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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种光瞳评价方法及其系统、电子装置-CN201910134376.4在审
  • 牛志元 - 深圳晶源信息技术有限公司
  • 2019-02-22 - 2020-09-01 - G06F30/398
  • 本发明涉及一种光瞳评价方法及其系统、电子装置，在所述光瞳评价方法及其系统中，基于生成的测试图形集合及与待评价的光瞳对应的光学模型，获得符合预期要求的关键图形，并通过仿真处理，可以建立起与对应待评价的光瞳相匹配的X方向非均衡度、Y方向非均衡度、椭圆度数值与光刻性能之间的关系，从而可提供光瞳参数对光刻性能的影响大小的直观理解。在本发明中，通过获取与所述待评价的光瞳匹配的光学模型，可以针对待评价的光瞳从而仿真出对应的测试图形，基于筛选获得的测试图形，可以进一步获得与待评价的光瞳的对应的X方向非均衡度、Y方向非均衡度及椭圆度。
  • 一种评价方法及其系统电子装置
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