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[发明专利]喷嘴型沉积装置-CN202210604686.X在审
发明人：车学赞 -专利权人： 灿美工程股份有限公司
申请日： 2022-05-30 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： C23C16/04 文献下载
摘要：本发明涉及喷嘴型沉积装置，更详细地，涉及将用于沉积图案的原料按所需提供到图案沉积，并进行沉积可最小化原料的使用量，并且根据仅在需形成图案的部位供给原料，从而可进行精确的图案沉积，并且防止原料的扩散，可从根源上防止原料沉积到其他部位，利用加热气体可防止供给原料的排管及喷嘴的堵塞，并且根据以喷嘴方式供给原料，从而可简易并有效地构成沉积装置的喷嘴型沉积装置。
喷嘴沉积装置

[发明专利]利用带电粒子的样品处理装置-CN202111630663.8在审
发明人：芮世熙;李钟洙 -专利权人： 灿美工程股份有限公司
申请日： 2021-12-28 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： H01J37/09 文献下载
摘要：本发明涉及一种利用带电粒子的样品处理装置，更加详细地，涉及一种为了观察或者加工样品而产生带电粒子，在向样品进行照射的路径上形成孔隙从而可提高带电粒子向样品传递的效率，并且在孔隙周围设置两个以上的散射防止孔从而提高样品周围的局部的真空度，为了更有效地保持局部真空而形成利用惰性气体的空气幕的利用带电粒子的样品处理装置。
利用带电粒子样品处理装置

[发明专利]利用带电粒子的样品处理装置-CN202111627844.5在审
发明人：芮世熙;李钟洙;郑流淙 -专利权人： 灿美工程股份有限公司
申请日： 2021-12-28 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： H01J37/09 文献下载
摘要：本发明涉及一种利用带电粒子的样品处理装置，更加详细地，涉及一种为了观察或者加工样品而产生带电粒子，在向样品进行照射的路径上形成孔隙从而可提高带电粒子向样品传递的效率，并且将形成孔隙的孔隙模块以导电性材料构成并在孔隙与样品之间形成电场，通过此调整带电粒子的路径可提高加工及观察的精密度，并且通过多节孔隙板可提高利用带电粒子的加工及观察的精密度。
利用带电粒子样品处理装置

[发明专利]一种修复装置-CN202210042063.8在审
发明人：郑卿训;薛捧浩;洪淳天 -专利权人： 灿美工程股份有限公司
申请日： 2022-01-14 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： B41J3/407 文献下载
摘要：本发明作为包括：工作台，其形成为能够安置基板；油墨供给部，其配置于所述工作台的上侧，以能够喷出导电油墨；及光供给部，其配置于所述工作台的上侧，以能够照射用于烧结导电油墨的白色光，并具有用于使向基板照射的白色光的强度在白色光的宽度方向均匀的非球面形状的反射面的修复装置，提供了可以在减少修复基板上的缺陷部位的时间的同时，提高在缺陷部位形成的膜的质量的修复装置。
一种修复装置

[发明专利]修复微型LED显示器的装置和方法-CN202111298029.9在审
发明人：刘承哲;李相昊;沈洪得;金荣齐;薛捧浩 -专利权人： 灿美工程股份有限公司
申请日： 2021-11-04 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供修复微型LED显示器缺陷的装置和方法，本发明的一种微型LED显示器的修复装置，其特征在于，包括：台，容纳微型LED显示器，所述微型LED显示器包括微型LED芯片和用于驱动所述微型LED芯片的电路图案；激光源，提供激光以移除所述微型LED显示器的缺陷部分；光学模块，改变从所述激光源产生的激光的路径并将激光照射而移除预设的特定区域，以便修复所述微型LED显示器的缺陷部分，其中，所述光学模块将所述预设的特定区域移除到向所述微型LED芯片提供操作所需电源的所述微型LED显示器的下部电路图案暴露的深度。根据所述结构的本发明，能够实现修复微型LED显示器中通过传统修复方法不能修复的缺陷的效果。
修复微型 led 显示器装置方法

[发明专利]用于观察样本的设备和方法-CN201911365409.2有效
发明人：芮世熙;宋恩范;成明俊 -专利权人： 灿美工程股份有限公司
申请日： 2019-12-26 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： H01J37/06 文献下载
摘要：本发明公开一种样本观察设备和使用其的样本观察方法，设备包含：柱状部件，面向能够支撑样本的支撑件安置且具有面向支撑件的一个开口侧；带电粒子产生部件，安装在柱状部件内部；以及盖部件，耦合到柱状部件的开口且包括能够传输带电粒子和二次粒子的孔隙，其中在大气压下使用带电粒子观察样本时，可通过减少带电粒子和二次粒子的损失来提高样本图像的分辨率。
用于观察样本设备方法

[发明专利]喷嘴型沉积装置-CN202111298031.6在审
发明人：郑流淙;都映元;张宰荣;薛捧浩 -专利权人： 灿美工程股份有限公司
申请日： 2021-11-04 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： C23C24/08 文献下载
摘要：本发明涉及喷嘴型沉积装置，更详细地，涉及将用于沉积图案的原料按所需提供到图案沉积，并进行沉积可最小化原料的使用量，并且根据仅在需形成图案的部位供给原料，从而可进行精确的图案沉积，并且防止原料的扩散，可从根源上防止原料沉积到其他部位，利用加热气体可防止供给原料的排管及喷嘴的堵塞，并且根据以喷嘴方式供给原料，从而可简易并有效地构成沉积装置的喷嘴型沉积装置。
喷嘴沉积装置

[发明专利]沉积设备-CN202010513196.X有效
发明人：薛捧浩;朴钟秀;郑卿训;都映元;张宰荣;郑流淙 -专利权人： 灿美工程股份有限公司
申请日： 2020-06-08 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： C23C16/48 文献下载
摘要：本发明公开一种能够减少原料使用量的沉积设备，包括：可以安置处理物的支撑部；以能够向处理物的一面照射激光的方式设置的激光部；以能够排除气化原料的方式形成，且配置在所述支撑部的上侧并倾斜地延长的喷嘴部；及以与所述喷嘴部相互面对的方式设置的吸入部。
沉积设备

[发明专利]多种喷射方式的墨水喷射装置-CN202210163343.4在审
发明人：黄建雅;金谦旭 -专利权人： 灿美工程股份有限公司
申请日： 2022-02-18 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： B41J2/01 文献下载
摘要：本发明涉及一种多种喷射方式的墨水喷射装置，更详细地涉及以喷射方式组合静电力和压力，从而可进行广泛的喷射特性调整，并且可由单一的构成执行从精细且精密的墨水喷射到大量的墨水喷射的方式，在表面具有弯曲或者阶梯的对象物也可进行精密的墨水喷射，组合静电力和物理性压力方式可精密地调整液滴的掉落位置的多种喷射方式的墨水喷射装置。
多种喷射方式墨水装置

[发明专利]样品处理装置的局部真空保持装置-CN202011580938.7在审
发明人：芮世熙;郑流淙;成明俊;安希浚 -专利权人： 灿美工程股份有限公司
申请日： 2020-12-28 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： H01J37/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种样品处理装置的局部真空保持装置，更加详细地，涉及一种样品处理装置的局部真空保持装置，其为了观察或者加工样品而产生带电粒子，在向样品照射的路径上形成孔隙，从而可以提高向样品传输带电粒子的效率，而且能够在样品周围形成局部真空，从而能够防止带电粒子的散射以及用于构成图像的二次电子等的消失，为了形成以及强化局部真空，可以通过双重的局部真空保持结构提高局部真空的有效性，为了有效保持真空，适当调整气体吸入和惰性气体的排放压力。
样品处理装置局部真空保持

[发明专利]用于形成图案的设备-CN201810693050.0有效
发明人：张宰荣;薛捧浩 -专利权人： 灿美工程股份有限公司
申请日： 2018-06-29 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种用于形成图案的设备。用于形成图案的设备包含：支撑单元，加工对象安放于支撑单元上；喷嘴单元，安置于支撑单元上以排出溶液；块夹具，安置于支撑单元上且具有安装孔以便安装喷嘴单元；以及固定构件，将喷嘴单元限定在安装孔内。因此，当替换喷嘴时，喷嘴在位置可重复性上可得到改进。
用于形成图案设备

[发明专利]沉积装置及方法-CN201910287629.1有效
发明人：沈珍燮;卢载雄;薛捧浩 -专利权人： 灿美工程股份有限公司
申请日： 2019-04-11 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： C23C16/48 文献下载
摘要：本发明揭示一种沉积装置及适用于此的沉积方法，该沉积装置及适用于此的沉积方法能够在薄膜沉积工艺防止成长型异物发生，该沉积装置包括：腔单元，配置在安置处理物的支持单元的上侧，在和支持单元相对的一面形成有处理孔，在处理孔的上端设有窗；激光单元，能通过处理孔对处理物照射激光；源材料供应单元，连接到处理孔的下部；吹扫气体供应单元，连接到处理孔的上部；气帘气供应单元，能向形成于处理孔下侧的处理空间的外侧喷射气帘气地形成；及加热器单元，安装在吹扫气体供应单元与气帘气供应单元中的至少一个的一侧。
沉积装置方法

[发明专利]检查装置及被处理物检查方法-CN201610518496.0有效
发明人：芮世熙 -专利权人： 灿美工程股份有限公司
申请日： 2016-07-04 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：本发明提出在检查被处理物的缺陷时能够由一个装置检查各种被处理物的缺陷的检查装置及被处理物检查方法，作为检查装置包括：支撑部，支撑被处理物；去除部，配置在所述支撑部的上侧，利用激光束选择性地去除形成在所述被处理物上部的膜的一部分；检查部，配置在所述支撑部上侧，并且接触于所述被处理物的元件以收发信号；光学部，在所述支撑部上侧向着所述检查部配置，从而可观察所述检查部；及控制部，利用由所述光学部观察到的图像，以控制所述检查部的移动。
检查装置处理方法

[发明专利]液体灌注设备-CN201810651062.7有效
发明人：申明峻;尹轸铉;黄净珉;张宰荣;薛捧浩 -专利权人： 灿美工程股份有限公司
申请日： 2018-06-22 - 公布日： 2021-04-30 - 主分类号： B41J2/01 文献下载
摘要：根据示范性实施例，一种将液体灌注到喷嘴中的液体灌注设备包含：储存部件，其具有用以储存液体的内部空间；主体部件，其包含储存部件安装到的第一穿孔和喷嘴安装到的第二穿孔；灌注部件，其被配置成抽吸其中的液体或自其排放液体；以及导引部件，其安置于第一穿孔和第二穿孔中的至少一个上以便导引灌注部件的至少一部分。液体灌注设备可轻易地将液体灌注到喷嘴中。
液体灌注设备

[发明专利]粉末供应器以及层叠加工装置-CN201811580813.7在审
发明人：张宰荣;郑流淙;申明峻 -专利权人： 灿美工程股份有限公司
申请日： 2018-12-24 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： B22F3/105 文献下载
摘要：本发明作为包括床部，形成有向上下方向开放的一个以上的开口；活塞部，可升降地设置在开口的内部，形成开口的底面并装载粉末；密封部，设置在活塞部以密封活塞部与开口的内壁之间，其中密封部包括多层的密封部件的粉末供应器及具备此的层叠加工装置，公开了能够防止粉末泄漏的粉末供应器及具备此的层叠加工装置。
粉末供应以及层叠加工装置

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