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- [实用新型]MEMS传感器和电子设备-CN202023090827.6有效
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穆洪峰
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歌尔微电子有限公司
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2020-12-18
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2021-08-31
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H04R19/04
- 本申请实施例提供了一种MEMS传感器和电子设备,包括基板、壳体、MEMS芯片和挡片。所述壳体盖设在所述基板上形成容纳腔,所述壳体远离所述基板的一侧设置有气孔,所述MEMS芯片设置于所述容纳腔内并与所述气孔至少部分正对,所述挡片至少部分设置于所述气孔和所述MEMS芯片之间,并至少遮挡所述气孔与所述MEMS芯片正对的部分。本申请实施例提供的所述MEMS传感器通过将所述挡片的至少部分设置于正对的所述气孔和所述MEMS芯片之间,以有效地降低通过所述气孔的外部冲击对所述MEMS芯片的影响,提升了所述MEMS传感器的性能稳定性和可靠性。
- mems传感器电子设备
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