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[发明专利]采用分布式多电极测量微/纳机电系统振动模态的方法-CN202310538946.2在审
发明人：刘汝盟;祝广飞;王立峰 -专利权人：南京航空航天大学
申请日： 2023-05-15 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G01H11/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种采用分布式多电极测量微/纳机电系统振动模态的方法，以解决现有技术中难以实现对微/纳机电系统的各阶振型与频率进行准确测量的问题。本发明通过在预设有一维/二维微/纳机电系统振动部件下方集成分布式电极，再通过激励电极对振动部件扫频得到振动部件的待定共振频率，最后以待定共振频率进行定频激振，测量振动部件不同位置的响应信号，将响应信号进行快速傅里叶变换并结合插值算法准确绘制出振动部件的各阶频率与振型，最终得到微/纳机电系统振动部件的前n阶振动模态信息。本发明具有测量设备与环境要求低，高精度，成本和操作难度低等特点，适应在微机电、纳机电系统中推广使用。
采用分布式电极测量机电系统振动方法

[发明专利]通过离面振动实现纳米材料摩尔纹结构动态调控的方法-CN202310234279.9在审
发明人：刘汝盟;祝广飞;王立峰 -专利权人：南京航空航天大学
申请日： 2023-03-13 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： B81C3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种通过离面振动实现纳米材料摩尔纹结构动态调控的方法，步骤如下：制备扭转二维纳米材料，将扭转二维纳米材料转移至含电极的衬底结构，制备以扭转二维纳米材料为振动部件的纳米谐振器；对纳米谐振器施加直流偏置电压和交变电压，使二维谐振腔在垂直于平面的方向产生振动并通过改变输入直流偏置电压的大小使二维谐振腔产生稳定的共振响应；改变输入交变电压的频率与幅值使扭转二维纳米材料的振幅与频率改变，扭转二维纳米材料在达到一定振幅的振动时，摩尔纹结构发生连续性变化。本发明方法将摩尔纹结构的调控与二维扭转材料的离面振动相关联，通过调节离面激振力大小和频率对摩尔纹结构进行精确调控，调控方法简单，易于实现。
通过振动实现纳米材料摩尔结构动态调控方法