专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]适用于紫外线灯照射台的吸尘装置-CN202320982746.1有效
  • 秦贵明;赵兴 - 上海华力微电子有限公司
  • 2023-04-26 - 2023-10-20 - B08B15/04
  • 本实用新型提供了一种适用于紫外线灯照射台的吸尘装置,紫外线灯照射台包括坦克链外壳以及位于坦克链外壳之下的灯箱,吸尘装置包括:环形吸尘管、抽风管以及排气装置,环形吸尘管位于坦克链外壳与灯箱之间,环形吸尘管上设有若干个供颗粒物进入的孔洞,环形吸尘管与抽风管的上游端连通,抽风管的下游端与排气装置连接,排气装置中设有抽风机。本实用新型可以吸走坦克链和坦克链外壳摩擦产生的颗粒物,使工作台整洁,保证工作台正常工作,提高晶圆质量,并且保护操作人员的身体健康。
  • 适用于紫外线照射吸尘装置
  • [实用新型]外延工艺腔穹顶监测结构-CN202321356849.3有效
  • 秦贵明;赵兴 - 上海华力集成电路制造有限公司
  • 2023-05-30 - 2023-09-19 - C30B25/16
  • 本实用新型公开了一种外延工艺腔穹顶监测结构,穹顶包括上下穹顶,都由透明的石英组成;监测结构包括:摄像头、安装部件和冷却部件。安装部件固定在穹顶上。摄像头固定安装在安装部件上,摄像头的镜头对准穹顶并对实时收集穹顶内部的图像。冷却部件包覆摄像头并用于对摄像头进行冷却。本实用新型能对穹顶内部部件或内部表面膜层进行实时监控,从而能避免开腔检测以及避免开腔对机台的运行时间损失,提高生产效率。
  • 外延工艺穹顶监测结构

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