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[实用新型]全方位动热源式Z轴微机械加速度计-CN202122910217.4有效
发明人：佟嘉程;朴林华;李备;王灯山 -专利权人：北京信息科技大学
申请日： 2021-11-25 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： G01P15/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种全方位动热源式Z轴微机械加速度计，该Z轴微机械加速度计包括上敏感层、下敏感层、基底层和盖板；上敏感层中心位置设置全方位动热源摆加热器，下方是中间加热腔；下敏感层包含有两个热敏电阻，下方是矩形的中间检测腔；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；全方位动热源摆加热器通过三个半圆形支撑梁悬置在上敏感层的中心位置；盖板上刻蚀有凹槽，且与上敏感层的表面密闭连接。本实用新型采用的敏感元件是在一块硅片上通过光刻、腐蚀等工艺制作，不仅可以提高传感器的性能，而且可实现批量生产。本实用新型可实现Z轴加速度的测量，具有灵敏度高、测量速度快、结构紧密等特点。
全方位热源微机加速度计

[实用新型]全方位动热源摆式双轴微机械加速度计-CN202122910542.0有效
发明人：朴林华;李备;王灯山;佟嘉程 -专利权人：北京信息科技大学
申请日： 2021-11-25 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： G01P15/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种全方位动热源摆式双轴微机械加速度计，该双轴加速度计包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位动热源摆加热器和两对热敏电阻；全方位动热源摆加热器通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置；加热器的通电方式为恒流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型可实现双轴加速度的测量，灵敏度高，响应速度快，具有结构应力小、体积小、重量轻、易于智能化和集成化等特点，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。同时，它具有结构和加工工艺非常简单，成本极低，可靠性高，优秀的抗振动和冲击特性等优点。
全方位热源摆式微机加速度计

[实用新型]全方位动热源摆式三轴微机械加速度计-CN202122910667.3有效
发明人：朴林华;李备;王灯山;佟嘉程 -专利权人：北京信息科技大学
申请日： 2021-11-25 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： G01P15/12 文献下载
摘要：本申请公开了一种全方位动热源摆式三轴微机械加速度计，该加速度计包括上敏感层、下敏感层和盖板，敏感层的中心位置设置有一加热器，通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置，下方是圆形的中间加热腔；下敏感层含有呈正交分布的四个热敏电阻，下方是矩形的中间检测腔；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型可实现三轴加速度的检测，测量范围广，灵敏度高，响应速度快。同时它具有加工工艺简单，结构紧密，结构应力小，可靠性高，易于智能化和集成化，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。
全方位热源摆式微机加速度计

[实用新型]动热源摆式全方位微机械加速度计-CN202122910171.6有效
发明人：朴林华;李备;王灯山;佟嘉程 -专利权人：北京信息科技大学
申请日： 2021-11-25 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： G01P15/12 文献下载
摘要：本申请公开了一种动热源摆式全方位微机械加速度计，该加速度计包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位动热源摆加热器和四对热敏电阻；全方位动热源摆加热器通过六个完全对称的半圆形辐条悬置在敏感层的中心位置；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型可实现加速度全方位的测量，灵敏度高，响应速度快，结构应力小、体积小、重量轻，可实现批量生产。同时它具有结构和加工工艺非常简单，成本极低，可靠性高，使得其与固体摆式微机械加速度计竞争中、低精度和低价格的微型加速度计市场成为可能。
热源摆式全方位微机加速度计

[实用新型]动热源式z轴微机械角速度传感器-CN202122867772.3有效
发明人：朴林华;张严;佟嘉程;王灯山 -专利权人：北京信息科技大学
申请日： 2021-11-22 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： G01P5/08 文献下载
摘要：本申请公开了一种动热源式z轴微机械角速度传感器，该z轴角速度传感器包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位振子加热器(动热源)和一对热敏电阻；全方位振子加热器(动热源)通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置；加热器的通电方式为周期式交流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型可实现Z轴角速度的测量，灵敏度高，响应速度快，具有结构紧密、体积小、重量轻、易于智能化和集成化等特点，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。
热源微机角速度传感器

[实用新型]动热源式双轴微机械角速度传感器-CN202122871093.3有效
发明人：朴林华;张严;佟嘉程;王灯山 -专利权人：北京信息科技大学
申请日： 2021-11-22 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： G01P5/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种动热源式双轴微机械角速度传感器，该双轴陀螺包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位振子加热器(动热源)和两对热敏电阻；全方位振子加热器(动热源)通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置；加热器的通电方式为周期式交流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型可实现双轴角速度的测量，灵敏度高，响应速度快，具有结构应力小、体积小、重量轻、易于智能化和集成化等特点，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。同时它具有结构和加工工艺非常简单，成本极低，可靠性高，优秀的抗振动和冲击特性。
热源式双轴微机角速度传感器

[实用新型]动热源式全方位微机械角速度传感器-CN202122867754.5有效
发明人：朴林华;张严;佟嘉程;王灯山 -专利权人：北京信息科技大学
申请日： 2021-11-22 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： G01P5/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种动热源式全方位微机械角速度传感器，该陀螺包括基底层、上敏感层、下敏感层和盖板；上敏感层的中心位置设置有全方位振子加热器(动热源)，通过八个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置，下方是圆形的中间加热腔；下敏感层含有呈正八边形分布的八个热敏电阻，下方是矩形的中间检测腔；上敏感层、下敏感层键合构成敏感层；加热器的通电方式为周期式交流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型可实现角速度全方位上的测量，不受方位角的限制，量程大、测量误差小，检测准确度高，具有结构紧密、易于智能化和集成化等特点。同时它具有成本极低，可靠性高，优秀的抗振动和抗冲击性能。
热源全方位微机角速度传感器

[发明专利]动热源式双轴微机械角速度传感器及其加工方法-CN202111387670.X在审
发明人：朴林华;张严;佟嘉程;王灯山 -专利权人：北京信息科技大学
申请日： 2021-11-22 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： G01P5/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种动热源式双轴微机械角速度传感器及其加工方法，该双轴陀螺包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位振子加热器(动热源)和两对热敏电阻；全方位振子加热器(动热源)通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置；加热器的通电方式为周期式交流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现双轴角速度的测量，灵敏度高，响应速度快，具有结构应力小、体积小、重量轻、易于智能化和集成化等特点，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。同时它具有结构和加工工艺非常简单，成本极低，可靠性高，优秀的抗振动和冲击特性。
热源式双轴微机角速度传感器及其加工方法

[发明专利]全方位动热源式Z轴微机械加速度计及其加工方法-CN202111410354.X在审
发明人：朴林华;李备;佟嘉程;王灯山 -专利权人：北京信息科技大学
申请日： 2021-11-25 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： G01P15/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种全方位动热源式Z轴微机械加速度计及其加工方法，该Z轴微机械加速度计包括上敏感层、下敏感层、基底层和盖板；上敏感层中心位置设置全方位动热源摆加热器，下方是中间加热腔；下敏感层包含有两个热敏电阻，下方是矩形的中间检测腔；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；全方位动热源摆加热器通过三个半圆形支撑梁悬置在上敏感层的中心位置；盖板上刻蚀有凹槽，且与上敏感层的表面密闭连接。本发明采用的敏感元件是在一块硅片上通过光刻、腐蚀等工艺制作，不仅可以提高传感器的性能，而且可实现批量生产。本发明可实现Z轴加速度的测量，具有灵敏度高、测量速度快、结构紧密等特点。
全方位热源微机加速度计及其加工方法

[发明专利]动热源摆式全方位微机械加速度计及其加工方法-CN202111410209.1在审
发明人：朴林华;李备;佟嘉程;王灯山 -专利权人：北京信息科技大学
申请日： 2021-11-25 - 公布日： 2022-01-28 - 主分类号： G01P15/12 文献下载
摘要：本申请公开了一种动热源摆式全方位微机械加速度计及其加工方法，该加速度计包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位动热源摆加热器和四对热敏电阻；全方位动热源摆加热器通过六个完全对称的半圆形辐条悬置在敏感层的中心位置；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现加速度全方位的测量，灵敏度高，响应速度快，结构应力小、体积小、重量轻，可实现批量生产。同时它具有结构和加工工艺非常简单，成本极低，可靠性高，使得其与固体摆式微机械加速度计竞争中、低精度和低价格的微型加速度计市场成为可能。
热源摆式全方位微机加速度计及其加工方法

[发明专利]全方位动热源摆式三轴微机械加速度计及其加工方法-CN202111410352.0在审
发明人：朴林华;李备;佟嘉程;王灯山 -专利权人：北京信息科技大学
申请日： 2021-11-25 - 公布日： 2022-01-28 - 主分类号： G01P15/12 文献下载
摘要：本申请公开了一种全方位动热源摆式三轴微机械加速度计及其加工方法，该加速度计包括上敏感层、下敏感层和盖板，敏感层的中心位置设置有一加热器，通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置，下方是圆形的中间加热腔；下敏感层含有呈正交分布的四个热敏电阻，下方是矩形的中间检测腔；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现三轴加速度的检测，测量范围广，灵敏度高，响应速度快。同时它具有加工工艺简单，结构紧密，结构应力小，可靠性高，易于智能化和集成化，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。
全方位热源摆式微机加速度计及其加工方法

[发明专利]全方位动热源摆式双轴微机械加速度计及其加工方法-CN202111410353.5在审
发明人：朴林华;李备;佟嘉程;王灯山 -专利权人：北京信息科技大学
申请日： 2021-11-25 - 公布日： 2022-01-28 - 主分类号： G01P15/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种全方位动热源摆式双轴微机械加速度计及其加工方法，该双轴加速度计包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位动热源摆加热器和两对热敏电阻；全方位动热源摆加热器通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置；加热器的通电方式为恒流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现双轴加速度的测量，灵敏度高，响应速度快，具有结构应力小、体积小、重量轻、易于智能化和集成化等特点，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。同时，它具有结构和加工工艺非常简单，成本极低，可靠性高，优秀的抗振动和冲击特性等优点。
全方位热源摆式微机加速度计及其加工方法

[发明专利]动热源式z轴微机械角速度传感器及其加工方法-CN202111389930.7在审
发明人：朴林华;张严;佟嘉程;王灯山 -专利权人：北京信息科技大学
申请日： 2021-11-22 - 公布日： 2022-01-28 - 主分类号： G01P5/08 文献下载
摘要：本申请公开了一种动热源Z轴微机械角速度传感器及其加工方法，该Z轴角速度传感器包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位振子加热器(动热源)和一对热敏电阻；全方位振子加热器(动热源)通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置；加热器的通电方式为周期式交流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现Z轴角速度的测量，灵敏度高，响应速度快，具有结构紧密、体积小、重量轻、易于智能化和集成化等特点，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。
热源微机角速度传感器及其加工方法

[发明专利]动热源式全方位微机械角速度传感器及其加工方法-CN202111389942.X在审
发明人：朴林华;张严;佟嘉程;王灯山 -专利权人：北京信息科技大学
申请日： 2021-11-22 - 公布日： 2022-01-28 - 主分类号： G01P5/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种动热源式全方位微机械角速度传感器及其加工方法，该陀螺包括基底层、上敏感层、下敏感层和盖板；上敏感层的中心位置设置有全方位振子加热器(动热源)，通过八个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置，下方是圆形的中间加热腔；下敏感层含有呈正八边形分布的八个热敏电阻，下方是矩形的中间检测腔；上敏感层、下敏感层键合构成敏感层；加热器的通电方式为周期式交流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现角速度全方位上的测量，不受方位角的限制，量程大、测量误差小，检测准确度高，具有结构紧密、易于智能化和集成化等特点。同时它具有成本极低，可靠性高，优秀的抗振动和抗冲击性能。
热源全方位微机角速度传感器及其加工方法

[实用新型]双电桥式十字型推挽流微机械z轴薄膜陀螺-CN202121102339.4有效
发明人：朴林华;李备;王灯山 -专利权人：北京信息科技大学
申请日： 2021-05-21 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： G01C19/58 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双电桥式十字型推挽流微机械z轴薄膜陀螺，该z轴薄膜陀螺包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有四对加热器和四对热敏电阻；加热器的通电方式为周期式推挽式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型继承了微型热流陀螺无固体敏感质量块，抗振动和冲击等优点。本实用新型采用双电桥式十字型推挽流，较其他工作原理的微型惯性传感器，其特点八个热敏电阻分别构成两个完全相同的等臂电桥，且陀螺的最后输出由双电桥不平衡电压取和后平均输出，误差小，精度高，灵敏度是单一工作臂的四倍，误差小，精度高；提取电路为等臂电桥，其非线性度更小。
电桥字型推挽流微机薄膜陀螺

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