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- [实用新型]一种炉管辅助安装治具-CN202321716963.2有效
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薛海建;巩雨锋
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粤芯半导体技术股份有限公司
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2023-07-03
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2023-10-27
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B25B27/00
- 本实用新型提供了一种炉管辅助安装治具，该炉管辅助安装治具包括用于辅助将一炉管安装或者拆卸至立式扩散炉的预设位置处，其特征在于，包括：底座；移动部；弹性件；测量组件，包括测量部，连接至所述底座或移动部，所述测量部沿所述移动部的运动方向设置，以对所述炉管随所述移动部运动的位置进行标记，使得所述炉管安装或者拆卸至所述立式扩散炉的预设位置处。本实用新型通过设置测量部和弹性件，在对立式扩散炉进行保养时，通过将内管安装或者拆卸时需要移动的距离进行测量并标记，能够将内管一次安装到预设的位置处，能够避免对立式扩散炉的其他部件造成损坏，提高了内管安装的效率。
- 一种炉管辅助安装
- [实用新型]一种气泡水平仪-CN202320964854.6有效
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胡淳铭
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粤芯半导体技术股份有限公司
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2023-04-25
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2023-10-27
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G01C9/24
- 本申请实施例提供的气泡水平仪中，包括三角形框架以及位于三角形框架框架一侧的支撑座，且支撑座均位于框架的顶点；三角形框架的每条边中心位置开设有气泡腔体，气泡腔体内设有水平识别气泡。其中，当采用本申请实施例的气泡水平仪对转移部件进行水平测试时，将气泡水平仪直接放置在转移部件上，通过观察水平识别气泡，即可判断转移部件是否处于水平态。需要说明的是，由于转移部件的端部呈弧形，因此本申请实施例采用三角形框架的设计，并在三角形框架的顶点处设置支撑座，从而更利于气泡水平仪维持稳定，进而有利于提高水平测试的精度。
- 一种气泡水平仪
- [发明专利]线宽测量方法-CN202311195651.6在审
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石方毅;曾辉;李贵琦
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粤芯半导体技术股份有限公司
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2023-09-18
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2023-10-24
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G03F7/20
- 本发明提供一种线宽测量方法，先从多个测试图形中选取部分包含光学临近效应的测试图形作为量测点图形，并获取量测点图形的位置信息；通过量测点图形的位置信息建立自动测量程序以获取量测点图形对应的晶圆数据，晶圆数据包括量测点图形对应在晶圆上的实际量测点图形的线宽；通过晶圆数据建立光刻模型，以通过光刻模型形成新的版图，新的版图包括多个新的测试图形；获取新的测试图形的位置信息，并通过新的测试图形的位置信息建立新的自动测量程序以获取新的测试图形对应的新的晶圆数据，新的晶圆数据包括新的测试图形对应在晶圆上实际图形的线宽。仅需建立一个自动测量程序就可以实现测量晶圆上的实际图形的线宽，可以提高线宽测量的成功率。
- 测量方法
- [发明专利]半导体器件制备方法-CN202311188426.X在审
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朱红波;张哲;高向阳
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粤芯半导体技术股份有限公司
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2023-09-15
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2023-10-24
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H01L21/8234
- 本发明提供一种半导体器件制备方法，包括步骤：制备得到半导体结构，所述半导体结构包括半导体材料的基底及位于基底内，且显露于基底表面的有源区，以及位于基底上表面或基底内的栅极；于有源区表面和栅极表面涂布金属前驱物以形成金属前驱物材料层；进行预设时长的热烘，以于有源区和金属前驱物材料层的界面处以及栅极和金属前驱物材料层的界面处形成初始欧姆接触层；去除未反应的金属前驱物材料；进行热退火，以使初始欧姆接触层成为低阻值欧姆接触层。相较于现有技术，本发明不仅流程极大简化，可以显著降低生产成本，而且热处理温度显著降低，有助于减少乃至避免器件损伤及减少金属的横向扩散，从而提高生产良率。
- 半导体器件制备方法
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