探针的装载安装及高频测试探针测试信号的保护。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
信号射频探针基座

[实用新型]一种探针台温度控制系统-CN202120178900.0有效
发明人：赵晨光;刘伟;张海洋;吕文波 -专利权人： 苏州伊欧陆系统集成有限公司
申请日： 2021-01-22 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： G05D23/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体测试装置领域，具体涉及一种探针台温度控制系统。包括晶圆卡盘机构、冷水机、温控机、计算机和控制软件，晶圆卡盘机构包括晶圆卡盘、冷却盘机构和加热盘机构，晶圆卡盘用于固定待测试晶圆，晶圆卡盘内设置有若干温度传感器，冷水机为冷却盘机构提供循环冷媒介质实现制冷模式，温控机控制加热盘机构加热实现加热模式，计算机用于运行控制软件和采集温度传感器的数据、并分别与冷水机和温控机相互通讯；控制软件通过计算机驱动冷水机和温控机工作、并通过温度控制逻辑控制晶圆卡盘的温度。本实用新型集成度高，操作简单，通过硬件和控制软件，可提供精准的模拟温度。
一种探针温度控制系统

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