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[发明专利]一种离子注入机及离子束监测调制方法-CN202310643226.2在审
发明人：请求不公布姓名 -专利权人： 浙江露语尔半导体设备有限公司
申请日： 2023-06-01 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子注入机及离子束监测调制方法。为了克服现有技术中离子注入机难以在离子束注入硅片过程中实现实时监测和调制的问题，本发明装置包括分析器磁体，其内部设置磁场空间，离子束经过磁场空间抵达离子束出口后射出，离子束出口处设置若干导电结构，导电结构与测量设备耦合；方法包括离子束由离子源经离子束入口注入分析器磁体内部的磁场空间，经离子束出口射出；离子束出口处的离子束经导电结构实时测量并调制后，沿期望轨迹投射至接收晶片。能够通过实时监测离子束偏转来校正从分析器磁体输出的离子束偏离期望轨迹的偏转，从而使其按照期望轨迹注入硅片。
一种离子注入离子束监测调制方法

[发明专利]一种基于贴膜机的多膜切换控制方法、系统及结构-CN202310056124.0有效
发明人：陈平阳;张力夫;林文富;谈益强 -专利权人： 浙江露语尔半导体设备有限公司
申请日： 2023-01-18 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于贴膜机的多膜切换控制方法、系统及结构，其方法包括：将所需各种胶膜固定在贴膜区的送膜履带上；基于设置好的晶圆批号，对晶圆贴膜；使用中的胶膜，剩下的余料低于设定值，自动固定切断；需要换不同种类的膜时，送膜履带平行方向移动，更换新的送膜履带，需要换不同规格的膜时送膜履带转动，带动出新的胶膜到工作区，新旧胶膜重合后，贴胶带机构将二段胶膜通过胶带贴合，换膜完成。本方法全程自动化，节省人力资源；可以换膜，减少胶膜浪费，需要的设备更少，产能更好调配；可以高效贴膜，提高生产效率。
一种基于贴膜机切换控制方法系统结构