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[实用新型]气浮旋转装置-CN202020457713.1有效
发明人：陈啸虎;吴火亮;瞿晓晨;黄传;杨日升;杨昊明;吴聪懿 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2020-04-01 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： F16M11/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种气浮旋转装置，包括：托盘；托盘支撑件，位于托盘下方，并相对于托盘径向固定，托盘支撑件包括：圆筒部；上端板，为从圆筒部的上边缘径向向外延伸的环形板；下端板，为从圆筒部的下边缘径向向外延伸的环形板；气浮套，围绕圆筒部设置，且设有与气源连通的内部气道，内部气道分别在气浮套的顶面、底面、以及径向内周表面设有开口；底座；旋转驱动装置，包括旋转驱动部和固定部，旋转驱动部与托盘支撑件固定连接，固定部与气浮套和底座固定连接。根据本实用新型的气浮旋转装置能够通过径向和端面气浮轴承为托盘提供旋转方向导向，从而实现托盘的高精度旋转运动。且气浮旋转装置结构简单，实现扁平化设计。
旋转装置

[实用新型]微动台及包括微动台的运动装置-CN202020876271.4有效
发明人：吴火亮;陈啸虎;瞿晓晨;陈椿元;杨日升 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2020-05-22 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供一种运动装置，包括：载台；旋转底座，位于载台下方，其上表面设有环形上部凹腔，下表面设有下部凹腔，上部凹腔与下部凹腔在垂直于旋转台的上表面方向上的投影相互错开；旋转电机，容纳在环形上部凹腔内，并包括旋转电机动子和旋转电机定子，旋转电机定子相对于旋转底座固定，旋转电机动子相对于载台固定；垂向驱动装置，位于下部凹腔内并构造成能够驱动旋转台垂直移动；浮动重力补偿装置，位于下部凹腔内并能够对旋转台进行重力补偿；以及微动底座具有面向上的凹腔，旋转底座位于凹腔内并通过交叉滚子导轨垂向可滑动地连接至微动底座。本实用新型的运动装置垂向尺寸显著减小，显著增加运动装置的垂向运动精度和垂向导向精度。
微动包括运动装置

[实用新型]基于斯图尔特并联机构的六自由度运动装置及其伸缩机构-CN201921797920.5有效
发明人：孟辉;吴火亮;瞿晓晨;黄传;王越;杨日升;陈啸虎;李兴 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2019-10-24 - 公布日： 2020-08-18 - 主分类号： B25J9/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种伸缩机构及基于斯图尔特并联机构的六自由度运动装置。伸缩机构可包括音圈电机、电机安装座和导向装置，所述音圈电机固定安装在所述电机安装座中，所述导向装置包括导套和导柱，所述导柱可上下滑动地接合在所述导套中，其中所述导套与所述导柱之间设有滚动件，所述导套的下端和所述导柱的下端分别与所述电机安装座和所述音圈电机的动子固定连接。本实用新型的伸缩机构部件少，结构相对简单，采用音圈电机作为动力，相对于压电电机来说，成本低，控制简单，并且采用导向装置能够提高导向刚度，保证运动精度。
基于斯图尔特并联机构自由度运动装置及其伸缩

[实用新型]真空吸盘及真空吸附装置-CN201921417753.7有效
发明人：孟辉;吴火亮;瞿晓晨 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2019-08-28 - 公布日： 2020-07-28 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空吸盘和真空吸附装置。该真空吸盘包括具有所述吸附表面的吸盘本体和设置于吸盘本体上的气体通道。气体通道包括位于吸附表面上的至少两组同心圆槽组、位于吸盘本体中部的进气孔以及布置于吸盘本体的与吸附表面相对的表面上的通气槽。进气孔从吸附表面沿轴向延伸至另一表面，进气孔的一端与至少两组同心圆槽中的一组流体连通，另一端用于连接真空系统。通气槽在吸盘本体的另一表面上将至少两组同心圆槽组流体连通，以及至少两组同心圆槽组之间设置有隔离密封环，以在吸附表面将至少两组同心圆槽组密封隔离。本实用新型通过将进气孔设置在真空吸盘底部中心以及气体通道的特殊布置，使得真空吸盘具有超薄设计和优异的吸附能力。
真空吸盘吸附装置

[实用新型]一种音圈电机及运动装置-CN201921903458.2有效
发明人：吴火亮;孟辉;瞿晓晨;王越 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2019-11-06 - 公布日： 2020-07-21 - 主分类号： H02K41/035 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种音圈电机及具有这种音圈电机的运动装置，其中，所述音圈电机包括电机动子和电机定子，所述电机动子中设有轴向通道，所述轴向通道中容纳有一伸缩管，所述伸缩管两端分别连接有一接头，两个接头分别固定安装在所述电机动子和所述电机定子的相反端上。本实用新型的音圈电机内部带有供气管路，取消了相关零件的供气管路设计，大大降低零件的设计复杂度和加工难度。
一种电机运动装置

[实用新型]垂向运动装置-CN201921478364.5有效
发明人：吴火亮;孟辉;瞿晓晨;黄传;王越 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2019-09-04 - 公布日： 2020-07-03 - 主分类号： F16M11/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种垂向运动装置，包括丝杆组件、电机组件、以及运动平台。丝杆组件包括丝杆和丝杆螺母，丝杆与运动平台连接，丝杆螺母与电机组件连接，通过电机组件的运动带动丝杆螺母转动，从而通过丝杆驱动运动平台进行垂向运动。本实用新型的垂向运动装置垂向运动采用电机直驱和丝杠传动相结合的方式，减少了机械传动环节，能驱动大负载，提高垂向运动速度。
运动装置

[发明专利]气浮旋转装置-CN202010250918.7在审
发明人：陈啸虎;吴火亮;瞿晓晨;黄传;杨日升;杨昊明;吴聪懿 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2020-04-01 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： F16M11/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种气浮旋转装置，包括：托盘；托盘支撑件，位于托盘下方，并相对于托盘径向固定，托盘支撑件包括：圆筒部；上端板，为从圆筒部的上边缘径向向外延伸的环形板；下端板，为从圆筒部的下边缘径向向外延伸的环形板；气浮套，围绕圆筒部设置，且设有与气源连通的内部气道，内部气道分别在气浮套的顶面、底面、以及径向内周表面设有开口；底座；旋转驱动装置，包括旋转驱动部和固定部，旋转驱动部与托盘支撑件固定连接，固定部与气浮套和底座固定连接。根据本发明的气浮旋转装置能够通过径向和端面气浮轴承为托盘提供旋转方向导向，从而实现托盘的高精度旋转运动。且气浮旋转装置结构简单，实现扁平化设计。
旋转装置

[实用新型]一种微动台及具有该微动台的运动装置-CN201921797895.0有效
发明人：吴火亮;孟辉;瞿晓晨;王越;黄传 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2019-10-24 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： B25H1/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种微动台及具有该微动台的运动装置。微动台包括托盘，其上表面设有让位槽，在转移托盘上物品时至少部分地容纳机械手；旋转台，其位于所述托盘下方，且上表面设有环形上部凹腔，下表面设有下部凹腔，其中上部凹腔与下部凹腔在垂直于旋转台的上表面的投影方向上的投影相互错开；旋转电机，容纳在环形上部凹腔内，并包括旋转电机动子和旋转电机定子，旋转电机定子相对于旋转台固定，旋转电机动子相对于托盘固定；垂直移动装置，位于下部凹腔内并构造成能够驱动旋转台垂直移动；浮动重力补偿装置，位于下部凹腔内并构造成能够对旋转台进行重力补偿。本实用新型实现了扁平化设计，提高了垂向运动的导向刚度和精度，且便于机械手操作。
一种微动具有运动装置

[发明专利]一种音圈电机及运动装置-CN201911077074.4在审
发明人：吴火亮;孟辉;瞿晓晨;王越 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2019-11-06 - 公布日： 2020-01-10 - 主分类号： H02K41/035 文献下载
摘要：本发明公开了一种音圈电机及具有这种音圈电机的运动装置，其中，所述音圈电机包括电机动子和电机定子，所述电机动子中设有轴向通道，所述轴向通道中容纳有一伸缩管，所述伸缩管两端分别连接有一接头，两个接头分别固定安装在所述电机动子和所述电机定子的相反端上。本发明的音圈电机内部带有供气管路，取消了相关零件的供气管路设计，大大降低零件的设计复杂度和加工难度。
音圈电机电机动子电机定子供气管路轴向通道伸缩管设计复杂度相关零件运动装置相反端容纳加工

[发明专利]一种微动台及具有该微动台的运动装置-CN201911018735.6在审
发明人：吴火亮;孟辉;瞿晓晨;王越;黄传 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2019-10-24 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： B25H1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种微动台及具有该微动台的运动装置。微动台包括托盘，其上表面设有让位槽，在转移托盘上物品时至少部分地容纳机械手；旋转台，其位于所述托盘下方，且上表面设有环形上部凹腔，下表面设有下部凹腔，其中上部凹腔与下部凹腔在垂直于旋转台的上表面的投影方向上的投影相互错开；旋转电机，容纳在环形上部凹腔内，并包括旋转电机动子和旋转电机定子，旋转电机定子相对于旋转台固定，旋转电机动子相对于托盘固定；垂直移动装置，位于下部凹腔内并构造成能够驱动旋转台垂直移动；浮动重力补偿装置，位于下部凹腔内并构造成能够对旋转台进行重力补偿。本发明实现了扁平化设计，提高了垂向运动的导向刚度和精度，且便于机械手操作。
托盘下部凹腔旋转台上部凹腔上表面微动台旋转电机定子旋转电机动子投影垂直移动装置重力补偿装置容纳扁平化设计机械手操作机械手垂向运动驱动旋转旋转电机运动装置重力补偿让位槽下表面错开浮动垂直

[发明专利]基于斯图尔特并联机构的六自由度运动装置及其伸缩机构-CN201911018763.8在审
发明人：孟辉;吴火亮;瞿晓晨;黄传;王越;杨日升;陈啸虎;李兴 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2019-10-24 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： B25J9/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种伸缩机构及基于斯图尔特并联机构的六自由度运动装置，其中，伸缩机构可包括音圈电机、电机安装座和导向装置，所述音圈电机固定安装在所述电机安装座中，所述导向装置包括导套和导柱，所述导柱可上下滑动地接合在所述导套中，其中所述导套与所述导柱之间设有滚动件，所述导套的下端和所述导柱的下端分别与所述电机安装座和所述音圈电机的动子固定连接。本发明的伸缩机构部件少，结构相对简单，采用音圈电机作为动力，相对于压电电机来说，成本低，控制简单，并且采用导向装置能够提高导向刚度，保证运动精度。
音圈电机导套导柱电机安装座导向装置伸缩机构下端六自由度运动并联机构上下滑动压电电机接合滚动件动子保证

[发明专利]真空吸盘及真空吸附装置-CN201910800000.2在审
发明人：孟辉;吴火亮;瞿晓晨 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2019-08-28 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空吸盘和真空吸附装置。该真空吸盘包括具有所述吸附表面的吸盘本体和设置于吸盘本体上的气体通道。气体通道包括位于吸附表面上的至少两组同心圆槽组、位于吸盘本体中部的进气孔以及布置于吸盘本体的与吸附表面相对的表面上的通气槽。进气孔从吸附表面沿轴向延伸至另一表面，进气孔的一端与至少两组同心圆槽中的一组流体连通，另一端用于连接真空系统。通气槽在吸盘本体的另一表面上将至少两组同心圆槽组流体连通，以及至少两组同心圆槽组之间设置有隔离密封环，以在吸附表面将至少两组同心圆槽组密封隔离。本发明通过将进气孔设置在真空吸盘底部中心以及气体通道的特殊布置，使得真空吸盘具有超薄设计和优异的吸附能力。
同心圆槽吸附表面吸盘本体真空吸盘两组进气孔气体通道真空吸附装置流体连通通气槽表面上将超薄设计底部中心隔离密封密封隔离吸附能力真空系统轴向延伸

[发明专利]垂向运动装置-CN201910831534.1在审
发明人：吴火亮;孟辉;瞿晓晨;黄传;王越 -专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日： 2019-09-04 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： F16M11/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种垂向运动装置，包括丝杆组件、电机组件、以及运动平台。丝杆组件包括丝杆和丝杆螺母，丝杆与运动平台连接，丝杆螺母与电机组件连接，通过电机组件的运动带动丝杆螺母转动，从而通过丝杆驱动运动平台进行垂向运动。本发明的垂向运动装置垂向运动采用电机直驱和丝杠传动相结合的方式，减少了机械传动环节，能驱动大负载，提高垂向运动速度。
垂向运动装置垂向运动电机组件丝杆螺母运动平台丝杆组件丝杆机械传动环节丝杆驱动丝杠传动运动带动大负载直驱转动电机驱动

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