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[发明专利]高频等离子体源装置-CN200610130989.3有效
发明人：托马斯·基希迈尔;米夏埃多·格吕克;克里斯托夫·格哈特;埃克哈德·曼;克里斯托夫·霍夫施泰特尔;格尔德·欣茨 -专利权人：许廷格电子两合公司
申请日： 2006-10-17 - 公布日： 2007-10-17 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于控制和/或调节一个高频等离子体源装置(1、21)的输出功率的方法，包括：a.分别通过一个高频发生器(6、7、24－26)产生至少一个第一和一个第二高频功率信号；b.根据高频功率信号的相位和/或电平，将至少两个高频功率信号耦合为一个已耦合高频功率；c.使已耦合高频功率分成一个输送到等离子体负载(2)的等离子体功率和一个输送到补偿负载(10、32)的补偿功率；d.这样控制和/或调节高频功率信号的电平和/或相位，即，对于在预给定的下功率极限与预给定的额定功率之间范围内的等离子体功率，已耦合高频功率的一个非主要部分构成补偿功率，而对于在预给定的下功率极限以下的等离子体功率，已耦合高频功率的一个主要部分构成补偿功率。
高频等离子体装置

[发明专利]真空等离子体发生器-CN200610058962.8有效
发明人： 米夏埃多·格吕克;克里斯托夫·霍夫施泰托尔;格尔德·欣茨 -专利权人：许廷格电子有限及两合公司
申请日： 2006-03-09 - 公布日： 2006-09-13 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明涉及一种真空等离子体发生器(1，1a，60)，用于处理真空室(17)中的工件，包括：电源连接端(2)，用于连接到电压供应网络；至少一个电源整流器(3)，其连接到至少一个第一转换器(4，4a)，用于产生至少一个中间电路电压；第一射频信号发生器(6，7，20，40，50)，其连接到该至少一个中间电路电压，用于产生具有基频和第一相位位置的第一信号，该第一信号尤其是在1至30MHz范围内；第二射频信号发生器(6，7，20，40，50)，其连接到中间电路电压，用于产生具有基频和第二相位位置的第二信号；至少一个3dB耦合器(13，77－91)，用于将该第一和第二信号耦合成输出信号，并将该输出信号间接或直接传送到发生器输出端(14，92)。
真空等离子体发生器