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- [实用新型]一种双加热晶体生长装置-CN202021948237.X有效
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陈伟;曹顿华;华伟;潘国庆;李力;董永军
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南京光宝光电科技有限公司
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2020-09-08
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2021-07-20
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C30B11/00
- 本实用新型公开一种双加热晶体生长装置,包括:炉外壳以及设置于炉外壳内的石墨坩埚,还包括:双加热器组件,包括:用于为石墨坩埚上部加热的上加热器和用于为石墨坩埚,上加热器和下加热器相互独立控制;保温组件,保温组件围成密闭保温腔,上加热器、下加热器以及石墨坩埚设置于保温腔内;测温组件,测温组件包括至少两个用于检测保温腔不同位置温度的测温仪。本实用新型两加热器独立控制,可以提供更精确可控的温度梯度,温度控制范围更宽;测温组件包括至少两个测温仪,能进行多温区测试。本实用新型能较好得调节特定晶体生长时的温度梯度,便于生长完整性好、无气泡无包络、尺寸大且成品率高的晶体。
- 一种加热晶体生长装置
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