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- [发明专利]一种低能耗多晶硅生产方法-CN201510093060.7有效
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郭庆;朱礼松;刘党学;田茂远;李元丰
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陕西天宏硅材料有限责任公司
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2015-03-03
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2017-05-10
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C01B33/03
- 本发明公开了一种低能耗多晶硅生产方法，包括以下步骤步骤一、对进入CVD炉内的混合尾气进行检测，并补充相应量的四氯化硅或者氢气，确保氢气与四氯化硅的摩尔比为(5‑2)1，且氯化氢气体的摩尔含量为四氯化硅和氢气总摩尔量的1‑8％；步骤二、将步骤一调整后的混合尾气送至催化反应器中进行反应；步骤三、将步骤二中反应后的尾气进入尾气回收单元，按多晶硅尾气回收方法进行操作处理。本发明选用四氯化硅催化反应器，直接安装在还原尾气出口，采用原位催化的方式使还原尾气中的四氯化硅转化为三氯氢硅，缩短工艺流程，避免现有四氯化硅处理工艺中的回收、分离、储存、输送、再气化的繁杂过程，达到节能降耗，提高效率之目的。
- 一种能耗多晶生产方法
- [实用新型]屏蔽电泵防气蚀装置-CN201520337041.X有效
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孙晓龙;陈自力;雷磊;吕昌彦;田茂远
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陕西天宏硅材料有限责任公司
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2015-05-22
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2016-02-17
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F04D29/66
- 本实用新型公开了屏蔽电泵防气蚀装置，包括：一DN15无缝铁管(3)，一通过DN25*15三通(4)与DN15无缝铁管(3)连接的DN25无缝铁管(6)，一通过DN15三通(1)与DN15无缝铁管(3)连接的第二无缝铁管，所述第二无缝铁管和DN25无缝铁管(6)垂直于所述DN15无缝铁管(3)；所述第二无缝铁管一端连接有屏蔽泵出口压力表(7)，另一端连接有屏蔽泵出口管线；所述DN25无缝铁管(6)一端连接有DN25球阀(5)，另一端连接有进液罐。改造屏蔽泵的出口管线以达到防止泵气蚀的目的，本改造实施后在拆装泵体时泵体物料为污染较大或对人体有害物料更简单；绿色环保，未增加环境治理问题。
- 屏蔽电泵防气蚀装置
- [实用新型]四氯化硅电加热器-CN201420070074.8有效
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陈自力;徐岩;宋安宁;贾坤;窦晓龙;田茂远
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陕西天宏硅材料有限责任公司
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2014-02-18
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2014-07-30
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F24H3/00
- 本实用新型公开了四氯化硅电加热器，包括：至少三个压力容器，三个压力容器的结构一致，每个压力容器包括一容器管体，所述容器管体内平行设置若干根电加热管，电加热束设置于所述电加热管内，以及一容器管体上的测温元件，三个压力容器相互贯通，分别为第一压力容器，第二压力容器以及第三压力容器。所述第一压力容器的端部设置第一连接孔，与所述第二压力容器的第二连接孔相互连通，所述第二压力容器的端部设置第三连接孔，与所述第三压力容器的第四连接孔相互连通，且所述第一压力容器一侧设置一四氯化硅进口，第三压力容器一侧设置一四氯化硅出口。设置有至少三个压力容器，可以对任何气体加热，产生的热空气干燥无水份、不导电、不燃烧、不爆炸、无化学腐蚀性、无污染、安全可靠、被加热空间升温快。
- 氯化加热器
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