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[发明专利]一种高纯氨连续生产系统及其生产工艺-CN201811001607.6有效
发明人：赵晓兰;丁高松;潘佳伟;鄢芝勇 -专利权人： 浙江英德赛半导体材料股份有限公司
申请日： 2018-08-30 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： C01C1/12 文献下载
摘要：本发明提供了一种高纯氨连续生产系统及其生产工艺，生产系统包括原料氨储罐、进料泵、汽化器、过滤器、两级氨精馏塔装置、第一缓冲罐、第二缓冲罐、产品罐、倒液泵、分析检测仪，所述原料氨储罐与进料泵入口相连，进料泵出口与汽化器入口相连，汽化器气相出口与过滤器通过氨气管道相连，过滤器与两级氨精馏塔装置相连，分析检测仪、第一缓冲罐和第二缓冲罐依次连接在与产品采出口连接的液氨管道上，第一缓冲罐、第二缓冲罐的出口通过液氨管道连接产品罐和倒液泵，倒液泵的出口与原料氨储罐相连。采用双缓冲罐，当产品波动/异常时，产品及时调整到第二缓冲罐，返回至原料氨储罐重新加工，提高产品罐内液氨纯度。
一种高纯连续生产系统及其生产工艺

[实用新型]一种半导体电子特气生产全自动化控制设备-CN202222436443.8有效
发明人：周平;朱强;丁高松;赵晓兰;朱天琪;周俊伟;肖春林;潘佳伟;董夏梦;王龙;杨康 -专利权人： 浙江英德赛半导体材料股份有限公司
申请日： 2022-09-14 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： B01D53/30 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种半导体电子特气生产全自动化控制设备，属于半导体领域。本实用新型包括机架、安装板，安装板固定在机架上，安装板的底部固定有箱体和气泵，箱体底部中心处通过轴承转动连接有抽气管，箱体内固定有两个隔板，隔板上滑动连接有滑杆，滑杆两端固定有推板，推板外壁与箱体内壁紧密贴靠，安装板下方设有环形板，环形板开有供抽气管下端穿过的圆孔，箱体两侧固连通有单向出水管，单向出水管一端连接有雾化喷头，环形板底部固定连接有硅烷检测仪，硅烷检测仪一侧设有警报器。本实用新型便于对泄露的硅烷进行吸收的同时并且还能扩大吸收范围，增加了安全性，同时还能通过雾化喷头喷出水雾来减少空气中形成的燃烧产物。
一种半导体电子生产自动化控制设备

[实用新型]三氯化硼尾气处理装置-CN202222330049.6有效
发明人：张杰;丁高松;赵晓兰;周俊伟;董夏梦;朱强;潘佳伟;王龙 -专利权人： 浙江英德赛半导体材料股份有限公司
申请日： 2022-08-31 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： B01D53/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种三氯化硼尾气处理装置，属于三氯化硼尾气处理领域。它解决了现有处理装置管道内容易堵塞，且尾气量大后处理效率低的问题。本三氯化硼尾气处理装置除酸腔内设置有能够将三氯化硼尾气凝结成固体硼酸的冷凝机构，冷凝机构上设置有能够将固体硼酸刮除的刮复机构，过滤处理腔的顶部存气罐的进口与除酸腔的出口设置有输送管道，过滤处理腔底部的存储槽内还设置有NaOH溶液，存气罐内还设置有能够将存气管内的三氯化硼尾气输送至存储槽内NaOH溶液中的输送组件，存储槽的侧壁上设置有与排气腔连通的导气管，排气腔内设置有气液分离器，气液分离器的排气口与出气口连接。有效的避免管道内发生堵塞，尾气充分的与NaOH溶液相接触被吸收。
氯化尾气处理装置

[实用新型]电子级氨水混配装置-CN202222295068.X有效
发明人：肖春林;丁高松;赵晓兰;周俊伟;朱天琪;李同健;卢勇华;王凯迪 -专利权人： 浙江英德赛半导体材料股份有限公司
申请日： 2022-08-30 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： B01F27/55 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种电子级氨水混配装置，属于混合管领域。它解决了现有混合管在混合时震动大，容易使得法兰盘与混合管的连接处发生松动的问题。本电子级氨水混配装置，包括混合管，所述混合管的两端分别开设有进水口与出水口，所述进水口与出水口处分别安装有法兰接头，所述混合管的内部还对称设置有固定孔板，两所述固定孔板之间为混合部，所述混合部处还安装有搅拌机构，所述混合管的外壁上还设置有减震机构。能够在混合氨水时起到吸震减震的效果，提高混合管的使用寿命，混合管与法兰接头的连接处不易因为在混合氨水时所产生的震动导致其连接处发生裂缝或是破损，既而导致氨水从缝隙中渗出。
电子氨水配装

[实用新型]超纯水制备装置-CN202222298808.5有效
发明人：朱天琪;丁高松;周俊伟;肖春林;朱强 -专利权人： 浙江英德赛半导体材料股份有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： C02F9/00 文献下载
摘要：本实用新型旨在于提供一种超纯水制备装置，此种装置通过曝气装置提高水体的活性，能够提高除铁架的除铁效果，保证水体的处理效果。包括制水设备主体、外接净化罐、隔板、出水管、螺旋净化管、过滤网和除铁架，制水设备主体的顶部连接有加水管，制水设备主体的侧面固定有外接净化罐，外接净化罐与制水设备主体之间连接有导水管，除铁架的下方还设置有曝气装置，曝气装置包括曝气管、底座、气管和气泵，底座的下端固定在隔板上，底座的上表面固定有曝气管，在曝气管上开设有曝气孔，曝气管的外端连接有气管，气管与设置在外接净化罐外部的气泵连接。
超纯水制备装置

[实用新型]超纯氨精馏设备-CN202222287427.7有效
发明人：潘佳伟;卢勇华;董夏梦;杨康;王龙;潘云涛;张杰 -专利权人： 浙江英德赛半导体材料股份有限公司
申请日： 2022-08-29 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： B01D3/14 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种超纯氨精馏设备，属于超纯氨水加工处理领域。它解决了现有超纯氨水的蒸馏效率与蒸馏的出料率较低问题。本超纯氨精馏设备，包括精馏釜壳体，所述壳体的侧部还设置有加热箱，所述壳体内部还安装有加热管，加热管与加热箱相连接，所述壳体的两侧还分别开设有进气口与进液口，所述壳体内部还安装有搅拌机构，所述壳体上端还设置有排气管，所述壳体的一侧还设置有接取箱，所述接取箱的正上方还设置有支架，且支架固连在壳体的侧部，所述排气管的端部位于支架上，且支架上还安装有冷凝组件，通过冷凝组件够将排气管处冷凝出来的超纯氨水输送至接取箱内。被精馏出来的超纯氨水直接被输送出壳体外部，提高出料率。
超纯氨精馏设备

[发明专利]一种三氯化硼提纯设备-CN202211114161.4在审
发明人：周平;张杰;丁高松;周俊伟;赵晓兰;朱强;潘佳伟;董夏梦;王龙;杨康;卢勇华;潘云涛;柯麟 -专利权人： 浙江英德赛半导体材料股份有限公司
申请日： 2022-09-14 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： B01D36/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种三氯化硼提纯设备，属于三氯化硼技术领域。本发明包括制取机构、输送管、尾气处理机构，输送管与制取机构相连通，输送管上安装有减速装置，尾气处理机构包括主体，主体内设置有进气筒，输送管一端穿过主体侧壁与进气筒相连通，进气筒内滑动连接有活动管，主体上安装有驱动活动管上下移动的动力机构，主体顶部固定有安装座，安装座底部具有限位槽，限位槽内转动安装有穿过主体并位于活动管内的转杆，转杆上安装有能与活动管内壁相抵靠的刮板。本发明通过设置减速装置有效减缓尾气的输送速度，提高尾气反应时间和反正质量，通过设置动力机构和转杆，实现对活动管内产生的硼酸固体进行清洁，保证气体可以正常通过，提高处理效果。
一种氯化提纯设备

[发明专利]用于乙硼烷反应釜的温度控制装置-CN202211030610.7在审
发明人：柯麟;丁高松;周俊伟;朱强;肖春林;李同健;蒋正芳 -专利权人： 浙江英德赛半导体材料股份有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： B01J19/00 文献下载
摘要：发明旨在于提供一种用于乙硼烷反应釜的温度控制装置，此种装置中温度计采用可伸缩结构，在不使用时能够收缩，从而避免对反应釜的清洁工作产生干扰。反应釜包括主体，主体的顶部设置有顶盖，顶盖的下端连接有第一搅拌组件，主体的内部嵌设有加热器，温度控制装置包括安装板、气缸、安装筒、活动杆、密封圈、温度传感器和控制器，主体的侧壁上开设有安装孔，安装孔的外端固定有气缸，安装孔内部固定有安装筒，在安装筒内设置有活动杆，活动杆的一端与气缸的输出轴连接，另一端上固定有温度传感器，气缸的输出轴和活动杆均穿过密封圈，所述控制器分别与温度传感器、加热器、气缸和第一搅拌组件电性连接。
用于乙硼烷反应温度控制装置

[发明专利]一种双罐转运槽车-CN201811620835.1有效
发明人：鄢芝勇;丁高松;王龙;潘佳伟;李杰;沈佳跃;董夏梦 -专利权人： 浙江英德赛半导体材料股份有限公司
申请日： 2018-12-28 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： B60P3/22 文献下载
摘要：本发明提供一种双罐转运槽车，所述的保温水箱位于第一储存罐内，补水箱设置在槽车车体上且补水箱与保温水箱之间连接有输送管，保温水箱内设有加热棒，所述的第一储存罐和第二储存罐一前一后依次安装在槽车车体上，第一加热盘管位于第一储存罐内，第二加热盘管位于第二储存罐内，第一储存罐尾端具有第一连接口，第二储存罐具有第二连接口，第一加热盘管两端与保温水箱连接，第一加热盘管的进水口连接有第一循环泵，保温水箱上还连接有送水管和回水管，保温水箱内设有与送水管连接的第二循环泵，第二加热盘管的两端通过连接组件分别与送水管、回水管连通。该槽车具有两个储存罐，可以同时进行输气或排气，转移速度快。
一种转运槽车

[发明专利]一种超纯氨低能耗精馏设备-CN201811212777.9有效
发明人：赵晓兰;丁高松;潘佳伟;鄢芝勇 -专利权人： 浙江英德赛半导体材料股份有限公司
申请日： 2018-10-18 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： C01C1/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种超纯氨低能耗精馏设备，包括原料槽和全凝器，所述原料槽的右端连接有离心泵，所述预热器的内部等间距卡合连接设置有电加热板，所述预热器的左端连接有塔身，所述塔身的内部下端设置有下料板，所述塔身的左端表面下端连接有第一连接管，所述塔釜的内部左侧贯穿设置有再沸器，所述塔釜上表面贯穿连接有第二连接管，所述塔身的上端等间距贯穿连接有出气管，所述全凝器连接在集气腔的上端，所述制冷腔的内部设置有冷水管。该超纯氨低能耗精馏设备，传质的效率较高使得精馏的效果较好，流量检测和温度检测装置方便了解蒸馏的情况和程度，有余量的回收处理装置，温度控制装置和冷凝装置的效果较快，氨气精确的分离提纯。
一种超纯氨低能耗精馏设备

[实用新型]高纯氨的充装装置-CN202023336122.8有效
发明人：潘佳伟;丁高松;赵晓兰;邹伟;鄢芝勇;李杰 -专利权人： 浙江英德赛半导体材料股份有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2022-01-18 - 主分类号： F17C5/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种高纯氨的充装装置，它包括充装管、液化器、抽送泵、汽化器，其特征在于，所述的充装管一段连接汽化器另一端连接液化器，所述的汽化器与抽送泵连接，所述的充装管外表面缠绕有加热管，所述的加热管外表面具有将加热管与充装管完全包裹的保温层，所述的加热管内具有冷媒介质，加热管一端封闭另一端连接有加热组件，所述的液化器出口处设有弧形且朝下弯曲的出液管。该充装装置通过缠绕式的加热管和包裹上保温层，使充装管内部气态氨维持气态所需的温度，充装效率高。
高纯装置

[实用新型]一种液氨汽化器-CN202023339162.8有效
发明人：赵晓兰;潘佳伟;丁高松;潘伟 -专利权人： 浙江英德赛半导体材料股份有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： F17C7/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种液氨汽化器，它包括内罐体、燃烧室、中间层、外保护壳，其特征在于，所述的外保护壳设置在内罐体外表面，所述的中间层设置在内罐体与外保护壳之间，所述的燃烧室设置在内罐体下方且与内罐体固定连接，所述的中间层内设有呈S形的电导热丝，所述的外保护壳上设有电加热器，所述的电加热器与电导热丝连接。该汽化器具有两种加热形式，在内罐体下端和周侧设置，使内罐体加热均匀，汽化稳定性好。
一种汽化器

[发明专利]一种高纯氨钢瓶运输车-CN201811651229.6有效
发明人：鄢芝勇;丁高松;王龙;潘佳伟;李杰;沈佳跃;董夏梦 -专利权人： 浙江英德赛半导体材料股份有限公司
申请日： 2018-12-31 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： B60P3/055 文献下载
摘要：本发明提出一种高纯氨钢瓶运输车，此种运输车可快速装卸集装格，并且能够对钢瓶进行固定使得钢瓶在运输时不会发生晃动。包括车斗和设置在车斗上的若干个集装格，车斗包括底板和侧挡板，底板上设有若干条沿车斗长度方向设置的导轨，集装格的下端连接有可嵌于导轨上滚动的滚轮，侧挡板上具有用于固定集装格的锁紧组件，集装格包括矩形的架体、夹板组件和驱动机构，架体上具有若干个放置钢瓶的容纳槽，每个容纳槽内分别设置有能够夹持钢瓶的夹板组件，夹板组件包括固定夹板和移动夹板，固定夹板与架体固定连接，驱动机构分别设置在架体的四个角上，驱动机构能够驱动各容纳槽内的移动夹板同步上下移动。
一种高纯钢瓶运输车

[实用新型]一种高纯氨的储存罐-CN202120399852.8有效
发明人：潘佳伟;丁高松;潘伟;赵晓兰;鄢芝勇 -专利权人： 浙江英德赛半导体材料股份有限公司
申请日： 2021-02-23 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： F17C3/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种高纯氨的储存罐，它包括罐体、用于与槽车连接的连接座、密封盖和冷却装置，其特征在于，所述的罐体一侧固定有连接座，所述的罐体横向设置且连接座与槽车连接，所述的密封盖密封连接在罐体的进口处，所述的冷却装置包括压缩机、冷却管路和冷凝器，所述的冷却管路缠绕在罐体外表面，所述的压缩机固定在连接座上，所述的冷凝器设置在压缩机与冷却管路的连接处。该高纯氨的储存罐可以再运输时运行压缩机和冷凝器，对储存罐内部进行降温，防止内部液氨汽化，提升安全性。
一种高纯储存

[实用新型]高纯氨储存装置-CN202023250460.X有效
发明人：赵晓兰;丁高松;潘佳伟;鄢芝勇 -专利权人： 浙江英德赛半导体材料股份有限公司
申请日： 2020-12-28 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： B65D90/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种高纯氨储存装置，它包括内罐体、中间层、外罐体，其特征在于，所述的内罐体设置在外罐体内，内罐体小于外罐体，所述的中间层位于内罐体与外罐体之间，所述的中间层包括抗震垫，所述的抗震垫内具有若干抗震弹簧，所述的外罐体与内罐体的液氨进口出通过软管连接且软管最外端设有密封盖。该储存装置通过设置起保护作用的外罐体和用于储存的内罐体，在中间在设置抗震垫起缓冲作用，大大的提升了储存装置的安全性能。
高纯储存装置

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