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- [发明专利]激光器装置及极端远紫外光生成装置-CN201680023276.9有效
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船冈幸治;成濑正史
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三菱电机株式会社
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2016-04-20
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2019-10-15
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H01S3/02
- 对于在基座框架上经由运动学安装件搭载有放大装置的激光器装置、和使用该激光器装置的极端远紫外(EUV)装置，使得即使在运动学安装件的构造中产生热膨胀及收缩，光轴也不变化，不会发生激光器的品质恶化的情况。运动学安装件(31～33)由具有0自由度、1自由度及2自由度的3点(O，A，B)构成，从与由上述3点构成的平面垂直的方向观察，激光(18)的向放大装置(28)射入的入射光轴或者从放大装置射出的出射光轴的延长线(SU、CT)朝向0自由度的点(O)，1自由度的点(A)的行进方向朝向0自由度的点(O)，相比于1自由度的点(A)的一侧，光轴的延长线从所述2自由度的点(B)的一侧通过。
- 激光器装置极端紫外光生成
- [发明专利]气体激光器装置-CN201480017479.8有效
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船冈幸治;松本康成
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三菱电机株式会社
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2014-03-06
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2017-12-29
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H01S3/036
- 本发明涉及通过激光气体的激励而产生激光的气体激光器装置，具有用于封入激光气体的框体。框体具有主体部(10)，其具有在两侧形成了开口部的框状构造；以及一对盖部件(30)，其以覆盖各开口部的方式可自由装卸地安装。主体部(10)具有上板(12)及下板(13)，其沿激光的光轴延伸；以及一对侧板(11)，其分别将上板(12)及下板(13)的两端连结。各盖部件(30)具有局部圆筒部件(31)，其在与光轴垂直的平面内具有圆弧状的剖面形状，沿光轴延伸；以及一对侧壁部件(32)，其对局部圆筒部件(31)的两端进行闭塞。局部圆筒部件(31)具有将高部和低部沿光轴相连地成型而得到的波纹部(4)。通过上述结构，即使框体大型化，也能够实现轻量且低成本的盖构造。
- 气体激光器装置
- [发明专利]鼓风机装置以及气体激光振荡装置-CN201180070960.X有效
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船冈幸治;中山敬之;京藤友博
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三菱电机株式会社
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2011-06-09
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2014-01-29
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F04D29/64
- 本发明提供一种鼓风机装置（10），其具备马达（1）、动翼（3）、鼓风机壳体（4）、将被突出地设置在鼓风机壳体（4）的外周部的安装部（41）安装在被配置于安装部（41）的吸入口侧的鼓风机支撑部件（6）的弹性部件（7）、和在安装部（41）的吸入口侧被设置在鼓风机壳体（4）的外周部全周的法兰部（42）。弹性部件（7）在与旋转轴（2）大致正交的同一平面内被配置3个或3个以上，且在各弹性部件（7）的旋转轴方向两端部具有与旋转轴（2）大致正交的粘接面（73A、73B），在一方的粘接面（73A）上通过粘接固定安装部（41），在另一方的粘接面（73B）上通过粘接固定鼓风机支撑部件（6）。法兰部（42）被设置成，经比弹性部件（7）的旋转轴方向的厚度小的缝隙与鼓风机支撑部件（6）面对面。
- 鼓风机装置以及气体激光振荡
- [发明专利]气体激光振荡器-CN200980157374.1有效
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船冈幸治;长谷川正彦;杉原和郎
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三菱电机株式会社
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2009-05-19
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2012-01-25
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H01S3/03
- 本发明的气体激光振荡器具有振荡器箱体、一对光学基台、一对波纹管及弹性构件，该一对光学基台设置在振荡器箱体的两侧，由在光轴方向延伸的多个支承杆相互平行地连接，分别对构成光共振器的光学部件进行支承；该一对波纹管及弹性构件连接一对光学基台与振荡器箱体之间，振荡器箱体具有主体部和盖部，该主体部由框状的金属材料构成，具有在光轴方向隔开间隔配置的一对侧板，以及分别连接侧板的上端之间与下端之间的在光轴方向延伸的上板(12)及下板(13)；该盖部由金属材料构成，具有外壁(31)和侧壁，并将主体部的各个开口闭塞，该外壁(31)在光轴方向延伸并且与光轴垂直的截面具有圆弧形状，该侧壁连接到外壁(31)的光轴方向的两端部；形成圆弧状的外壁(31)，以便当由固定构件将盖部固定于主体部时，在盖部的与主体部的连接部产生朝振荡器箱体的外侧的高度方向的力。
- 气体激光振荡器
- [发明专利]激光光源模块-CN200880128079.9有效
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玉谷基亮;难波织世;中村聪;福田圭一;船冈幸治;川上学;冈村将光
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三菱电机株式会社
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2008-03-18
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2011-02-09
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H01S3/042
- 在构成具备搭载了固体激光器元件、激励光源和波长变换元件的散热器、以及支撑散热器的晶体管管座的激光光源模块时，将散热器分割成3个块、即在上表面搭载了固体激光器元件用的激光振荡部的第1块、在上表面搭载了射出激光振荡部用的激励光的半导体激光器元件和第1温度传感器并在规定的面搭载了第1加热器的第2块、以及在上表面搭载了对激光振荡部振荡出的基波激光进行波长变换的波长变换元件和第2温度传感器并在规定的面搭载了第2加热器的第3块，仅将第2块利用该第2块的侧面或者底面而固定到晶体管管座，在第2块的另一个侧面固定第1块，在第1块的侧面固定第3块，从而实现小型化以及各元件的位置精度的提高。
- 激光光源模块
- [发明专利]激光振荡器-CN200780051287.9有效
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船冈幸治;长谷川正彦;松本康成;玉谷基亮
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三菱电机株式会社
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2007-04-20
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2009-12-16
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H01S3/101
- 提供激光振荡器，在具有用于确认加工点、调整光路的光学系统的激光振荡器中即使框体热变形，引导光的光轴也不变化。具备：框体(10)；通过在光轴方向上延伸存在的三个支撑棒(24～26)相互平行连接的分别支撑构成光共振器(20)的光学部件的一对光学基台(21，22)；一对波纹管，连接光学基台(21，22)和框体(10)之间；连结构件(31)，对于框体(10)悬挂光学基台(21，22)；引导光光源(27)，输出用于进行从部分反射镜(23)到加工头之间的光路中的光学部件调整及加工点调整的引导光；和光学部件支撑构件(40)，具有导入激光的光学部件，引导光光源(27)设置于具备部分反射镜(23)的光学基台(22)。
- 激光振荡器
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