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[实用新型]一种调节CMP机的抛光头到抛光垫距离的治具-CN202320171307.2有效
发明人： 王雍期;王春雷;张一超 -专利权人：杭州邦齐州科技有限公司
申请日： 2023-02-10 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： B24B37/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种调节CMP机的抛光头到抛光垫距离的治具，具体涉及半导体制造技术领域，包括第一拼接块和第二拼接块，第一拼接块和第二拼接块用于靠近螺母的端面的周向固定设置有凸出于两者的多个高度相同的凸台，第一拼接块两端的第一拼接部与第二拼接块两端的第二拼接部能够卡接使两者拼接成一个套设在螺丝杆外侧的限高环，第二拼接部与第一拼接部的不同位置卡接时限高环处于第一形态或第二形态，第一形态时，各凸台的顶面用于与螺母靠近螺丝头的端面相抵接，第二形态时，第一拼接块与第二拼接块的顶面用于与螺母靠近螺丝头的端面相抵接。本实用新型能够精准调节间距，调节方式简单，且调节速度更快，治具便于拆卸和组装，提高工作效率。
一种调节 cmp 抛光距离

[实用新型]一种贴膜治具-CN202320082985.1有效
发明人： 王雍期;赵培瑜;俞浩军 -专利权人：杭州邦齐州科技有限公司
申请日： 2023-01-28 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： B65B33/02 文献下载
摘要：本实用新型公开一种贴膜治具，包括能配合使用的定位台和顶升部；定位台上依次开设有同轴连通的产品定位槽和贴膜卡槽，产品定位槽与贴膜卡槽呈阶梯分布，产品定位槽内放置有待贴膜的产品，贴膜纸置于贴膜卡槽内，产品的待贴膜面与贴膜纸的粘性面之间具有初始间隔；贴膜卡槽底部设有顶升通道，顶升部可顶升贴膜纸，顶升部置于顶升通道内，顶升部的顶升面与贴膜纸的放置面相重叠，且贴膜纸的顶升高度大于初始间隔；通过在定位台上设置同轴连通的产品定位槽和贴膜卡槽，对待贴膜产品和贴膜纸进行定位，初始间隔可以避免贴膜纸自动吸附到产品上，影响贴膜效果，顶升通道和顶升部能将贴膜纸部分贴到待贴膜面，减少气泡的产生，使贴膜更平整。
一种贴膜治具

[发明专利]一种AVGG产品检验治具-CN202211614040.6在审
发明人： 王雍期;赵培瑜;汪小芳;罗琦 -专利权人：杭州邦齐州科技有限公司
申请日： 2022-12-15 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明公开了一种AVGG产品检验治具，用以夹持AVGG。该AVGG产品检验治具包括底座和治具。底座与治具轴孔配合，以使底座与治具能够相对旋转。治具上设有用以夹持防光晕玻璃输入窗边缘的卡槽。底座具有正立姿态和侧立姿态。在正立姿态，AVGG为水平状态，在侧立姿态，AVGG为竖直状态。与现有技术相比，本发明的检验治具在检验过程中能够匹配两种检验设备，无需更换治具，检验过程中治具与AVGG不作相对转动，治具采用柔性材质，从而降低了使AVGG在检验过程中引入缺陷的可能性。
一种 avgg 产品检验