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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种用于制造二极管的扩散炉设备-CN202020817750.9有效
  • 章锦仙;黄赛琴;陈轮兴 - 福建安特微电子有限公司
  • 2020-05-15 - 2021-02-02 - H01L21/67
  • 一种用于制造二极管的扩散炉设备，包括：石英管、移动套筒装置、冷却盘；所述石英管内设有镀金的硅片；所述移动套筒装置，包括：套筒和设在所述套筒底部的支撑装置；所述套筒与所述石英管的出口对接；所述冷却盘设置在的所述移动套筒装置的套筒的出口处。石英管的长度是移动套筒装置的套筒的长度的两倍。本实用新型的扩散炉管增加可移动的石英套筒装置，正常石英管的出炉温度在低温下300℃‑500℃左右可直接出片，金扩散需求在大于900℃的高温下出片，防止出现金析出现象，可移动的石英套筒装置可实现在高温下将硅片移动到套筒中，实现快速降温，又防止了内外温差大出现硅片裂痕的情况。
  • 一种用于制造二极管扩散设备
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  • 共 1 条
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