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- [发明专利]气体量测量装置-CN200810182907.9有效
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阿部哲也;秦野岁久;平塚一;长谷川浩一;田岛保英;大间知聪一郎
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独立行政法人日本原子力研究开发机构;日本金属化学株式会社
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2008-12-05
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2009-07-22
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G01N7/14
- 一种气体量测量装置,其包括:装有熔融金属的真空容器(1);与所述真空容器(1)连接的第一管道(5a),连接在所述第一管道(5a)上的放气阀(4);与所述真空容器(1)连接的第二管道(5b),连接在所述第二管道(5b)上的校正气体发生器(6);与所述真空容器(1)连接的第三管道(5c),自所述真空容器(1)一侧开始依次连接在所述第三管道(5c)上的真空计(13)、第一阀门(11a)、泄漏阀(12)、第二阀门(11b)、涡轮分子泵(14)、第三阀门(11c)和低真空泵(15);将真空容器(1)和第一阀门(11a)之间的第三管道(5c)与泄漏阀(12)和第二阀门(11b)之间的第三管道(5c)连接的第一旁通管(16),连接在所述第一旁通管(16)上的第四阀门(11d);以及将泄漏阀(12)和第二阀门(11b)之间的第三管道(5c)与第三阀门(11c)与低真空泵(15)之间的第三管道(5c)连接的第二旁通管(17),连接在所述第二旁通管(17)上的第五阀门(11e)。
- 体量测量装置
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