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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]夹持基片的方法和装置-CN02144466.8无效
  • 石田修也 - 日新电机株式会社
  • 2002-09-28 - 2003-04-16 - H01J37/317
  • 一种夹持基片的装置，它包括用于以静电方法夹紧和夹持基片的一个静电卡盘；用于将直流夹紧电压加在所述静电卡盘上的夹紧电源；机械驱动所述静电卡盘的卡盘驱动装置；和通过将指令信息加在所述卡盘驱动装置上，控制所述卡盘驱动装置的运动和驱动控制部件。该装置还包括一个夹紧控制部件，它根据从驱动控制部件加在卡盘驱动装置上的指令信息，计算在所述静电卡盘机械运动时，所夹持的基片经受的在每一个时刻的加速度。另外，还可利用计算的加速度，计算在每一个时刻，夹紧基片所需的夹紧力；并可根据计算的夹紧力，改变从夹紧电源输出的夹紧电压，使静电卡盘产生计算的夹紧力。
  • 夹持方法装置
  •  1 
  • 共 4 条
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