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[发明专利]多节点多用途O形环及制作密封的方法-CN201980047438.6有效
发明人： S·P·马赫什瓦里;耀鸿·杨;李王辉;于安伟文;阿尼鲁达·帕尔;汤姆·K·乔;廖建民 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-06-19 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： F16J15/02 文献下载
摘要：提供了一种密封构件，该密封构件包括多个节点及多个腹点。每个密封构件可以被旋转以暴露未损伤的叶状物以供进行密封，且防止密封构件掉出叶状沟槽。提供了一种腔室，该腔室包括沟槽，密封构件被安置在该沟槽中。提供了一种旋转及安置密封构件的方法，该方法包括以下步骤：旋转以暴露密封构件的未损伤部分。
节点多用途制作密封方法

[外观设计]用于气相沉积腔室中喷头与水箱组件的密封件-CN202130375279.2有效
发明人： 耀鸿·杨;埃里克·鲁兰;索拉布·M·乔达里;迪-业·吴;菲利普·韦恩·纳格尔;阿尼茹达·帕;苏希尔·R·冈德哈勒卡尔;锡亚马克·萨利米安;斯科特·林;陈文森 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-06-17 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： 08-08 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：用于气相沉积腔室中喷头与水箱组件的密封件。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用作用于气相沉积腔室中喷头与水箱组件的密封件。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。5.使用状态参考图是在喷头与水箱组件（以假想线绘制）的一部分中示出的密封件的使用状态参考图。6、使用状态参考图中具有“‑ ‑ ‑”配置的虚线和假想线图示密封件和/或喷头与水箱组件的不要求保护的部分，并且不构成所要求保护的设计的部分。
用于沉积腔室中喷头水箱组件密封件

[发明专利]基板支撑轴衬-CN201280046491.2有效
发明人：涛·侯;吴正勋;汤姆·K·崔;安德兹·马特洛萨;弗兰克·F·霍斯德里安;耀鸿·杨 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2012-10-01 - 公布日： 2016-11-23 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明大体而言提供一种用于支撑处理腔室内的基板的轴衬组件。在一个方面中，轴衬组件包含管状主体，所述管状主体具有外周长及延伸穿过所述外周长的孔；具有第一内边缘的第一环，所述第一环安置在管状主体的上部分中的孔中；及具有第二内边缘的第二环，所述第二环安置在管状主体的下部分中的孔中。在另一方面中，第一内边缘具有第一曲率半径，且第二内边缘具有第二曲率半径。在另一方面中，第一内边缘直径、第二内边缘直径、第一曲率半径及第二曲率半径经选择以使得延伸穿过孔的支撑销在最多两个点上接触轴衬组件。
支撑轴衬