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- [实用新型]热丝用调节治具-CN202320234676.1有效
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张勇;杨福满;张海涛;刘顺;赵步举;程培勇;谭晓华
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深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
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2023-02-02
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2023-08-01
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C23C16/448
- 本实用新型公开了热丝用调节治具,用于对热丝的安装位置进行调节。其中,热丝具有两个端部和一个中间部,两个所述端部相互对置,两个所述端部与所述中间部的夹角为90°,并且,所述中间部沿水平方向延伸,两个所述端部分别被紧固装置固定。所述热丝用调节治具包括:调节板,可保持所述热丝,所述调节板上设置有至少一个第一抵接面和至少一个第二抵接面,所述第一抵接面和所述第二抵接面平行且沿垂直于所述第一抵接面的方向具有预设的距离,所述热丝的两个所述端部在所述中间部抵接所述第一抵接面且所述紧固装置抵接所述第二抵接面的状态下,被紧固到所述紧固装置。本实用新型的热丝用调节治具能够在安装热丝时,提高热丝的安装精度。
- 热丝用调节
- [发明专利]镀膜生产线-CN202310125234.8在审
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余仲;谭晓华;刘顺;张海涛;赵步举;杨福满;程培勇
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深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
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2023-02-02
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2023-06-06
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C23C16/448
- 本发明公开了一种镀膜生产线,能够实现PECVD镀膜设备与HWCVD镀膜设备的连线,提高产能,降低成本。镀膜生产线,包括:卧式HWCVD设备,包括第一腔体、热丝模块以及第一水平运输机构,第一腔体设有第一镀膜腔,且第一腔体的前侧部设有第一进口,热丝模块设置于第一镀膜腔的内部,热丝模块包括多个热丝组件,多个热丝组件在水平方向上呈阵列式排布,每个热丝组件均包括热丝,每根热丝均包括第一竖向段、第二竖向段以及横向段,第一水平运输机构设置于第一镀膜腔的内部;卧式PECVD设备,包括设有第二镀膜腔的第二腔体、以及设置于第二镀膜腔内的第二水平运输机构,第二腔体的后侧部设有第二出口,第二出口与第一进口相互连通。
- 镀膜生产线
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