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[发明专利]一种磷酸中总α粒子的检测方法-CN201910655872.4有效
发明人：李少平;冯凯;贺兆波;张庭;王书萍;尹印;万杨阳;张演哲;蔡步林;崔会东 -专利权人： 湖北兴福电子材料有限公司
申请日： 2019-07-19 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： G01T1/167 文献下载
摘要：本发明公开了一种磷酸中总α粒子含量的检测方法，将待测磷酸与水混合均匀，加入二氧化硅粉末，干燥，之后放入马弗炉中，高温反应，冷却，研磨，得到可供检测的测试样；试样至测量盘，用滴管吸取有机溶剂滴到测试样粉末上，使浸润在有机溶剂中的测试样粉末均匀平铺在测量盘内，烘干，用低本底α、β测量仪分别测量待测样的总α计数率，最终计算磷酸中的总α粒子含量；本发明利用低本底α、β测量仪测量测试样与空白样总α的计数率，从而计算磷酸中总α的放射性活度浓度。本发明通过特殊的制样方法解决了磷酸中总α粒子难以测量的问题。
一种磷酸粒子检测方法

[发明专利]一种稳定氮化硅蚀刻速率的无机高选择比蚀刻液-CN202210789280.3在审
发明人：冯凯;徐子豪;贺兆波;崔会东;杜程;王书萍;叶瑞;姜飞;张庭;冯帆;班昌胜 -专利权人： 湖北兴福电子材料有限公司
申请日： 2022-07-06 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： C09K13/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种稳定氮化硅蚀刻速率的无机高选择比蚀刻液，其主要成分包括无机酸、无机硅胺、预溶剂、调节剂和水组成，本发明的蚀刻液可通过抑制二氧化硅的蚀刻速率提高氮化硅对氧化硅的蚀刻选择比，选择性地去除氮化物膜，提升蚀刻液的寿命，并且能在蚀刻液蚀刻过程中Si含量增加情况下稳定氮化硅蚀刻速率，提高蚀刻液的高温稳定性，避免有机胶质残留在晶圆上。
一种稳定氮化蚀刻速率无机选择

[发明专利]一种掺钪氮化铝蚀刻液及其应用-CN202210758808.0在审
发明人：冯帆;贺兆波;叶瑞;姜飞;张庭;班昌胜;冯凯;王书萍;杜程 -专利权人： 湖北兴福电子材料有限公司
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： C09K13/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种掺钪氮化铝蚀刻液及其应用，该蚀刻液主要包含水、碱性物质、添加剂和表面活性剂；水和碱性物质首先提供了蚀刻液必要的基础碱性环境，添加剂提供了蚀刻必须的氧化性能与促进掺钪氮化铝水解的功能，表面活性剂优化蚀刻条件，在相同的蚀刻时间下，可以有效蚀刻掉半导体晶圆上的掺钪氮化铝。该蚀刻液生产工艺简单，原材料成本低且性能稳定，有利于工业化大规模生产，同时可以加快蚀刻速率，提高半导体成品的生产效率。
一种氮化蚀刻及其应用

[发明专利]一种氮化铝和钨的选择性蚀刻液-CN202210758778.3在审
发明人：班昌胜;贺兆波;叶瑞;姜飞;张庭;冯帆;冯凯;王书萍;杜程 -专利权人： 湖北兴福电子材料有限公司
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： C09K13/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种氮化铝和钨的选择性蚀刻液，按质量百分数计，包括碱性物质：8~24%、氧化剂0.2‑2%；钨蚀刻抑制剂0.1~0.2%；表面活性剂0.01~0.08%；余量为去离子水。本发明所述的蚀刻液能够在高效地蚀刻氮化铝同时保证金属钨的低蚀刻速率，最大程度地避免对金属钨的蚀刻。蚀刻过程中，氧化剂可极大程度提升氮化铝的蚀刻速率，减少蚀刻残留，延长蚀刻液寿命。
一种氮化选择性蚀刻

[发明专利]一种氮化铝蚀刻液及其应用-CN202210758826.9在审
发明人：冯帆;贺兆波;叶瑞;姜飞;张庭;班昌胜;冯凯;王书萍;杜程 -专利权人： 湖北兴福电子材料有限公司
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： C09K13/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种氮化铝蚀刻液及其应用，该蚀刻液按质量百分数计，包括碱性物质：10~20%、添加剂0.1‑0.8%；表面活性剂0.01‑0.05%，其余为水。其中水和碱性物质提供了蚀刻液必要的基础碱性环境，添加剂提供了蚀刻必须的氧化性能与促进氮化铝水解的功能，表面活性剂优化蚀刻条件，在相同的蚀刻时间下，可以有效蚀刻掉氮化铝。该蚀刻液生产工艺简单，原材料成本低且性能稳定，有利于工业化大规模生产，同时可以加快蚀刻速率，提高半导体成品的生产效率。
一种氮化蚀刻及其应用

[发明专利]一种电子级醋酸的制备方法-CN202210602462.5在审
发明人：彭俊杰;贺兆波;叶瑞;张庭;欧阳克银;王荣;章琳;吴文静;李琴;梅倩 -专利权人： 湖北兴福电子材料有限公司
申请日： 2022-05-30 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： C07C51/42 文献下载
摘要：本发明提供了一种电子级醋酸的制备方法，包括以下步骤，步骤一：利用离子交换树脂去除初始工业级醋酸中的部分金属离子；步骤二：对步骤一得到的醋酸进一步精馏；步骤三：对精馏后的醋酸再次进行离子交换树脂纯化过滤，得到所述的电子级醋酸。相比于传统工艺，不仅操作简单，适用于工业化大规模稳定生产，所得电子级醋酸单一金属均小于1ppb，纯度高达99.9%。
一种电子醋酸制备方法

[实用新型]槽罐自动翻转清洗装置-CN202220412521.8有效
发明人：段昌圣;程韩明阳;甘磊;廖义;周建国;王宗宝;向文柱;骆兆炜;杜林;陈辉刚;屈波;陶瑞;马君翰;刘小宇 -专利权人： 湖北兴福电子材料有限公司
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： B08B9/20 文献下载
摘要：一种槽罐自动翻转清洗装置，包括底座，底座上设有上升框架，上升框架活动设置于底座上，并通过底座上设置的多组推缸进行支撑，在上升框架内部设有旋转框架，旋转框架通过固定于上升框架一端的油泵电机驱动实现其在上升框架内的轴向转动；底座底部小车轨道，小车轨道延伸至底座一侧外部，小车轨道上设有移动小车，移动小车用于输送槽罐体至旋转框架内；底座两端设有旋转行程开关，底座一侧立柱上设有上升行程开关，位于底座同一端上的旋转行程开关数量为两个，两个旋转行程开关的一侧分别配置有一个限位行程开关。本实用新型专利采用上述结构，以反复翻转的方式代替现有的清洗方式，解决了常规清洗方式能耗大、成本高、清洗效果不稳定的问题。
自动翻转清洗装置

[实用新型]制备电子级低砷黄磷的装置-CN202123067834.9有效
发明人：姜飞;姜占坤;陆平;华超;杜林;陈辉刚 -专利权人： 湖北兴福电子材料有限公司
申请日： 2021-12-08 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： B01D3/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及制备电子级低砷黄磷的装置，工业黄磷管道与精馏塔T1连接，精馏塔T1经高纯含砷黄磷管道与精馏塔T2连接，硝酸管道与精馏塔T2连接，精馏塔T2顶部连接至电子级低砷黄磷储罐，精馏塔T2底部连接至含砷黄磷储罐。在精馏过程中发生氧化还原反应，黄磷中的砷被氧化为高沸点的亚砷酸，从塔底排出，塔顶回流的黄磷液体与塔底上升的黄磷蒸汽在塔内充分接触，进行汽液交换，并通过汽液交换进一步的精馏脱砷，塔顶采出电子级低砷黄磷，其砷含量小于5ppb。电子级低砷黄磷产品对后续电子级磷酸的制备具有重要意义。
制备电子级低砷黄磷装置

[发明专利]一种选择性铜蚀刻液-CN202110926379.9有效
发明人：王书萍;钟昌东;冯凯;贺兆波;张庭;尹印;万杨阳;李鑫 -专利权人： 湖北兴福电子材料有限公司
申请日： 2021-08-12 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： C23F1/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种选择性铜蚀刻液，该蚀刻液包括氧化剂、有机羧酸、螯合剂、pH调节剂和铜蚀刻加速剂。本发明所述选择性铜蚀刻液能够在高效蚀刻金属铜的同时保证金属钨的低蚀刻速率，最大程度地避免对金属钨的蚀刻。在蚀刻过程中，咪唑等pH调节剂稳定蚀刻液pH，避免蚀刻液pH的大幅波动，从而对金属铜和钨的蚀刻速率及蚀刻稳定性造成较大的波动；螯合剂快速与蚀刻液中生成的铜离子形成配位键进行螯合，避免蚀刻液中铜离子的累积造成氧化剂双氧水的分解，影响蚀刻液的稳定性；金、银和铂族金属（钌、铑、钯、锇、铱、铂）等贵金属与有机羧酸的复配物作为铜离子蚀刻加速剂，在蚀刻过程中，加快铜离子的蚀刻保证金属铜相对钨的高选择性蚀刻。
一种选择性蚀刻

[实用新型]一种液体三氧化硫安全卸车装置-CN202220379115.6有效
发明人：郭岚峰;杨着;刘悦;杜林;廖义 -专利权人： 湖北兴福电子材料有限公司
申请日： 2022-02-24 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： B67D7/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种液体三氧化硫安全卸车装置，该装置包括三氧化硫槽车、三氧化硫储罐，三氧化硫槽车顶部经三氧化硫槽车液相快速接头与卸料软管连接，卸料软管经三氧化硫卸料管道与三氧化硫储罐连接。采用该装置进行卸料前关闭三氧化硫储罐顶部球阀、三氧化硫槽车顶部气相、液相球阀，其余阀门全部打开，经过加热器加热后的高纯氮气进入卸料系统，对系统进行保压，保压成功后卸掉系统压力，继续采用高纯氮气对系统进行吹扫，卸料完成。本实用新型采用加热后的高纯氮气，通过反压的方式进行液体三氧化硫卸料，并通过卸料氮气对卸料系统进行安全保压及三氧化硫置换，设置安全联锁装置，操作简易。
一种液体三氧化硫安全卸车装置

[实用新型]槽罐自动翻转清洗装置的电气控制系统-CN202220412504.4有效
发明人：段昌圣;程韩明阳;甘磊;廖义;周建国;王宗宝;向文柱;骆兆炜;杜林;陈辉刚;屈波;陶瑞;马君翰;刘小宇 -专利权人： 湖北兴福电子材料有限公司
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：一种槽罐自动翻转清洗装置的电气控制系统，电气控制电路包含槽车架自动往复旋转支路，槽车架自动往复旋转支路内的槽车架自动正转控制支路、槽车架自动转换控制支路和槽车架自动反转控制支路并联连接，槽车架自动往复旋转停止按钮SB6常闭触点和三者的并联电路串联且两端接控制电源。本实用新型专利采用上述结构，通过该系统可实现槽罐自动翻转控制目的，具有回路简洁、控制有效的特点。
自动翻转清洗装置电气控制系统

[实用新型]一种电子级硫酸用高纯液体三氧化硫生产的装置-CN202123097755.2有效
发明人：郭岚峰;杨着;贺兆波;杜林;徐昊;刘悦;介珂平 -专利权人： 湖北兴福电子材料有限公司
申请日： 2021-12-10 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： C01B17/90 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电子级硫酸用高纯液体三氧化硫生产的装置，所述三氧化硫储罐经原料泵与脱重塔连接，脱重塔顶部与脱轻塔连通，脱轻塔与尾气吸收塔连接。脱重塔底部经脱重循环泵一路连接至重组分采出线，一路与再沸器连接，再沸器与脱重塔内的填料层连接。脱重塔内的填料层上部设置有模压微孔过滤网，模压微孔过滤网的孔径为0.5‑20μm；模压微孔过滤网的上部设置有脱重冷却器。采用本实用新型的装置可以制备得到高纯液体三氧化硫含量为99.999％，二氧化硫含量低于2ppm，总杂质含量控制在5μg/g以内。
一种电子硫酸高纯液体三氧化硫生产装置

[实用新型]电子级硫酸生产用智能汽化及能量循环利用装置-CN202123098671.0有效
发明人：郭岚峰;杨着;杜林;徐昊;廖义 -专利权人： 湖北兴福电子材料有限公司
申请日： 2021-12-10 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： B01D1/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电子级硫酸生产用汽化及能量循环利用装置，三氧化硫储罐经进料泵与蒸发器连接，蒸发器内设置有加热盘管，加热盘管的管道与换热器一连接，换热器一与换热器二连接，换热器二经风机与加热盘管连接。三氧化硫储罐至蒸发器的管道上设置有流量计及三氧化硫进料调节阀；同时三氧化硫储罐至蒸发器的管道上设置有回流管道，回流管道上设置有回流阀。本发明采用高纯空气内循环蒸发三氧化硫，外换热系统综合利用电子级硫酸系统放出热量，不仅节约三氧化硫汽化能耗，而且消除了换热器腐蚀换热介质进入三氧化硫发生安全事故的风险，另通过智能联锁设置实现蒸发系统智能化蒸发，提升系统制程稳定性。
电子硫酸生产智能汽化能量循环利用装置

[实用新型]一种环保双氧水工作液配制的设备-CN202220367047.1有效
发明人：李少平;贺兆波;杜林;袁相春;汪鳙;丁海恩;彭东;乔云洲;李俊峰;徐昊;廖义 -专利权人： 湖北兴福电子材料有限公司
申请日： 2022-02-23 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： C01B15/023 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种环保双氧水工作液配制的设备，釜体上端设有蒽醌加料口，蒽醌加料口顶部设置有盖板，由铰链连接；所述的釜体顶部设置有与釜体内部连通的氮气管道，重芳烃管道，醋酸酯管道，双氧水管道，抽负管道液碱管道和纯水管道，所述的釜体下端与排污管道连接，排污管道分别与酸性排污管道、碱性排污管道和配制釜工作液泵管道连通。在工作液配制过程中，利用将2‑乙基蒽醌吊至釜体的加料口，蒽醌加料结束后，关闭加料口蝶阀和盖板，使配制釜和外界环境隔绝，确保在工作液配制全程中无有机气体逸出，在实现配制釜自动化配料，提高劳动效率的同时，保证现场环境无异味，实现配制釜清洁配制。
一种环保双氧水工作液配制设备

[实用新型]电子级硫酸槽罐车自动清洗装置-CN202123183803.X有效
发明人：刘悦;杨着;郭岚峰;杜林;贺兆波;廖义;周建国 -专利权人： 湖北兴福电子材料有限公司
申请日： 2021-12-17 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： B08B9/08 文献下载
摘要：本实用新型提供一种电子级硫酸槽罐车自动清洗装置，将硫酸槽罐车内装满清洗剂，其主要成分包括水，10‑50%的稀硫酸，80‑98%的浓硫酸，硫酸和双氧水的混合物。一种电子级硫酸槽罐车清洗装置，包括两个对立设置的台架，两个台架之间设有翻转机架，台架上设有转动装置，转动装置转动端设有液压升降装置，液压升降装置与翻转机架两端与液压升降装置连接，翻转机架底部设有折弯的承载板，承载板用于放置硫酸槽罐，硫酸槽罐内部设置有清洗剂，通过台架的转动装置进行转动清洗硫酸槽罐内部。不仅解决槽罐车化学品路跑清洗危险运输问题，同时还能解决静置清洗槽罐车存在死角及需要多次更换清洗剂的问题。
电子硫酸罐车自动清洗装置

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