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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]精细图案的生产方法-CN201180024055.0无效
发明人： 石仓宏恵 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2011-05-20 - 公布日： 2013-01-23 - 主分类号： G03F7/095 文献下载
摘要：本发明提供精细图案的生产方法，其包括：(1)在基板上形成包含感光性树脂的第一树脂层；(2)在第一树脂层上形成包含仲或叔炔醇、光酸产生剂和树脂的第二树脂层；(3)将第二树脂层进行图案曝光；(4)使用第二树脂层的图案曝光部分作为掩模将第一树脂层进行曝光；和(5)除去第二树脂层和第一树脂层。
精细图案生产方法

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共 1 条

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