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[实用新型]一种12吋晶圆盒门体解锁机构-CN202120696627.0有效
发明人： 石春潮;蒋红光 -专利权人：嘉兴微拓电子科技股份有限公司
申请日： 2021-04-07 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提出一种12吋晶圆盒门体解锁机构，包括支承装配组件、吸合定位组件、插接定位组件、插接解锁组件及解锁驱动组件，支承装配组件安装于移动机构上，支承装配组件上具有安装空间，吸合定位组件安装于支承装配组件上，并与晶圆盒门体的外壁表面配合，插接定位组件安装于支承装配组件上，并与晶圆盒门体中的插接结构配合，插接解锁组件安装于支承装配组件上，并与晶圆盒门体中的锁定结构配合，解锁驱动组件安装于支承装配组件上，并通过传动结构与插接解锁组件衔接，该解锁机构通过驱动电机带动解锁钥匙转动解锁钥匙转动，对晶圆盒门体进行解锁，晶圆盒门体在解锁后可随支承基板一同移走，将晶圆盒打开，操作便捷，有利于提升工作效率。
一种 12 吋晶圆盒门体解锁机构

[实用新型]一种12吋晶圆盒自动解锁装置-CN202120711321.8有效
发明人：张旭东;石春潮 -专利权人：嘉兴微拓电子科技股份有限公司
申请日： 2021-04-07 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提出一种12吋晶圆盒自动解锁装置，包括支承装配组件、盒体定位组件、竖向移动组件、横向移动组件及配接解锁组件，支承装配组件中具有安装空间，盒体定位组件安装于支承装配组件上，晶圆盒置于盒体定位组件上，竖向移动组件安装于支承装配组件上，横向移动组件安装于竖向移动组件上，配接解锁组件安装于横向移动组件上。该晶圆储存装置将设有吸附盘片及解锁钥匙的配接载架安装于横向平台上，而横向平台安装于竖向平台上，使配接载架可进行竖向及横向移动，当配接载架移动至晶圆盒门体处时，吸附盘片吸住晶圆盒门体，同时解锁钥匙对晶圆盒解锁，而后再携带解锁后的晶圆盒门体移开，从而实现自动化上下料，可提高工作效率，减少故障。
一种 12 吋晶圆盒自动解锁装置