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[发明专利]基板支撑台和具有基板支撑台的基板检查设备-CN200910179862.4无效
发明人：崔裕灿;洪旋珠;朴珉镐 -专利权人： SFA工程股份有限公司
申请日： 2007-06-12 - 公布日： 2010-03-10 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明揭示一种基板支撑台和一种具有所述基板支撑台的基板检查设备。一种基板检查设备包括：台，其上面稳定地安装有基板，所述基板成为检查目标，其中对附接到所述基板的一边的TAB的区域执行凹痕检查和裂缝检查；至少一个凹痕检查相机，其对所述TAB区域进行照相，以便检查所述TAB中是否出现凹痕；至少一个裂缝检查相机，其对所述TAB区域进行照相，以便检查所述基板的TAB区域中是否出现裂缝；以及光学系统移动单元，其支撑所述凹痕检查相机和所述裂缝检查相机，以便相对于所述台而相对地移动。
支撑具有检查设备

[发明专利]基板支撑台和具有基板支撑台的基板检查设备-CN200710110868.7有效
发明人：崔裕灿;洪旋珠;朴珉镐 -专利权人： SFA工程股份有限公司
申请日： 2007-06-12 - 公布日： 2007-12-19 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明揭示一种基板支撑台和一种具有所述基板支撑台的基板检查设备。一种基板检查设备包括：台，其上面稳定地安装有基板，所述基板成为检查目标，其中对附接到所述基板的一边的TAB的区域执行凹痕检查和裂缝检查；至少一个凹痕检查相机，其对所述TAB区域进行照相，以便检查所述TAB中是否出现凹痕；至少一个裂缝检查相机，其对所述TAB区域进行照相，以便检查所述基板的TAB区域中是否出现裂缝；以及光学系统移动单元，其支撑所述凹痕检查相机和所述裂缝检查相机，以便相对于所述台而相对地移动。
支撑具有检查设备