专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]金属薄膜复合制备装置及工艺-CN200510120798.4无效
  • 马胜歌;张德元;耿漫;赵和平 - 深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心
  • 2005-12-12 - 2006-06-28 - C23C14/22
  • 本发明公开了一种金属薄膜复合制备装置及工艺,要解决的技术问题是在工件表面快速沉积结合力好、纯度高的金属薄膜,本发明的金属薄膜复合制备装置,镀膜室体内设有蒸发源和工件转架,镀膜室体中设有磁控溅射源,工件转架设置在磁控溅射源和蒸发源之间,其制备工艺包括以下步骤:镀膜室体内抽真空;真空度小于1×10-2Pa后,向镀膜室体内充入氩气至真空度在3×10-2Pa~1Pa之间,在工件表面磁控溅射沉积金属膜;开启蒸发源在磁控溅射金属镀层上蒸镀同类金属,本发明与现有技术相比,沉积金属膜时先采用磁控溅射工艺,然后用真空蒸镀工艺,利用磁控溅射、真空蒸镀各自的优点,使膜纯度提高,与基体的结合力增强,进一步提高真空镀膜产品的质量。
  • 金属薄膜复合制备装置工艺
  • [发明专利]单MEVVA离子源渗注镀复合处理工艺-CN200410077215.X有效
  • 张德元;费勤勇;赵豪民;耿漫;马胜歌 - 深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心
  • 2004-12-01 - 2005-10-05 - C23C14/48
  • 本发明公开了一种单MEVVA离子源渗注镀复合处理工艺,要解决的技术问题是提高离子注入效率,本发明包括以下步骤:1.将工件装上工件架后,真空炉体内抽真空至5×10-3Pa以上;2.向真空炉体内充入气体使其真空度降至1.0×10-2至7.0×10-2Pa之间;3.开启离子源,调节充入气体,使真空度保持在金属离子与通入的气体原子的平均自由程为离子源到工件距离的1/10至1/2;4.达到离子1.5×1017ions/cm2至3.5×1017ions/cm2的注入剂量后,关离子源,本发明与现有技术相比,在真空弧离子源MEVVA离子注入机内充入气体,调节充入气体可实现多元共注,实现离子注入和表面镀膜,提高了工件注入层表面性能、功效和工艺稳定性,适用于需要提高表面硬度、耐腐蚀性的工件。
  • mevva离子源渗注镀复合处理工艺
  • [发明专利]立式强流大束斑金属工业离子注入机-CN92100533.4无效
  • 耿漫 - 核工业西南物理研究院
  • 1992-02-13 - 1993-08-18 - C23C14/48
  • 本发明注入机属电物理装置,涉及离子注入金属材料表面改性技术。注入机束线采用立式,使用强流大束斑离子源,工件靶利用直冷式三维传动。与现有技术相比,结构简单,容易操作,装机容量增加,生产效率高,成本降低,节约能源,可满足大批量工业生产的需要。利用本发明的注入机对金属材料表面进行离子注入改性表明,在改善刀具、模具、钛人造关节等耐磨损、耐腐蚀性方面已取得显著效果,可使被处理的工件使用寿命成倍地提高。
  • 立式强流大束斑金属工业离子注入
  • [实用新型]立式强流大束斑金属工业离子注入机-CN92202269.0无效
  • 耿漫 - 核工业西南物理研究院
  • 1992-02-13 - 1992-07-08 - C23C14/48
  • 本实用新型注入机属电物理装置,涉及离子注入金属材料表面改性技术。注入机束线采用立式,使用强流大束斑离子源,工件靶利用直冷式三维传动。与现有技术相比,结构简单,容易操作,装机容量增加,生产效率高,成本降低,节约能源,可满足大批量工业生产的需要。利用本装置的注入机对金属材料表面进行离子注入改性表明,在改善刀具、模具、钛人造关节等耐磨损、耐腐蚀性方面已取得显著效果,可使被处理的工件使用寿命成倍地提高。
  • 立式强流大束斑金属工业离子注入

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