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[发明专利]一种晶圆存储检测方法-CN202310952575.2有效
发明人：敖琪;王旭晨;王文广;豆大勇;叶莹 -专利权人：浙江果纳半导体技术有限公司;上海果纳半导体技术有限公司
申请日： 2023-08-01 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆存储检测方法，在晶圆盒内的每一层支撑结构上安装对应的湿度传感器和压力传感器，在晶圆盒的排气口部位安装湿度传感器；先通过晶圆盒内每层支撑结构上对应的压力传感器检测该层支撑结构中晶圆的放置情况，再根据每层支撑结构中的晶圆放置情况判断是否触发该层支撑结构中的湿度传感器，被触发的湿度传感器检测与其对应的该层支撑结构区域内的湿度；最后将所有被触发的湿度传感器检测出的与其各自对应层数支撑结构区域内的湿度结合上述晶圆盒内排气口部位湿度传感器检测出的湿度来判断晶圆盒内湿度是否满足晶圆存储环境的要求；本方案通过压力传感器和湿度传感器配合使用，检测晶圆盒是否满足存储晶圆的要求。
一种存储检测方法

[发明专利]机械手清洗装置、清洗方法及半导体设备-CN202210332156.4有效
发明人：叶莹;高慧霞;鲍伟成;王旭晨;祝佳辉 -专利权人：上海果纳半导体技术有限公司
申请日： 2022-03-31 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本发明公开了机械手清洗装置、清洗方法及半导体设备，其中清洗装置包括壳体，壳体的腔体自上而下设置有采集区、检测区和清洁区，壳体上设置有分别与采集区、检测区和清洁区连通的开口。采集区设置有采集装置，采集装置用于采集机械手的形状轮廓。检测区设置有扫描装置，扫描装置用于扫描机械手的表面，并对机械手的表面清洁度进行判断；清洁区设置有清洁装置，清洁装置用于对机械手的表面进行清洁，清洁装置包括矩阵分布的多个清洁头，每个清洁头可单独启闭。能进行机械手的自动清洗，清洗效率高。
机械手清洗装置方法半导体设备

[实用新型]贝雷架底部支撑件-CN202222558584.7有效
发明人： 王旭晨;安蔚玮;黄逸琦;丁倩 -专利权人：中亿丰建设集团股份有限公司
申请日： 2022-09-27 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： E04G25/02 文献下载
摘要：本实用新型提供贝雷架底部支撑件，涉及建筑领域领域，包括：基座；稳固件，安装在所述基座上，与所述基座固定连接；多个连接件，均匀设置在所述稳固件的上表面。可以实现贝雷架等设备的可周转、标准化加工、装配化使用等。可以极大减少现场临时支撑的施工周期，节约临时用材，减少现场湿作业。
贝雷架底部支撑

[发明专利]晶圆检测机构及晶圆装载装置-CN202310235579.9有效
发明人： 王旭晨;王文广;敖琪;鲍伟成;葛敬昌;祝佳辉;叶莹 -专利权人：上海果纳半导体技术有限公司
申请日： 2023-03-13 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆检测机构及晶圆装载装置，所述晶圆检测机构用于检测晶圆盒内的晶圆，所述晶圆检测机构包括检测组件，所述检测组件包括第一对射传感器组和第二对射传感器，所述第一对射传感器组用于检测晶圆单片、晶圆左右倾斜和缺片的情况，所述第二对射传感器与第一对射传感器组配合检测晶圆叠片、凸出晶圆盒和晶圆前后倾斜的情况；还包括升降组件，所述检测组件设置在所述升降组件上，且所述升降组件带动所述检测组件上下升降；本方案中的晶圆检测机构，通过两组对射传感器在升降组件的带动下从下而上对晶圆盒内的晶圆进行扫描，检测晶圆盒内的晶圆是否存在叠片、倾斜、缺片以及凸出晶圆盒的情况。
检测机构装载装置

[发明专利]一种可控降解蚕丝医用缝合线的制备方法-CN202310402983.0在审
发明人：李刚;王旭晨;沈宏强;刘果;郑兆柱;王晓沁 -专利权人：苏州大学
申请日： 2023-04-17 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： A61L17/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种可控降解蚕丝医用缝合线的制备方法，包括步骤：将蚕丝壳线和芯线在编织机上编织，得到编织缝合线；脱胶处理，得到脱胶缝合线；配制丝氨酸蛋白酶溶液；将脱胶缝合线浸泡于丝氨酸蛋白酶溶液中进行酶预处理；采用功能性丝素蛋白溶液对酶预处理后的缝合线涂层处理，获得涂层缝合线；对涂层缝合线熏蒸、热定型处理，得到可控降解蚕丝医用缝合线。该缝合线力学强度好，降低了蚕丝的结晶度，符合可吸收缝合线的要求。同时保留蚕丝可降解、生物相容性优异等优点，功能性涂层赋予蚕丝很好的抗菌性、促降解性能，弥补了力学性能过快损失。缝合线降解速率和力学性能可控，方法简便易行可操作。
一种可控降解蚕丝医用缝合线制备方法

[发明专利]气浮平台动态水平度检测方法及应用该方法的晶圆传输系统-CN202111676800.1有效
发明人：鲍伟成;张冬峰;王旭晨;王文广;叶莹 -专利权人：上海果纳半导体技术有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种气浮平台动态水平度检测方法，应用于晶圆传输系统，通过matlab分析第一片晶圆与第n+1片晶圆的坐标信息，根据第一片晶圆的位置与气浮平台达到动态稳定后的第n+1片晶圆的位置之间的偏移量α，抽象出几何模型，通过公式计算出气浮平台的在达到动态平衡后的水平度偏差θ。采用本发明的一种气浮平台动态水平度检测方法和晶圆传输系统，通过晶圆位置预对准，并且实时检测晶圆传输到气浮平台上的位置，供检测系统实时调整检测模块的位置或进行检测结果校正，提高了检测精度，避免检测误差，提高了工作效率。
平台动态水平检测方法应用传输系统

[发明专利]一种天然长效抗菌抗炎蚕丝缝合线及其制备方法-CN202111373417.9有效
发明人：李刚;王旭晨;吴沁婷 -专利权人：南通纺织丝绸产业技术研究院;苏州大学
申请日： 2021-11-19 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： D06M13/477 文献下载
摘要：本发明涉及生物医用材料领域，具体为一种天然长效抗菌抗炎蚕丝缝合线及其制备方法。缝合线包括内芯层和包裹在内芯层外部的外包层；内芯层为芯线，外包层为壳线，芯线和壳线均经过抗菌抗炎涂层溶液的复合涂层处理。缝合线制备方法包括如下步骤：S1、对蚕丝进行脱胶处理；S2、采用立锭式编织机将蚕丝编织成缝合线；S3、制备丝素蛋白溶液；S4、制备内层长效层溶液和外层功能层溶液；S5、采用浸渍法依次使用内层长效层溶液和外层功能层溶液对缝合线进行复合涂层处理。本发明所述蚕丝缝合线具有抗菌和抗炎作用。
一种天然长效抗菌蚕丝缝合线及其制备方法

[发明专利]一种调节剂及其在水处理中的应用-CN202310253177.1在审
发明人：苏宇亮;胡克武;王旭晨;姜楠;尹世平;杨江华;崔蕴妍;卢梅涟;方林;邝敏强;黄洪波;方黎;吴斌 -专利权人：珠海市供水有限公司
申请日： 2023-03-15 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C02F1/52 文献下载
摘要：本发明属于水处理技术领域，提供了一种调节剂及其在水处理中的应用，本发明的调节剂包括酸式硫酸盐和铝系混凝剂，对原水pH值的控制效果和出厂水铝的控制效果明显，可有效控制自来水厂原水pH值和控制出厂水铝含量，并保证出厂水水质安全，投加调节剂后不会使出厂水产生新的污染物，出厂水水质符合国家《生活饮用水卫生标准》(GB 5749‑2006)要求，先往原水中投入酸式硫酸盐，再投入铝系混凝剂，原水pH值下降，平均降幅为0.31，最大降幅0.41，出厂水的铝含量也呈现降低的趋势，与未投加相比平均降幅0.023mg/L，最大降幅0.043mg/L。
一种调节剂及其水处理中的应用

[实用新型]壳体升降结构及晶圆装载装置-CN202223372775.0有效
发明人： 王旭晨;王文广;敖琪;鲍伟成;张庆;祝佳辉;叶莹 -专利权人：上海果纳半导体技术有限公司武汉分公司;上海果纳半导体技术有限公司
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种壳体升降结构及晶圆装载装置，所述壳体升降结构包括从外到内依次分布的第一壳体、第二壳体以及第三壳体；还包括升降框架、导向板和导向柱；所述晶圆装载装置包括壳体升降结构、安装座、安装底板以及底座上设置的调节机构；本方案设计的晶圆装载装置，在三个位于内侧、中间以及外侧的壳体中，通过升降结构可以使第一壳体和第二壳体独立升降，保证晶圆装载装置上的检测机构在上升时，晶圆一直处于密封空间内，防止外部粉尘颗粒污染晶圆。
壳体升降结构装载装置

[发明专利]一种用于钢结构矫正的矫正装置-CN202111505208.5有效
发明人：袁鑫;王旭晨 -专利权人：浙江海洋大学
申请日： 2021-12-10 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： B21D3/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于钢结构矫正的矫正装置，涉及机械加工技术领域。本发明包括固定在地表以下的槽道；槽道内安装有火力加热装置和举升装置；槽道的两侧对称固定有一对设备安装基座；设备安装基座与槽道上端安装有两侧打开的避火装置；两侧设备安装基座的上方安装对称设置的挤压矫正装置，槽道的两侧上端均设置一列与避火装置配合的滑槽，且滑槽与槽道的长度方向垂直设置；槽道的两侧上端靠近槽口位置对称设置与避火装置配合的限位挡块。本发明通过先加热后矫正最后加热冷却的方式对较长的钢结构件进行形态矫正，降低矫正钢结构对设备压力的要求，降低矫正装备的生产成本，减小矫正装备的占地面积，释放矫正后钢结构的内部应力，提高矫正后钢结构的性能。
一种用于钢结构矫正装置

[实用新型]晶圆载具用气路系统及充气设备-CN202223329037.8有效
发明人： 王旭晨;王文广;敖琪;张庆;鲍伟成;葛敬昌;叶莹 -专利权人：上海果纳半导体技术有限公司武汉分公司;上海果纳半导体技术有限公司
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆载具用气路系统及充气设备，其中，气路系统包括进气组件、排气组件及充气平台；进气组件包括主进气管路、第一进气支路、第二进气支路，主进气管路的一端与供气设备连接，另一端分别与第一进气支路、第二进气支路连接；第一进气支路通过充气平台与晶圆载具连接，以对晶圆载具充气；第二进气支路与排气组件连接，其上设有节流阀；排气组件包括排气管路，排气管路上设有与第二进气支路连接的真空发生器，且排气管路的一端通过充气平台与晶圆载具连接，以对晶圆载具排气。本实用新型在保证充排气效率的同时，能有效精简气路零部件，降低成本。
晶圆载具用气路系统充气设备

[发明专利]一种SMIF开合器控制方法、装置及存储介质-CN202310276687.0在审
发明人：敖琪;王文广;王旭晨;祝佳辉;葛敬昌 -专利权人：上海果纳半导体技术有限公司
申请日： 2023-03-21 - 公布日： 2023-04-21 - 主分类号： G05D13/62 文献下载
摘要：本发明公开了一种SMIF开合器控制方法、装置及存储介质，方法包括获取开合器的运动信息；由S型速度曲线算法根据所述运动信息来规划开合器由起始位置到目标位置的全程速度信息；实时获取开合器当前的实际位置；由S型速度曲线算法计算实际位置到目标位置所需的第一速度值，由位置环PID计算实际位置到目标位置所需的第二速度值；对第一速度值和第二速度值取小作为目标速度输出给开合器；实时获取开合器当前的实际速度和目标速度的速度差值，通过速度环PID输出速度差值所需的加速度值；电机输出加速度值对应的控制量来控制开合器以目标速度向目标位置运行。保障开合器在打开晶圆盒和关闭晶圆盒过程中的定位精度。
一种 smif 开合器控制方法装置存储介质

[发明专利]一种晶圆传送盒和晶圆装载装置-CN202211708515.8在审
发明人：叶莹;鲍伟成;王旭晨;祝佳辉;葛敬昌;薛增辉 -专利权人：上海果纳半导体技术有限公司武汉分公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆传送盒和晶圆装载装置，其中晶圆传送盒包括盒体和与盒体密封连接的密封门，密封门通过门锁组件与盒体固定，其中盒体的侧面设置开口，开口所在的侧面为定位面，晶圆的部分从开口处延伸出盒体。密封门设置在盒体的开口处并能沿盒体上下移动，密封门上设置有能与其同步升降的一对映射传感器，一对映射传感器位于开口两侧，并对延伸出盒体的晶圆的部分进行检测。门锁组件包括至少一个对应设置的锁沟和锁盘，锁沟开设凸台上，锁盘与密封门转动连接，且锁盘在钥匙的作用下转动时，能与锁沟旋合。本发明集成了晶圆存放和晶圆检测的功能，便于快速打开密封门，简化了晶圆装载装置。
一种传送装载装置

[发明专利]晶圆传输接口及晶圆传输设备-CN202211325945.1有效
发明人：叶莹;鲍伟成;张庆;王文广;王旭晨;祝佳辉 -专利权人：上海果纳半导体技术有限公司
申请日： 2022-10-27 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆传输接口及晶圆传输设备，晶圆传输接口包括对接口及安装在对接口上的嵌入机构；嵌入机构包括固定外框、弹性伸缩件、活动内框，固定外框嵌装在对接口处，活动内框置于固定外框内，其与固定外框之间通过弹性伸缩件连接；晶圆传输设备包括晶圆传输接口及机械手机构，机械手机构的下端设有机械手固定板，机械手固定板通过调平结构安装在设备框架的框架横梁上，调平结构用以调节机械手固定板的安装水平度。本发明的晶圆传输接口在实现对不同规格的晶圆传输的同时，提高设备的密闭性能，降低晶圆传输过程中的污染风险，调平结构则提高了机械手机构的安装精度。
传输接口设备

[发明专利]晶圆夹持机构及晶圆传输设备-CN202211386726.4有效
发明人：梁烁;张庆;祝佳辉;王旭晨;鲍伟成;王文广;叶莹 -专利权人：浙江果纳半导体技术有限公司;上海果纳半导体技术有限公司
申请日： 2022-11-07 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆夹持机构及晶圆传输设备，包括夹持单元和检测单元，夹持单元包括治具块，晶圆放置在治具块上，治具块连接升降结构，通过升降结构治具块可根据其受到的压力情况上下升降；夹爪，用于夹持晶圆，夹爪由两个左右对称且结构相同的夹块组成，夹块与治具块活动连接，同时夹块通过第一销轴与一固定设置的立柱连接；当治具块升降时，治具块带动夹块绕第一销轴转动；所述检测单元包括测距传感器和压力传感器；本发明设计的一种用在晶圆传输设备上的针对于晶圆的夹持机构，夹持单元可根据晶圆的尺寸和重量进行夹持，检测单元可测量治具块的移动距离、晶圆的重力以及尺寸，从而得出夹爪的夹持力，以此判断夹持是否存在异常。
夹持机构传输设备

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