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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]具有含电镀钇涂层的制程腔室构件-CN200510064542.6无效
  • 韩年慈;许里;施宏;张扬;卢丹尼;珍妮佛·Y·桑 - 应用材料有限公司
  • 2005-04-13 - 2005-11-02 - C25D5/10
  • 本发明是有关于一种具有含电镀钇涂层的制程腔室构件，此构件可暴露于制程腔室的电浆中，此构件具有一结构111，此结构具有一电镀403涂层117，此电镀涂层117包括含钇物种。此电镀403涂层117可抗电浆腐蚀，且涂层117中的含钇物种随着涂层117厚度具有一组成梯度。在一实施例中，该涂层是在表面112上电镀一层含有钇的镀层119，然后，在第一镀层119的表面上电镀403一层第二镀层120，再对第一镀层119以及第二镀层120进行回火。第二镀层120可包括铝或锆。在另一实施例中，涂层的形成方法可在表面112上电镀一层铝和钇混合物的镀层121，再对镀层121进行回火500。
  • 具有电镀涂层制程腔室构件
  •  1 
  • 共 1 条
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