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[发明专利]反射光学元件-CN201980097686.1有效
发明人：小川新平;岛谷政彰;福岛昌一郎 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2019-06-20 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G02F1/29 文献下载
摘要：反射光学元件(1)具备绝缘层(3)、格子群(5)、背面电极(21)以及电压施加部(23)。格子群(5)包括具备格子(7i)和格子(7j)的多个格子(7)。多个格子(7)分别具有层叠电介质层(11)和石墨烯层(13)的构造。电压施加部(23)具有对格子群(5)分别单独地施加电压的功能。电压施加部(23)包括对格子(7i)施加第1电压的电压施加部(23i)和对格子(7j)施加第2电压的电压施加部(23j)。
反射光学元件

[发明专利]电磁波检测器以及电磁波检测器阵列-CN202180071357.7在审
发明人：岛谷政彰;小川新平;福岛昌一郎;奥田聪志 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2021-08-24 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： G01J1/02 文献下载
摘要：电磁波检测器(100)具备半导体层(4)、二维材料层(1)、第1电极部(2a)、第2电极部(2b)以及铁电体层(5)。二维材料层(1)与半导体层(4)电连接。第1电极部(2a)与二维材料层(1)电连接。第2电极部(2b)经由半导体层(4)与二维材料层(1)电连接。铁电体层(5)与第1电极部(2a)、第2电极部(2b)以及半导体层(4)的至少任意一个电连接。电磁波检测器(100)构成为对于二维材料层(1)屏蔽从铁电体层(5)产生的电场。或者，铁电体层(5)被配置成在俯视时与二维材料层(1)不重叠。
电磁波检测器以及阵列

[发明专利]电磁波检测器以及电磁波检测器阵列-CN202180055848.2在审
发明人：小川新平;岛谷政彰;福岛昌一郎;奥田聪志 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2021-05-13 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： H01L31/10 文献下载
摘要：电磁波检测器具备至少1个光电变换元件和以与至少1个光电变换元件对置的方式配置的等离子体滤波器(3)。在等离子体滤波器(3)周期性地形成有多个贯通孔(30)。至少1个光电变换元件具备：半导体层(2)，具有在俯视时与多个贯通孔中的至少1个贯通孔重叠的区域(20)；绝缘层(4)，以覆盖区域(20)的一部分的方式形成；二维材料层(1)，配置于区域(20)的其他一部分以及绝缘层(4)上并且与区域(20)的其他一部分电连接；第1电极部(5)，与二维材料层(1)电连接；以及第2电极部(6)，与半导体层(2)电连接。
电磁波检测器以及阵列

[发明专利]电磁波检测器以及电磁波检测器组件-CN202180038946.5在审
发明人：小川新平;岛谷政彰;福岛昌一郎;奥田聪志 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2021-03-10 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H01L31/108 文献下载
摘要：电磁波检测器(100)具备半导体层(4)、第1绝缘膜(3a)、二维材料层(1)、第1电极(2a)、第2电极(2b)、第2绝缘膜(3b)和控制电极(2c)。第1绝缘膜(3a)配置于半导体层(1)上。在第1绝缘膜(3a)形成有开口部(OP)。二维材料层(1)在开口部(OP)电连接于半导体层(4)。二维材料层(1)从开口部(OP)上延伸直至第1绝缘膜(3a)。第2绝缘膜(3b)与二维材料层(1)相接。控制电极(2c)隔着第2绝缘膜(3b)连接于二维材料层(1)。
电磁波检测器以及组件

[发明专利]电磁波检测器以及电磁波检测器阵列-CN202180040678.0在审
发明人：岛谷政彰;小川新平;福岛昌一郎;奥田聪志 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2021-03-10 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： H01L31/108 文献下载
摘要：电磁波检测器具备：半导体层(4)；二维材料层(1)，与半导体层电连接；第1电极部(2a)，不经由半导体层而与二维材料层电连接；第2电极部(2b)，经由半导体层(4)与二维材料层电连接；以及铁电体层(5)，与二维材料层的至少一部分接触。
电磁波检测器以及阵列

[发明专利]电磁波检测器、电磁波检测器阵列以及电磁波检测器的制造方法-CN202080098843.3在审
发明人：奥田聪志;小川新平;福岛昌一郎;岛谷政彰 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2020-03-27 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： H01L31/108 文献下载
摘要：电磁波检测器(100A)具备：半导体基板(1)；第1绝缘膜(2)，配置于半导体基板上，并且以使半导体基板的一部分露出的方式形成；第1电极(3)，配置于第1绝缘膜上；二维材料层(5)，具有在半导体基板的一部分与半导体基板肖特基接合的接合部(12)，从接合部经由第1绝缘膜之上而延伸至第1电极；第2电极(6)，与半导体基板接触；以及控制电极(7)，在俯视时配置于接合部的周围的至少一部分，并且与半导体基板肖特基接合。
电磁波检测器阵列以及制造方法

[发明专利]电磁波检测器以及电磁波检测器集合体-CN202080085891.9在审
发明人： 福岛昌一郎;岛谷政彰;奥田聪志;小川新平 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2020-07-30 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： H01L31/10 文献下载
摘要：电磁波检测器具备：半导体层(4)，形成有台阶部(40)，且对于检测波长具有灵敏度；绝缘膜(3)，配置于台阶部(40)上，且设置有使台阶部(40)的一部分露出的开口部(3a)；二维材料层(1)，配置于绝缘膜(3)以及开口部(3a)上，且具有在开口部(3a)与半导体层(4)电连接的连接区域(1c)；第1电极部(2a)，配置于绝缘膜(3)上，与二维材料层(1)电连接；以及第2电极部(2b)，配置于半导体层(4)上，经由二维材料层(1)的连接区域(1c)而与第1电极部(2a)电连接。
电磁波检测器以及集合体

[发明专利]电磁波检测器-CN202080047788.5在审
发明人：岛谷政彰;小川新平;福岛昌一郎;奥田聪志 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2020-03-26 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： H01L31/10 文献下载
摘要：检测灵敏度高并且能够进行关断动作的使用二维材料层的电磁波检测器具备受光元件(4)、绝缘膜(3)、二维材料层(1)、第1电极部(2a)以及第2电极部(2b)。受光元件(4)包括第1导电类型的第1半导体部分(4a)和第2半导体部分(4b)。第2半导体部分(4b)与第1半导体部分(4a)接合。第2半导体部分(4b)是第2导电类型。绝缘膜(3)配置于受光元件(4)上。在绝缘膜(3)形成有开口部(3a)。二维材料层(1)在开口部(3a)与第1半导体部分(4a)电连接。二维材料层(1)从开口部(3a)上延伸至绝缘膜(3)上。第1电极部(2a)配置于绝缘膜(3)上。第1电极部(2a)与二维材料层(1)电连接。第2电极部(2b)与第2半导体部分(4b)电连接。
电磁波检测器

[发明专利]电磁波检测器以及电磁波检测器阵列-CN201980031374.0在审
发明人： 福岛昌一郎;岛谷政彰;小川新平 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2019-02-28 - 公布日： 2021-01-29 - 主分类号： H01L31/10 文献下载
摘要：电磁波检测器(100)包括：基板(5)，具有表面和背面；绝缘层(4)，设置于基板(5)的表面上，由稀土类氧化物构成；一对电极(2)，设置于绝缘层(4)之上，隔开间隔相对配置；以及二维材料层(1)，在绝缘层(4)之上以与一对电极(2)电连接的方式设置。稀土类氧化物包含由第1稀土类元素的氧化物构成的母材和在母材中被活化的、与第1稀土类元素不同的第2稀土类元素。
电磁波检测器以及阵列

[发明专利]使用石墨烯的电子器件、该使用石墨烯的电子器件的制造方法以及具备该使用石墨烯的电子器件的电磁波检测器-CN201980018111.6在审
发明人：岛谷政彰;小川新平;福岛昌一郎 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2019-01-09 - 公布日： 2021-01-26 - 主分类号： H01L31/10 文献下载
摘要：具备：形成催化金属(42)的工序；形成催化金属(40)的工序；以使催化金属(42)及催化金属(40)的上表面露出的方式形成保护膜(22)的工序；在露出的催化金属(42)及催化金属(40)之上形成石墨烯层(30)的工序；以覆盖石墨烯层(30)的方式形成绝缘膜(20)的工序；在绝缘膜(20)上形成基板(10)的工序；以及去除催化金属(42)的工序，能够减少向石墨烯层的工艺损伤，能够提高性能。
使用石墨电子器件制造方法以及具备电磁波检测器

[发明专利]电磁波检测器以及具备该电磁波检测器的电磁波检测器阵列-CN201880089720.6在审
发明人：小川新平;岛谷政彰;福岛昌一郎 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2018-08-28 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： H01L31/112 文献下载
摘要：电磁波检测器(1)具备：绝缘膜(22)，具有第1面和与第1面对置的第2面；包含第1二维原子层材料的第1层(40)，由于被入射的电磁波而进行光电变换，电位发生变化；以及包含第2二维原子层材料的第2层(30)，设置于第1面上，经由绝缘膜(22)被提供电位的变化，产生电量的变化。由此，检测入射的电磁波作为电量的变化，能够提供针对入射的电磁波的响应速度快的高灵敏度的电磁波检测器(1)。
电磁波检测器以及具备阵列

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