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[发明专利]一种离心式方形晶圆夹持装置、夹持方法以及清洗方法-CN202311048393.9有效
发明人：陈鑫;张海珠;王泳彬;王晨 -专利权人：江苏芯梦半导体设备有限公司
申请日： 2023-08-21 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本申请涉及一种离心式方形晶圆夹持装置、夹持方法以及清洗方法，其中夹持装置包括：固定盘；旋转驱动件，与固定盘连接，用于带动固定盘转动；夹持组件，共有4个，4个夹持组件分别安装在固定盘上的一个矩形空间的四个角上；夹持组件包括：主体、定位支撑块和摆锤。夹持方法以及清洗方法均利用了该夹持装置。本发明利用固定盘转动时摆锤下半部分离心力较大的原理，使方形晶圆能够更加轻易的夹紧，同时定位支撑块又起到辅助定位、防止低速转动时晶圆偏离等作用，提供了一种适合夹持方形晶圆的装置、夹持方法以及清洗方法。
一种离心方形夹持装置方法以及清洗

[发明专利]基于兆声波技术的晶圆清洗设备及清洗方法-CN202210816416.5有效
发明人：廖周芳;蒋超伟;王泳彬 -专利权人：江苏芯梦半导体设备有限公司
申请日： 2022-07-12 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于兆声波技术的晶圆清洗设备及清洗方法。其中清洗设备包括工作台、载台、喷射装置、空化检测装置及控制单元，喷射装置包括支架与喷射主体，支架能够相对运动地设于工作台上，喷射主体包括喷嘴及兆声波组件；空化检测装置包括空化传感器；控制单元与空化传感器、喷射装置分别电性连接或信号连接。清洗方法依次包括如下步骤：S1、喷射装置向空化检测装置喷射兆声流体，空化检测装置检测空化效果，控制单元判断空化效果，若达标，则执行步骤S3；若不达标，则执行步骤S2；S2、校正喷射装置，然后再次执行步骤S1；S3、喷射装置向待清洗的晶圆喷射兆声流体，进行晶圆清洗。本发明具有智能反馈功能，能够提高清洗效率和晶圆良率。
基于声波技术清洗设备方法

[实用新型]一种基板支撑装置-CN202222688653.6有效
发明人：邵树宝;蒋超伟;王泳彬 -专利权人：江苏芯梦半导体设备有限公司
申请日： 2022-10-12 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基板支撑装置，包括工作台及旋转台，旋转台能够绕转动中心线相对旋转地设置在工作台上，转动中心线沿上下方向延伸，基板支撑装置还包括导液座，导液座设于旋转台的上方，导液座与工作台相对固定地设置，导液座的周向外表面位于一虚拟圆锥面内，虚拟圆锥面的顶点朝上，虚拟圆锥面的中心线与转动中心线相重合。本实用新型提供的基板支撑装置，基板背面清洗后中心滴落的清洗液能够沿着导液座的周向外表面导流至旋转台上，并在离心力的作用下甩出旋转台，使得旋转台及导液座的表面均能够干燥清洁，从而有助于维持基板清洗效果，并有效避免后续抓取基板的机械手被污染。
一种支撑装置

[发明专利]多频率兆声波耦合晶圆清洗设备及多频喷射装置-CN202210811801.0有效
发明人：廖周芳;蒋超伟;王泳彬 -专利权人：江苏芯梦半导体设备有限公司
申请日： 2022-07-12 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种多频率兆声波耦合晶圆清洗设备及其具有的多频喷射装置。其中清洗设备包括清洗模块，清洗模块包括多频喷射装置，多频喷射装置包括第一支架与多频喷射主体，第一支架设于工作台上，多频喷射主体固设于第一支架上。多频喷射主体具有至少两个喷射部，每个喷射部均具有中空的流体腔，不同的流体腔相互独立，每个喷射部还具有喷嘴及兆声波组件，每个喷嘴均与对应的流体腔相连通，且每个喷嘴均沿上下方向延伸并位于对应的流体腔的下方，多个喷嘴的轴心线自上而下逐渐汇聚，不同的兆声波组件用于产生不同频率的兆声流体。本发明能够实现多种频率兆声流体的耦合，在一个工艺过程中去除晶圆表面不同粒径尺寸的颗粒，提高晶圆加工的良率。
频率声波耦合清洗设备喷射装置

[实用新型]一种晶圆刷洗装置-CN202222586596.0有效
发明人：邵树宝;蒋超伟;张海珠;王泳彬 -专利权人：江苏芯梦半导体设备有限公司
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开一种晶圆刷洗装置，包括支撑臂、刷盘组件和与支撑臂连接的液压旋转器，刷盘组件包括含有出口的流出通道，液压旋转器包括流体腔室、上连接部和旋转组件，流体腔室与上连接部固定连接或一体成型，旋转组件设置在流体腔室内，流体腔室的内部设有容纳腔；支撑臂的内部设置有第一流体通道，上连接部的内部设置有连接通道，上连接部开设有多个通液孔，流体可依次流经第一流体通道及连接通道后进入容纳腔，再从流出通道并经出口喷出，旋转组件用于在流体从连接通道进入容纳腔时旋转并带动刷盘组件旋转。本实用新型无需额外设置固定喷嘴、带动刷盘部分旋转的旋转电机，整体结构简单。
一种刷洗装置

[外观设计]全自动单片清洗机（8腔）-CN202230635379.9有效
发明人：廖周芳;蒋超伟;高彪;王泳彬;李莹莹;张海珠 -专利权人：江苏芯梦半导体设备有限公司
申请日： 2022-09-26 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： 15-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：全自动单片清洗机（8腔）。2.本外观设计产品的用途：用于对晶圆进行清洗。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。5.左视图中“A、B、C、D、E、F、G、H、I”处为透明材质，右视图中“J、K、L、M、N、O、P、Q、R”处为透明材质。
全自动单片清洗

[外观设计]全自动单片刻蚀机（4腔）-CN202230635226.4有效
发明人：廖周芳;蒋超伟;高彪;王泳彬;李莹莹 -专利权人：江苏芯梦半导体设备有限公司
申请日： 2022-09-26 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： 15-09 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：全自动单片刻蚀机（4腔）。2.本外观设计产品的用途：用于对晶圆进行刻蚀、清洗。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。5.左视图中“A、B、C、D、E”处为透明材质，右视图中“F、G、H、I、J、K”处为透明材质。
全自动单片刻蚀

[发明专利]一种可自动清洗工艺腔体的基板处理装置及设备-CN202111190977.0在审
发明人： 王泳彬;蒋超伟 -专利权人：江苏芯梦半导体设备有限公司
申请日： 2021-10-13 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种可自动清洗工艺腔体的基板处理装置及具有该基板处理装置的设备，其中，基板处理装置包括具有内腔的腔体，以及用于承载待处理的基板的旋转台，旋转台能够绕第一转动中心线相对旋转地设置，第一转动中心线沿基板处理装置的高度方向延伸，基板处理装置还包括腔体清洗组件，腔体清洗组件包括清洗喷嘴，清洗喷嘴的出口朝向腔体的内侧壁设置，清洗喷嘴能够绕第二转动中心线相对旋转地设置在旋转台上，第二转动中心线沿旋转台的径向延伸，清洗喷嘴的轴心线的延伸方向与第二转动中心线的延伸方向相交。本发明能够实现对腔体的自动清洁，大大提高了清洁效率，保护了工人的健康安全，更好地保障基板的良率和腔体的使用寿命。
一种自动清洗工艺处理装置设备

[发明专利]一种基板处理装置的工艺腔体的自动清洗方法-CN202111191366.8在审
发明人： 王泳彬;蒋超伟 -专利权人：江苏芯梦半导体设备有限公司
申请日： 2021-10-13 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种基板处理装置的工艺腔体的自动清洗方法，工艺腔体具有内腔，方法包括如下步骤：S1、内腔中的旋转装置绕第一转动中心线旋转，旋转装置上的清洗喷嘴向工艺腔体的内侧壁喷射清洗液，第一转动中心线沿内腔的轴向延伸；S2、清洗喷嘴绕第二转动中心线旋转角度α，第二转动中心线沿内腔的径向延伸，0α360°，然后再次执行步骤S1。本发明提供的基板处理装置的工艺腔体的自动清洗方法，能够在基板处理前后，针对不同的湿法工艺，采用特定的方式对工艺腔体进行自动清洗，来避免设备长时间运行过程中产生的残留物对被处理基板的影响，提高基板的良率和工艺腔体的使用寿命。
一种处理装置工艺自动清洗方法

[实用新型]一种夹持力可调的旋转装置-CN202122157082.9有效
发明人： 王泳彬;蒋超伟 -专利权人：江苏芯梦半导体设备有限公司
申请日： 2021-09-07 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种夹持力可调的旋转装置，旋转装置包括旋转台、沿旋转台的周向间隔设置的至少三组卡盘销，旋转台能够绕沿上下方向延伸的旋转中心线旋转地设置，每组卡盘销均包括沿旋转中心线的延伸方向自旋转台向上延伸的销杆，以及自销杆的下部沿旋转台的径向向内延伸的导向轴，每组卡盘销均能够沿旋转台的径向相对滑动地设置在旋转台上，旋转装置还包括多组驱动组件，每组卡盘销连接一组的驱动组件，每组驱动组件均包括电驱动装置，电驱动装置固设于旋转台上，电驱动装置与导向轴之间相传动地连接。该夹持力可调的旋转装置，调节方式简单，调节更为灵活、精准，自动化程度高，对夹持力有精准的把控，有助于提高半导体产品良率。
一种夹持可调旋转装置

[发明专利]一种基片旋转式处理设备及方法-CN202111042884.3在审
发明人： 王泳彬;蒋超伟 -专利权人：江苏芯梦半导体设备有限公司
申请日： 2021-09-07 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种基片旋转式处理设备及方法。其中设备包括旋转台、多组夹持机构，每组夹持机构均包括：卡盘销，能够沿旋转台的径向相对滑动地设置；传感器，固设于卡盘销上；驱动组件，用于驱动卡盘销运动；该设备还包括处理器，与传感器、驱动组件分别电性连接或讯号连接。方法包括如下步骤：（1）将基片放置在旋转台上；（2）驱动组件驱动卡盘销向内滑动，传感器抵靠在基片上；（3）旋转台带动基片旋转，传感器实时检测压力并发出检测信号F，处理器分析得到分析结果再控制驱动组件驱动卡盘销运动。本发明能够实现夹持压力的实时调整，较好地保护基片在旋转处理过程中不受损伤，提高产品良率，提高生产安全性。
一种旋转处理设备方法

[实用新型]一种多目相机三维电动调节系统-CN202023123433.6有效
发明人： 王泳彬;雷秀军;王晓飞;严德斌;杨帆 -专利权人：合肥富煌君达高科信息技术有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： H04N5/225 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多目相机三维电动调节系统，包括：四个独立的底座；固定连接于底座上端并向上竖直延伸的支撑框架；所述支撑框架内形成一个用于容纳目标物的区域；用于实现目标物图像采集的拍摄系统，所述拍摄系统包括：第一拍摄件、第二拍摄件、以及第三拍摄件，第一拍摄件、第二拍摄件、以及第三拍摄件的拍摄朝向保持不同；所述第一拍摄件、第二拍摄件通过第一工装台安装在区域内，所述第三拍摄件通过第二工装台安装在区域内；本实用新型能够对目标物实现三个方向的同步拍摄；另外，本实用新型在实现三个方向拍摄的同时，通过两个第一工装台和一个第二工装台，实现每个方向6自由度的电动调节。
一种相机三维电动调节系统

[实用新型]一种适用于特殊环境的高速摄像设备-CN202021931306.6有效
发明人： 王泳彬;赵华;卢小银;雷秀军;王晓飞 -专利权人：合肥富煌君达高科信息技术有限公司
申请日： 2020-09-07 - 公布日： 2021-05-14 - 主分类号： H04N5/225 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种适用于特殊环境的高速摄像设备，包括：前板、后板；所述前板、后板之间通过横向间距隔开；顶板、底板、左侧板、右侧板；所述顶板、底板、左侧板、右侧板围绕间距设置，且顶板、底板、左侧板、右侧板之间装配连接，并将前板、后板之间的区域密闭，所述区域的截面呈矩形状；第一模块、第二模块、第三模块、第四模块；所述第二模块、第三模块、第四模块在区域内自上而下地竖向排列，且第一模块处于第二模块、第三模块、第四模块的正面；第一、第二、第三、第四模块均设置于内部空间内以被初步防护，此外，设置的扩散板将上述模块进一步密封，提高整体的密封性，以保证上述模块不受外界环境的影响。
一种适用于特殊环境高速摄像设备

[外观设计]海洋高速摄像设备防护装置-CN202030311702.8有效
发明人： 王泳彬;雷秀军;王晓飞;吕盼稂;严德斌;金一 -专利权人：合肥富煌君达高科信息技术有限公司
申请日： 2020-06-17 - 公布日： 2021-05-14 - 主分类号： 16-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：海洋高速摄像设备防护装置。2.本外观设计产品的用途：用于海洋环境用高速摄像设备的防护。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
海洋高速摄像设备防护装置

[外观设计]摄像机（高速摄像机）-CN202030476986.6有效
发明人： 王泳彬;雷秀军;王晓飞;严德斌;金一 -专利权人：合肥富煌君达高科信息技术有限公司
申请日： 2020-08-19 - 公布日： 2021-01-12 - 主分类号： 16-01 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：摄像机（高速摄像机）。2.本外观设计产品的用途：用于对高速运动物体的视频拍摄。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
摄像机高速

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