专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]静电卡盘的拆装工具-CN202320111222.5有效
  • 王郁景 - 粤芯半导体技术股份有限公司
  • 2023-01-13 - 2023-09-05 - B25B27/14
  • 本实用新型涉及一种静电卡盘的拆装工具,当需要对静电卡盘上的定位螺丝进行拆除时,使插入部伸入到安装孔内部,插入部的两个凸块分别与位于安装孔内部的定位螺丝端面上的两个操作孔对位,并分别插入到两个操作孔中,然后施力于主体,旋钮定位螺丝,便能实现将定位螺丝从静电卡盘的安装孔内部向外拆出;此外,也能实现定位螺丝锁紧固定于静电卡盘的安装孔中。相对于传统技术中的拆装方式,本实施例中的拆装工具,能够提高拆装过程中的准确性、安全性与拆装效率,能尽量避免破坏静电卡盘表面的陶瓷导致的影响后续设备派工时静电卡盘磁吸晶圆的能力,以及能避免因更换定位螺丝作业不准确造成后续再次更换料件与开腔室造成时效与零件的浪费。
  • 静电卡盘拆装工具
  • [发明专利]一种摩擦阻尼精确测试系统-CN201010240374.2有效
  • 陶凯;周炎;耿屹;娄路亮;丁建春;王健;王郁景 - 北京宇航系统工程研究所
  • 2010-07-30 - 2010-12-08 - G01N19/00
  • 本发明公开了一种摩擦阻尼精确测试系统,包括活塞、阻尼密封件、套筒、活塞杆、力传感器、卡套联轴节、位移传感器、驱动电机、测控台以及实验台体、套筒对中调整杆。活塞、阻尼密封件、套筒配合在一起模拟液体火箭阀门的运动部件结构,再与实验台体、套筒对中调整杆装配成摩擦测试系统的实验台;活塞经活塞杆及卡套联轴节与驱动电机刚性连接,套筒两端的力传感器和驱动电机的位移传感器与测控台连接,驱动电机与测控台连接构成摩擦测试系统的控制测试台。本发明提供模拟真实的阀门活塞摩擦结构,采取直接传动与宏微动结合的传动形式,具有自动控制、控制精度高、往复运动频率高、运动行程大、动态摩擦力测量精度高等优点。
  • 一种摩擦阻尼精确测试系统

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